説明

フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッドにより出願された特許

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複合多層構造を有するマイクロメカニカルデバイス、およびデバイスを形成するための手法を開示する。上記方法は、ポスト構造アセンブリを形成する方法であって、第1の基板を第2の基板に結合することであって、該結合することは、結合層を用いずに達成される、ことと、該第2の基板をパターニングすることであって、該パターニングすることは、該第2の基板の材料の第1の部分、および該第2の基板の材料の第2の部分を残して、該第2の基板の第1の部分と第2の部分との間の材料を除去し、該第1の部分は、複数の構造を形成し、該第2の部分は、複数の開口部をその中に有する一体構造であるアセンブリを形成する、ことと、該第2の基板の第2の部分を該第1の基板から分離することであって、該第2の部分は、該構造を含まない、こととを含む。
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印刷ヘッド本体と、印刷ヘッド本体を形成するための方法とが記載される。印刷ヘッド本体は、本体部分と、ノズル部分とを含む。本体部分は、インクチャンバを含む。ノズル部分は、本体部分の中のインクチャンバと流体的に接続するノズルを含み、第1のシリコン層と、第2のシリコン層と、第1と第2のシリコン層との間に形成されるヒータとをさらに含む。ノズルは、第1および第2のシリコン層を通って延在し、インクチャンバと流体的に接続する。
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研磨された圧電材料を備えるアクチュエータを有するデバイスについて記載する。研磨された圧電材料を形成する方法は、焼成された圧電材料のブロックを基板上に結合することと、焼成された圧電材料のブロックを化学機械的に研磨することとを含む。その後、焼成された圧電材料のブロックの研磨された表面をデバイス層に結合してアクチュエータを形成することができる。上記結合することは、樹脂を、上記焼成された圧電材料のブロックまたは上記基板の1つに塗布することと、該焼成された圧電材料のブロックと該基板とを、これらの間に該樹脂を用いて互いに結合させることとを含み得る。
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圧電材料を有するアクチュエータを形成するための技術が記載される。圧電材料のブロックは、移行基板に接合される。次に、ブロックは研磨される。研磨表面は、MEMS本体に接合される。上記技術は、圧電材料の層の第1の表面を移行基板に接合することと、研磨表面を形成するために、該層の第1の表面と反対側にある該圧電材料の露出された表面を研磨することと、該研磨表面をMEMS本体に接合することとを含む、MEMS形成のための方法を含む。
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プリントヘッドは、本体と、本体に取り付けられたアクチュエータであってアクチュエータと本体との間の囲まれた空間がチャンバを形成するアクチュエータと、チャンバ内の圧力を解放するための、本体によって画成された開口部と、圧力の解放を可能にしつつチャンバをシールするための開口部に取り付けられたシールとを有する。
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アクチュエータを有する液滴射出装置を駆動する方法は、液滴射出装置に液体の液滴を射出方向に射出させるために、アクチュエータに一次駆動パルスを印加する工程と、アクチュエータに、液滴の体積を実質的に変えずに液滴の射出方向の長さを減少させる1つ以上の二次駆動パルスを印加する工程とを備える。
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インクジェット印刷システムは、インク滴を吐出するように構成されるインクジェット印刷ヘッドと、複数の孔を有する有孔形被印刷物支持体であって、有孔形被印刷物支持体は、被印刷物を有孔形被印刷物支持体の第1の表面上に運搬するように構成され、インクジェット印刷ヘッドおよび有孔形被印刷物支持体の孔は、被印刷物によって受け取られない吐出されたインク滴の少なくとも一部を孔を通過させるように構成される、有孔形被印刷物支持体と、被印刷物によって受け取られない吐出されたインク滴の少なくとも一部を収集するように構成される、有孔形被印刷物支持体の下方に配置されるコレクタとを含む。
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インクジェット印刷システムは、インク滴を被印刷物に送達するように構成されるインクジェット印刷ヘッドと、被印刷物の下面と接触することによって被印刷物を運搬するように構成される、複数の突起を有する支持部材と、インクジェット印刷ヘッドと支持部材との間に相対運動を生じさせるように構成される被印刷物輸送機構とを含む。本インクジェット印刷システムは、小型および/または不整形形状のインク被印刷物を印刷するために、特に有用である。
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概して液体送出システムは、複数の液体送出印刷ヘッド、これら複数の液体送出印刷ヘッドのうちの第1の液体送出印刷ヘッドに結合された、インクを溜めるための第1のリザーバ、および上記複数の液体送出印刷ヘッドのうちの第2の液体送出印刷ヘッドに結合された、味付き液を溜めるための第2のリザーバを備えている。
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流体送達システムは、被印刷物を輸送するように適合された第1のコンベヤと、第1のコンベヤに隣接して配置された第2のコンベヤとを含む。第2のコンベヤは、第1のコンベヤから、空隙を隔てて被印刷物を受けるように構成される。流体送達ヘッドは、第1のコンベヤと第2のコンベヤとの間の空隙の上方に配置される。上記流体送達ヘッドは、上記被印刷物が、上記空隙を隔てて、上記第1のコンベヤから上記第2のコンベヤへ輸送されるときに、該被印刷物上に液滴を吐出するように構成される。
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