説明

インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングにより出願された特許

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ダイヤフラム(22)によって制限された室(21)を備えた水素テスト漏れ装置を運転するために、水素と混合ガスとから成るテストガス混合物が使用される。混合ガスは、ダイヤフラム(22)の材料に関して、水素の透過係数の50〜200%の透過係数を有している。このようにして、テストガス混合物の分離は制限され、室(21)における著しい濃度の変化は回避される。有利には混合ガスとしてはヘリウムが使用される。
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対向流の原理による漏れ検出装置(10)が高圧真空ポンプ(22)を有しており、この高圧真空ポンプ(22)の入口(21)は質量分析計(24)に接続されている。さらにまた真空ポンプ(20)が設けられており、この真空ポンプ(20)の入口(21)は、前記高圧真空ポンプ(22)の出口(23)に及び漏れ検出装置の入口(12)に接続されている。また、漏れ検出装置の入口(12)と高圧真空ポンプ(22)の中間入口(28)との間の接続導管(30)が設けられている。該接続導管(30)の途中に、コンダクタンスに関連して調節可能な第1の弁(32)が配置されている。大きい内径を有する弁は高価であり、これに対して、小さい内径を有する弁は、完全に開放された場合でも有効な抵抗を有している。本発明によれば、調節可能な第1の弁(32)に対して平行に配置された第2の弁(34)が接続導管(30)の途中に設けられている。これによって接続導管(30)内の2つの弁(32,34)のために、比較的小さい内径を有する安価な弁を使用することができる。この場合、2つの開放された弁(32,34)の全コンダクタンスは著しく大きくなる。
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漏れレート測定装置は、各々のガスのイオン経路(21)が少なくとも1つの可変の作用量によって影響を及ぼされるイオントレース(飛跡)型スペクトロメータ(Bahn−Spektrometer)(8)を有している。質量M4のガスが検出される必要があるが、スペクトロメータの選択度が十分にないために、質量M2又はM3のガスの特性の末端部が、質量M4のガスの検出期間に重畳している場合、作用量を正弦波状に変調し、それに続いて、有効信号をロックイン増幅器で選択することが提案されている。従って、「ウォータベース」(”Wasseruntergrund”)、つまり、測定結果に及ぼす水分の影響の妨害となる作用を、テストガスとしてヘリウムを用いて漏れレートを測定する際に除去することができる。
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