【課題】
ナノ結晶シリコン領域を含む素子、特に、陽極酸化法によりナノ結晶シリコン領域を形成し、そのナノ結晶シリコン／バルク結晶シリコン境界部を渡って形成する薄膜を、高歩留かつ高信頼性で製造する方法を提供する。
【解決手段】
ナノ結晶シリコン／バルク結晶シリコン境界部を含む構造、およびそれを含む構造上に薄膜を形成する場合、境界部を形成する前にその境界部を（１１１）結晶面を主体とするテーパー構造にすることで、ナノ結晶シリコン／バルク結晶シリコン境界部をなめらかに形成し、その上に、金属、半導体、絶縁薄膜をクラックや切断などが発生しないように形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】深孔相互間の距離を狭くする事ができ、深孔を微細化しても周囲の配線基板から及ぼされる応力の増加が防止でき、信頼性が保たれ、プロセス全体を低コストできる配線基板とその製造方法を提供する。
【解決手段】基体の主表面からその反対側裏面の両面に貫通する複数の貫通孔を備え、それらの孔が実質的に金属で埋められて貫通電極とされており、それらの内の少なくとも２以上の電極が電気的に並列に接続されている配線基板の製造方法であって、それらの２以上の孔を形成する場合に、それらの２以上の孔を含む領域より大きいサイズのマスクパターンを利用してそれらの２以上の孔を陽極酸化法を含む自己組織的穴明けプロセスにより所定の深さ以上の孔を形成した後に裏面から基体を削って、孔を裏面に露出させて貫通孔とする事を特徴とする配線基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】インゴット部材が過剰に溶解してしまうことを防止することができ、かつ、インゴット部材を加工する際の作業効率を低下させることができる加工用電極を提供すること。
【解決手段】加工用電極１０は、電流を流すことによってインゴット部材Ｉを電解液Ｅ内で溶解して切断する。加工用電極１０は、スライス電極支持部１１と、スライス電極支持部１１によって支持されるとともに、互いに平行に直線状で延在する複数のスライス電極部１５と、を備えている。スライス電極部１０は、横断面が矩形形状からなる電極本体部１６と、当該電極本体部１６の少なくとも両側面を覆う絶縁性の被覆部１７とを有している。 （もっと読む）

【課題】インゴットから基板を安定してスライス加工することが可能な加工装置、加工方法、および記憶媒体を提供する。
【解決手段】加工装置１０は、シリコンインゴット３０からシリコン基板３１を作製するものである。この加工装置１０は、電解液１２を収容する処理槽１１と、処理槽１１内の電解液１２に浸漬した状態でシリコンインゴット３０を保持するインゴット保持部１３と、シリコンインゴット３０を切断する電極線３８を含み、この電極線３８によりシリコンインゴット３０をスライス加工するための電極装置１４と、電極装置１４を保持する電極装置保持部１５とを備えている。シリコンインゴット３０をスライス加工する間、インゴット保持部１３は電極装置１４に対して相対的に上昇し、電極線３８によるシリコンインゴット３０の切断が、電解液１２の液面１２ａ直下で行われる。 （もっと読む）

【課題】スライス速度を適切に制御することにより、電極線の破損を防止することが可能な加工装置、加工方法、および記憶媒体を提供する。
【解決手段】加工装置１０は、処理槽１１と、処理槽１１内の電解液１２に浸漬した状態でシリコンインゴット３０を保持するインゴット保持部１３と、電極線３８によりシリコンインゴット３０をスライス加工するための電極装置１４と、電極装置１４を保持する電極装置保持部１５とを備えている。検出部３３は、電極装置保持部１５とインゴット保持部１３との間の電流を検出する。制御部５０は、検出部３３からの電流値に基づいて、インゴット保持部１３の電極装置保持部１５に対する上昇を停止させ、またはインゴット保持部１３の電極装置保持部１５に対する上昇速度を低下させる。 （もっと読む）

【課題】２０ｋＨの可聴周波数域以上の高いサンプリング周波数によるデジタル化にも対応可能で、かつ高出力であり、デジタル信号のままで直接、音波を出力できるデジタル・スピーカーを提供する。
【解決手段】基板上に設けられたビット桁に対応する個数の音波発生素子（１）をアレイ化した音波発生装置と、アレイ化した各音波発生素子（１）にそのビット桁に対応した大きさの音圧信号を発生させるように駆動電力を付与する駆動制御部を備え、各音波発生素子（１）は、熱伝導性の基板（２）と、該基板（１）の一方の面上に形成されたナノ結晶シリコン層からなる断熱層（３）と、断熱層（３）上に形成され、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される導電性膜からなる発熱体薄膜（４）とからなり、各音波発生素子（１）の出力する音圧信号を重畳させたデジタル信号を出力とすることを特徴とするデジタル・スピーカー。 （もっと読む）

【課題】高感度であるとともに安価に製造できるマイクロアレイを提供する。
【解決手段】シリコン基板の表面をＨＦ溶液中で陽極酸化処理する工程、及び得られたポーラスシリコン基板にポリヌクレオチドを固定化する工程を含む、マイクロアレイの製造方法。 （もっと読む）

【課題】単結晶のシリコン基板に、高密度反応空間をアレイ状に形成したマイクロリアクターを提供する。
【解決手段】 面方位（１００）面を有する単結晶シリコン基板に、マイクロサイズの開口部と貫通孔から構成される反応空間を複数配置して形成したことを特徴とするマイクロリアクター。
【効果】本発明のマイクロリアクターは、ＰＣＲ用マイクロリアクター、あるいはＰｙｒｏｓｅｑｕｅｎｃｉｎｇによるＤＮＡシーケンス手法に使用される測定用ウエルマルチプレート等として好適に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】孤立化学反応系を集積化したコンビナトリアルな化学反応系において、温度設定の独立性を確保した高速・高効率化学反応チップを実現する。
【解決手段】多孔質シリコン層１０に囲まれた１個以上の単結晶または多結晶からなるアイランド２０を有し、該温度センサー素子５０とヒータ６０と伴に、アイランド２０上に孤立化学反応系を構築して集積化し、独立性良く温度制御を行う化学反応チップ。 （もっと読む）

【課題】
電子エミッタ、コロナ放電、誘電体バリア放電などを利用するプラズマイグナイタを搭載して平面型放電光源の高輝度・高効率化を実現する。
【解決手段】
透光性を有する扁平状の放電空間８０を有する密閉容器１と、該密閉容器に封入された放電気体と、該密閉容器１内に設けられ絶縁層で覆われた少なくとも一対の放電電極４０及び４１と、絶縁層で覆われた電極で構成されるプラズマイグナイタ７０とを有することを特徴とする平面光源。 （もっと読む）