説明

インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングにより出願された特許

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【解決手段】吸込み式漏れ検出器は、吸込み先端部(13)を含むハンドル(10)を備えている。吸込み先端部に、測定ガス吸込口(14)及び基準ガス吸込口(15)が設けられている。基準ガス吸込口(15)は周囲空気を吸込むために設けられている。本発明によれば、両方の測定ガス吸込口及び基準ガス吸込口が同一の方向で感知するように、基準ガス吸込口(15)は測定ガス吸込口(14)と略同一に配置されている。
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【解決手段】試験ガスが充填された検査対象(13)が、排気可能な検査室(10)に置かれる。キャリアガスが検査室(10)に導入されて、検査室内にキャリアガス及び試験ガスからなるガス混合物が形成される。ガス混合物が、圧縮ポンプ(15)により検査室(10)から取り出される。試験ガスセンサ(17)が、圧縮ポンプ(15)の出口に接続されている。試験ガスが、圧縮比分増大した分圧で圧縮されたガス混合物に含まれている。このようにして、試験ガスの検出感度が向上して、及び/又は測定の時定数が短縮される。
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【解決手段】本発明は吸込み式漏れ検出器に関しており、該吸込み式漏れ検出器は、吸込みプローブ(10)内に、主装置に通じる第1吸込管(14)と、より多量な第2吸込管(18)とを備えており、ガスが、ガス搬送ポンプ(19)によって吸込み先端(11)から第2吸込管(18)を通って吸い込まれる。第2吸込管(18)を接続することにより、距離感度が増大する。第2吸込管を遮断することにより、検出感度が増大する。従って、まず、多いガス通過量を用いて漏れを検出して、その後、低減されたガス流を用いて定量的に漏れを正確に決定することが可能である。
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【解決手段】漏れ検出器は、ホース(11)を介してプローブ(12)に接続される基本ユニット(10)を備える。プローブの先端(16)が検査対象(30)の検査領域(T) に置かれる。基本ユニット(10)内の試験ガス検出器が検査対象から漏れる試験ガスを検出する。本発明によれば、個々の検査領域(T) におけるプローブの先端(16)の存在が監視され確認されるように、位置決定システム(20)が、送信機(22)、プローブ(12)内に配置された受信機、及び供給・評価部(10a) を備える。
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【解決手段】吸込み式漏れ検出器は、質量分析計(20)、ターボ分子ポンプ(23)及び補助ポンプ(22)を備える。手動式吸込みプローブ(13)を備えた吸込みホース(12)が、主機器(10)から外される場合には、大気圧はガス吸込管(32)内を通って、質量分析計(20)内での高真空を遮断する。質量分析計及び真空ポンプ装置を保護するために、上流にフィルタ(34)を備えた流量制限器(33)が、ガス吸込管(32)に配置されている。
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【解決手段】遅い漏れ速度からより速い漏れ速度まで広い測定範囲を達成するために、通常作動からコース(coarse)作動までの切り替えが行なわれる。コース作動では、吸い込まれたガスの流れが、異なる絞り(D4,D2) を介して分離されており、試験ガスセンサ(16)に導く絞りは低い流量を有する。この作動方法は、大量の試験ガスがセンサ面(17)に達して、センサを汚染することを防止する。別の選択肢によれば、コース作動では、センサ面(17)の一部のみが試験ガスによって覆われる。その他の部分は洗浄される。
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【解決手段】本発明は、プレ真空供給ポンプ(20)、ガス検出器(18)及び流れセンサ(26)を有する漏れ検出器(10)に関する。本発明では、バッファボリューム(22)及びリストリクタ(24)が供給ポンプ(20)と流れセンサ(26)との間に配置されている。これにより、流れセンサ(26)は供給ポンプによって引き起こされる圧力の急上昇から保護される。 (もっと読む)


【解決手段】本発明は、ガス検出器、真空ポンプ及び制御装置を含む基本機器(10)を備えた漏れ検出器に関する。探知器プローブ(14)が基本機器に接続されている。試験ガスの供給(46)を含む漏れ試験装置(25)が、別個のサブハウジング(24)に配置されている。サブハウジング(24)は、温度センサ(55)、プロセッサ(57)及びデータ・メモリ(56)を含む。プロセッサ(57)は、サンプルに応じて測定温度を補正し、光障壁(36)の光を変調する。プロセッサは、データケーブルにより基本機器(10)内の制御装置に接続されている。
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【解決手段】ガスセンサは、シリコン材料から構成され、外部に加熱器(20)を含む選択性透過膜(13)を有する。膜(13)は、圧力センサを収容する排気されるハウジングを閉じる。ハウジングを囲む領域を排気するとき、熱放散が周囲の空気の全圧力の急速な変化の結果として変化し、その結果、信号のドリフト(drift )が膜(13)の温度調節にもかかわらず生じる。本発明は少なくとも1つの第2加熱器(21,22) を備え、少なくとも1つの第2加熱器の温度が第1加熱器(20)と関係なく調整される。その結果、膜温度が、ハウジング内の全圧力が大幅に変化する場合でも極めて一定である。
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本発明は漏れ検出装置に関し、漏れ検出装置は可搬式の吸い込みプローブ(16)及び主装置(10)を備え、主装置は真空ポンプ(11)及びテストガスセンサー(12)を含んでいる。毛細管(20,21)は吸い込みプローブと主装置とをつないでいて、弁(22,23)を含んでおり、弁によって毛細管を選択的に開くようになっている。漏れ検出モードでは断面の大きい方の通路は開かれている。これによって、漏れは離れた箇所からも見つけられるようになっている。テストガスセンサーの応答までの不感時間は短くなっている。漏れ箇所を突き止めると、漏れ量測定モードへの切り換えを行い、断面の小さい方の毛細管(21)のみを開くようになっている。このようにして漏れの量的な規定は高い精度で安定して行われる。
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