【課題】剥離帯電防止性及び摺動性に優れたガラス板取扱用成形品を提供する。
【解決手段】シリコーン樹脂（Ａ）及びシリコーン樹脂（Ａ）以外の樹脂（Ｂ）を含む樹脂組成物からなるガラス板取扱用成形品であって、該成形品がガラス板に直接接触し、かつシリコーン樹脂（Ａ）の粒子が樹脂（Ｂ）のマトリックス中に分散していることを特徴とするガラス板取扱用成形品とする。搬送ローラー、真空ステージ、真空チャックからなる群から選択されるガラス板搬送用成形品が好適な実施態様である。 （もっと読む）

【課題】反り量が抑えられ極力平坦な平板状に形成された被研磨物保持材用基材を得る。
【解決手段】環状オレフィン系重合体樹脂からなる樹脂材５を平行に配置された２枚のプレス板３、４間に挟んで加圧した状態で所定の加熱温度まで加熱し、その後、加圧状態を維持したまま樹脂材を冷却する。樹脂材が所定の冷却温度以下まで冷却された時点で、該樹脂材の加圧状態を開放する。 （もっと読む）

【課題】工具などを用いて意図的に外そうとしない限りは、トランスポンダを埋め込んだ着脱体が外れにくく、予期しないトラブルの発生しにくい半導体ウェーハ搬送容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ搬送容器１０を、半導体ウェーハ２０を収容するための容器本体１１と、半導体ウェーハ２０に関する情報を読み書きするためのトランスポンダ１２ａを埋め込んだ着脱体１２とで構成し、柱状に形成された着脱体１２を長手方向にスライドさせて嵌め込むためのスライド溝１１ａを容器本体１１の壁面に沿って設け、スライド溝１１ａに嵌め込まれた着脱体１２の前端部を覆うための天井部１１ｂを容器本体１１の壁面に設け、スライド溝１１ａに嵌め込まれた着脱体１２の前端部を後端部の側に押しにくくした。 （もっと読む）

【課題】薬品がトランスポンダに触れないようにするだけでなく、トランスポンダを取り付けた部分だけを交換することもでき、メンテナンスが容易なウェーハキャリアを提供する。
【解決手段】ウェーハキャリア１００を、半導体ウェーハＷを収容するための容器本体１１０と、容器本体１１０の外面に形成したプレート挿入部１１５に前記外面に沿って挿入することにより容器本体１１０に対して着脱自在に保持させる着脱プレート１２０とで構成し、着脱プレート１２０にトランスポンダ１２１を埋め込んで封止した。 （もっと読む）

芳香族ビニル単量体と共重合可能な他の単量体との共重合体からなるマトリックス樹脂中に、ジエン単量体を主成分として重合してなるジエン系ゴム粒子が分散している熱可塑性樹脂からなり、該熱可塑性樹脂の灰分が０．２重量％以下であるクリーンルーム用容器である。半導体基板、ディスプレイ基板及び記録媒体基板から選択される板状体が収納される容器であることが好適である。これにより、ＡＢＳやそれに類する樹脂からなり、しかも灰分が少なくて金属汚染源となりにくいクリーンルーム用容器が提供される。
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半導体ウェーハキャリアが載置される容器本体１と、該容器本体１を覆うカバー２とから構成される半導体ウェーハキャリア容器であって、前記容器本体１が熱可塑性樹脂（ａ１）及び炭素繊維（ａ２）からなる樹脂組成物（Ａ）を成形してなり、該容器本体１の表面抵抗率が１０^２〜１０^１２Ω／□であり、前記カバーが熱可塑性樹脂（ｂ１）及び有機化合物である帯電防止剤（ｂ２）からなる樹脂組成物（Ｂ）を成形してなり、該カバー２の表面抵抗率が１０^３〜１０^１３Ω／□であり、かつ該カバー２が透明性を有することを特徴とする半導体ウェーハキャリア容器によって、帯電防止性に優れ、汚染防止性に優れ、耐擦傷性に優れ、しかも内部の視認性にも優れている半導体ウェーハキャリア容器を提供できる。 （もっと読む）