【課題】会議等で発生した多種多様な情報を、発言者やワード、フレーズなどに連携させて時刻情報と共に記録し、後日に所定の検索キーを利用して所望の情報を検索できるようにする。
【解決手段】会議室１００、会議室への入退室を管理する入退室コントロールユニット２００、ディスプレイユニット３００、映像/音声蒐集ユニット４００、記録ユニット５００、情報統合ユニット６００、統括制御ユニット７００、および時計８００で構成され、
記録ユニット５００に記録された会議情報を入出力インタフェース９００から入力するキーワードあるいはキーフレーズ等により検索する。 （もっと読む）

【課題】熱損失が少なく、しかも安定した焼成温度が得られる循環式の基板焼成炉を提供する。
【解決手段】炉体本体部１０の内部に熱風を吹き出すことによりガラス基板Ｗの焼成処理が進行する。炉体本体部１０から排出された熱風は循環ファン４０によって循環経路２０内を循環され、有機物を分解する触媒フィルタ部７０から分解生成物を吸着する吸着塔３０を経てメインヒータ５２にて再加熱される。炉体本体部１０から排出された熱風がそのまま触媒フィルタ部７０に流入して熱風中に含まれる有機物が分解されため、触媒を加熱するための別途のヒータが不要となり、熱損失を少なくすることができる。また、炉体本体部１０の内部の焼成温度はメインヒータ５２のみの制御によって調整することができるため、温度制御が容易となり、安定した焼成温度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】シャワープレートの熱による変形を回避して、被処理基板に対して均一な処理を施す。
【解決手段】下段シャワー管の配置を、長いシャワー管３１と、短いシャワー管３２を、その底面から見て、行方向では上部の最初の一段目に真空容器1内の横軸方向に平行し、横軸の中心から割り振って、長いプロセス用ガス供給シャワー管３１を、隣接する誘電体の窓１９の中間の位置の間に一つおきにガス導入用の金属管２２が位置するように、隣り同士を離した状態で直列に配列する。真空容器1内の両端には、その位置に合致するように短い処理用ガス供給シャワー管３２を配設する。 （もっと読む）

【課題】 偏光素子が高い耐久性を有し、表示品位の耐久性に優れた液晶表示装置を提供する。
【解決手段】 対向する２枚の基板間に液晶を狭持してなる液晶表示セル、その両側にそれぞれ設けられた偏光素子、及び、少なくとも一方の液晶表示セルと偏光素子との間の領域に設けられた少なくとも１つのフィルム状部材を有し、上記偏光素子は、ポリビニルアルコール系樹脂フィルムからなり、上記フィルム状部材は、偏光素子に対して厚さ１０μｍ未満の粘着層及び／又は接着層を介して貼合されており、かつ他のフィルム状部材と貼合される場合には、他のフィルム状部材に対しても厚さ１０μｍ未満の粘着層及び／又は接着層を介して貼合されており、上記液晶表示装置は、少なくとも一方の液晶表示セルと偏光素子との間の領域のフィルム状部材が、光弾性係数の絶対値が１０×１０^−８ｃｍ^２／Ｎ未満、及び、吸水率が２．０％未満を満たす液晶表示装置である。 （もっと読む）

【課題】 会議内容の正確な記録と守秘性の高い会議環境の整備に資する、守秘義務を前提とする研究発表に適した会議室設備及び会議室設備を用いた会議記録システムを提供する。
【解決手段】 会議室には、正面壁側にスクリーンとホワイトボードを設け、側面壁に沿って発表関係者と評価者が向かい合い、背面壁側には会議記録用のビデオレコーダと会議の管理者の机を配置する。発表関係者及び評価者の発言は、正面壁側のスピーカから再生されることで、発言を正確に録音して発言者の特定を確実にしている。背面壁側に設けられた入退室口には入室の管理者机を配置し、入室者を確認するとともに、入退室用のドアは開いた際にスクリーン等が視認できないように、内開きとなっている。以上の会議室設備の構造によって、会議内容を確実に録音して発言者が明確になり、かつ高い守秘性が確保されることで、参加者の活発な発言を促すことが可能になっている。 （もっと読む）

