【課題】従来の超音波発振器に比べて部品数が低減され、それによって小型化され、またコストが安価となった超音波発振器及びそれを備えた超音波振動装置を提供する。
【解決手段】超音波振動子に高周波電力を出力する超音波発振器であって、少なくとも、高周波信号を発振する主発振ユニットと、該主発振ユニットの発振する高周波信号を入力し、高周波電力として出力する出力ユニットと、該高周波電力を変圧する出力トランスと、該変圧した高周波電力の周波数を調整して超音波振動子に出力するマッチング調整回路と、交流電源から入力した電力を直流として前記出力ユニットに供給する電源ユニットとを具備し、前記出力トランスとマッチング調整回路が一体となっているものであることを特徴とする超音波発振器。 （もっと読む）

【課題】多数の超音波振動素子を用いたり、大面積の輻射板を用いる場合であっても、超音波振動素子のキャパシタンスを低減して小さくすることができ、そして負荷インピーダンスを大きくすることができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、洗浄液が収容される洗浄槽と、該洗浄槽の壁面に配置され、前記洗浄槽に超音波振動を印加する輻射板と、該輻射板を振動させるために直接または振動板を介して前記輻射板に接合された少なくとも２個以上の超音波振動素子と、該超音波振動素子を振動させるための発振器とを具備する超音波洗浄装置において、前記超音波振動素子は少なくとも２個以上が電気的に直列に接続されているものであり、かつ周波数が２０〜２００ｋＨｚであることを特徴とする超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】電子光学部品を搬送する際に使用するプラスチックトレイ等の被洗浄物を洗浄する際、短時間で確実に乾燥させることができ、且つ、洗浄コストを低く抑えることができる洗浄方法等を提供する。
【解決手段】被洗浄物を洗浄するシステムであって、少なくとも、前記被洗浄物を洗浄液で洗浄するための洗浄槽１０と、該洗浄槽で洗浄された被洗浄物を純水でリンスするためのリンス槽２０と、該リンス槽でリンスされた被洗浄物を水切りするための水切り手段３０と、該水切り手段により水切りされた被洗浄物を乾燥するための乾燥手段４０とを有し、該乾燥手段が、少なくとも、前記水切りされた被洗浄物を収容する真空チャンバー４１と、該チャンバー内の真空度の上下動を繰り返す真空度制御手段５５とを具備するものであることを特徴とする洗浄システム１。 （もっと読む）

【課題】小型であり、加熱効率が高く電力消費量が少ない洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】洗浄装置であって、少なくとも、洗浄液を収容して対象物を洗浄する洗浄槽と、少なくとも一部が導電性管部からなる循環管とポンプとを備える循環機構と、前記導電性管部に巻回して誘導電流を発生させるためのコイルと、該コイルに交流電流を流すための交流電源とを具備し、前記循環機構により洗浄液を循環させながら、前記交流電源により前記コイルに交流電流を流し、前記導電性管部に誘導電流を発生させることにより、前記循環する洗浄液を加熱して、対象物の洗浄を行なうものであることを特徴とする洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】小型で作業性が高く、加熱効率が高く電力消費量が少ない蒸気発生装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、把手部を有し前記洗浄液を収容する洗浄液収容容器と、該洗浄液収容容器に対して前記洗浄液の補給及び排水を行なう洗浄液補給排水機構と、上端部にノズル部を備え、導電性側壁面を有し、かつ前記洗浄液収容容器に固定され、供給管を介して前記洗浄液が供給される蒸気発生槽と、該蒸気発生槽に巻回し、前記導電性側壁面に誘導電流を発生させるためのコイルと、該コイルに交流電流を流すための交流電源とを具備し、前記交流電源により前記コイルに交流電流を流し、前記蒸気発生槽の導電性側壁面に誘導電流を発生させることにより、前記洗浄液収容容器から前記供給管を介して前記蒸気発生槽に供給された洗浄液を加熱して蒸気を発生させ、該洗浄液の蒸気を前記ノズル部より吹き付けるものであることを特徴とする蒸気発生装置。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であり、加熱効率が高く電力消費量が少ない洗浄乾燥装置を提供する。
【解決手段】洗浄液の蒸気を発生させる装置であって、少なくとも、導電性底面を有し前記洗浄液を収容する蒸気発生槽と、該蒸気発生槽の導電性底面に誘導電流を発生させるためのコイルと、該コイルに交流電流を流すための交流電源とを具備し、前記交流電源により前記コイルに交流電流を流し、前記導電性底面に誘導電流を発生させて前記蒸気発生槽を加熱することにより、前記洗浄液を加熱して蒸気を発生させるものである蒸気発生装置、及び対象物の洗浄及び／又は乾燥を行なう装置であって、少なくとも、前記蒸気発生装置と、前記蒸気発生装置の蒸気発生槽内に前記対象物を保持するための保持治具とを具備し、前記蒸気発生装置により発生した蒸気により前記保持治具に保持された前記対象物を洗浄及び／又は乾燥するものである洗浄乾燥装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で均一な洗浄ができる低コストの超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、洗浄液を収容する少なくとも１つの洗浄槽と、該１つの洗浄槽に備えられた複数の超音波振動子と、該振動子を駆動させる発振器と、洗浄物を前記洗浄槽中に保持する保持治具とを具備する超音波洗浄装置であって、前記発振器は発振周波数を周期的に変化させることができるものであり、少なくとも前記１つの洗浄槽に備えられる複数の超音波振動子のうち少なくとも２つは互いに異なる固有周波数を有するものである超音波洗浄装置、及び少なくとも、洗浄液を収容する少なくとも１つの洗浄槽と、該１つの洗浄槽に備えられた少なくとも１つの超音波振動子と、該振動子を駆動させる発振器と、洗浄物を前記洗浄槽中に保持する保持治具とを具備する超音波洗浄装置であって、前記保持治具を円弧揺動させる揺動機構を具備するものである超音波洗浄装置。 （もっと読む）