ダイ本体を有し、ダイ本体にはコンポーネントが接合されている、ＭＥＭＳデバイスが説明される。ダイ本体は主表面及び、主表面に隣接し、主表面より小さい、側表面を有する。ダイ本体はある材料で形成され、側表面はその材料で形成され、ダイ本体は側表面とは異なる結晶構造にある。ダイ本体は側表面にアウトレットを有し、コンポーネントはアウトレットと流体流通可能な態様で連結されているアパーチャを有する。
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基板にテープを貼り付ける方法は基板表面近傍にテープを、基板表面に実質的に平行に、配置する工程を含むことができる。ｘ方向及びｙ方向のいずれにおいても基板表面より小さいテープ領域に圧力をかけるように圧力源を構成することができ、ｘ方向及びｙ方向は基板表面に平行であり、相互に直交する。例えば、圧力源は空気のような流体の流れとすることができる。基板表面とは逆の側のテープ面の基板表面より小さい領域に圧力をかけて、領域とは逆の側でテープを基板に接着させることができる。領域は、圧力をかけたままで、径方向で外側に向けて、基板に対して移動させることができる。領域は、テープ接着領域のいずれかがテープ未接着領域を囲い込むことのないように、移動させることができる。
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第１の表面、第１の表面と表裏をなす第２の表面及び、半導体材料体を貫通して形成された、第１と第２の表面を連結するノズルを有する半導体材料体を有し、第２の表面のノズル噴出口を通して液体を射出するようにノズルが構成され、噴出口が丸められたコーナーで連結された直辺を有する、ノズル層が説明される。
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プリント液がポンピングチャンバからノズルを通して射出されるノズル速度に影響を与える１つ以上のパラメータが測定される方法が説明される。プリント液は圧電層の撓みによって作動されるポンピングチャンバに入れられる。１つ以上のパラメータの測定値に少なくともある程度は基づいて、圧電層作動電極の表面積が減じられる。電極表面積を減じることで圧電層の作動面積が減じる。
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【課題】好適なプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】圧力チャンバ３３と、ノズル流路６６と、ノズル開口部２２とを画定するモノリシック半導体本体２６を有するプリントヘッド。圧力チャンバには、約５０ミクロンまたはそれ以下の厚さの圧電層７６を含む圧電アクチュエータ２８が対応付けられている。半導体本体は、複数の流路開口部を有するフィルタ／インピーダンス構成３２も画定する。半導体本体は研磨ＳＯＩウエハーであることが好ましい。別の態様において、表面のＲａが約０．０５ミクロンまたはそれ以下であるか、または少なくとも１つの表面に空隙充填材を含む圧電層を有するプリントヘッドとする。 （もっと読む）

シリコン基板と接着する方法および装置について開示する。装置は、膜表面を有する膜、膜表面内の溝、膜表面と実質的に平行な変換器表面を有する変換器、そして膜表面を前記変換器表面に結合させる接着剤、を備えている。溝は、溝が完全に満たされていないことによって生じ得る空洞や空隙を最小限に抑えながら、接着剤が溝の中へ、そして溝を通って流れることができるように構成することができる。複数の溝を膜表面に形成してもよく、さらにこれらの溝を均一な深さのものとしてもよい。
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とりわけ、インク噴射のため、システムは、ジェットを少なくとも２５本有するプリントヘッド及びジェットの全てについて画像情報を同時に取り込むための撮像デバイスを備え、取り込まれた画像情報はジェットのそれぞれの性能の解析に有用である。
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特に、インク噴射用の本装置はある量のインクを含むための貯蔵器を含む貯蔵器システムを含む。前記インクは少なくとも２つの噴射組立部へ送出され、噴射組立部から基板上に噴射方向に噴射される。貯蔵器システムはインク噴射の方向に沿って、噴射組立部のうちの少なくとも２つに隣接して位置している。また、インク噴射用の方法であって、該方法はインク送出の方向に沿ってインクをある量のインクから少なくとも２つの噴射組立部まで送出することを含み、インクがインク噴射の方向で基板上に噴射され、該インク送出の方向が該インク噴射の方向に平行する方法も含む。
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特に、インクを噴射するための装置のオリフィスの第１のセットは、プロセス方向と異なる方向に沿って、第１の最大解像度でプリントするように配置される。オリフィスの第２のセットはオリフィスの第１のセットに結合される。オリフィスの第２のセットは、プロセス方向と異なる方向に沿って、第１の最大解像度より低い第２の最大解像度でプリントするように配置される。インク噴射装置と基板との間のプロセス方向における相対的な動きの間に、インク噴射装置の第１の部分は基板上に第１の最大解像度でプリントさせられ、インク噴射装置の第２の部分は、基板上に第１の解像度より低い第２の最大解像度でプロセス方向と異なる方向において、プリントさせられる。
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特に、インク噴射に用いられる方法は、インクジェット組立部から噴射されているインク滴の特性の予期されるバリエーションを減らすことを含み、この減らすことが噴射組立部に加えられる電圧を予期されるバリエーションに応答させることを含む。インクジェットプリントに用いられる方法は、噴射組立部の噴射周波数と噴射組立部から噴射されたインク滴の特性との間の定量的な関係を決定することと、インク滴の特性を変える際に用いられるために、決定された定量的な関係を提供することとを含む。
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