【課題】加熱処理によって排出される熱風に含まれる有機物を高い効率にて分解することができる基板熱処理炉を提供する。
【解決手段】炉体本体部１０の内部に熱風を吹き出すことによりガラス基板Ｗの加熱処理が進行する。炉体本体部１０から排出された熱風は循環経路２０を経由して再び炉体本体部１０に帰還する。その経路途中において、熱風の一部は排気ライン２３に排出される。排気ライン２３には、メタルフィルタに触媒を担持して構成される触媒フィルタ部７１が設けられている。これにより、排気される熱風と触媒との接触効率が高くなり、有機物の分解効率を高めることができる。また、パーティクル状の有機物をも捕集することが可能となり、トータルとしての有機物の分解効率を高いものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】熱損失が少なく、しかも安定した焼成温度が得られる循環式の基板焼成炉を提供する。
【解決手段】炉体本体部１０の内部に熱風を吹き出すことによりガラス基板Ｗの焼成処理が進行する。炉体本体部１０から排出された熱排気は循環経路２０を経由して合体モジュール５０に送給される。合体モジュール５０は、同一のハウジング５１内にヒータ５２、触媒フィルタ部５３およびフィルタ部５４をこの順番で連続に配置して構成されている。ヒータ５２によって再加熱された熱風は直ちに触媒フィルタ部５３に流入するため、触媒フィルタ部５３の分解効率を最大限高めることができる。触媒用の無駄なヒータが不要となって熱損失の低減が可能なだけでなく、１つのヒータ５２を温調するだけで所定温度の熱風を得ることができ、炉体本体部１０内の焼成温度を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】静電チャックの電極を複数に分割して容易に損傷時に修理・交換できるようにするとともに、被処理基板の大型化に対応し、かつ、低価格、かつ短い納期で電極を得る。
【解決手段】 静電チャックに用いる電極４０を複数の棒状の基材４０ａに分割して、該分割した個々の棒状の基材４０ａの表面に高純度セラミックスを溶射して単層の溶射膜４０ｂを形成し、該溶射膜４０ｂが形成された複数の棒状基材４０ａ、４０ａを隙間ｇを保って並列に配置して電極４０を構成した。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率が高い基板焼成炉の給排気システムを提供する。
【解決手段】炉体１０にて加熱されるガラス基板Ｗからは多量の有機物が発生する。炉体１０の排気口１４からは有機物を含む熱排気が排出され、ファン２１によって循環経路２０に熱風の気流として送り出され、その気流がヒータ２２によって加熱された後に耐熱ＨＥＰＡフィルタ１３によって浄化されて吹き出し口１２から炉体１０の内部空間に再供給される。熱排気の一部は排気管３０に流れ込んで触媒ユニット３１を通過する。触媒ユニット３１では有機物の熱分解と酸化分解とが同時に生じ、排気気体中に含まれる有機物のほとんどが分解され、触媒ユニット３１の入口側温度よりも出口側温度が約２００℃上昇する。高温の排気気体が熱交換器５０に流入して給気気体との熱交換が行われることとなり、エネルギー効率を良好なものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】高い耐摩耗性を有するとともに、剥離帯電が生じない基板ステージを提供する。
【解決手段】ステージ本体１１に形成された基板Ｗを載置するための載置面１２に、エンボス加工によって所定のエンボス形状Ｅを形成した上で、陽極酸化処理によってアモルファス状態のアルミナ皮膜Ａを形成する。アモルファス構造のアルミナ皮膜Ａは、緻密かつ強固である。このため、高い耐摩耗性を有するとともに、剥離帯電をほぼ防止することができる。 （もっと読む）