【課題】 多要素電極を有する容量性微小機械加工超音波変換器（ｃＭＵＴ）と多要素電極を有するｃＭＵＴを組み込んだｃＭＵＴ撮像アレイとの製作に関する技術を提供する。
【解決手段】 複数電極要素の容量性微小機械加工超音波変換器（ｃＭＵＴ）素子及び製作方法。ｃＭＵＴ素子は、一般的に、薄膜内に配置された上部電極、基板上に配置された下部電極、及び薄膜と下部電極の間の空洞を含む。本発明の好ましい実施形態では、第１の電極及び第２の電極の少なくとも一方は、複数の電極要素を含む。電極要素は、薄膜を形作るように配置されて励起され、超音波のような超音波エネルギを効率的に送信及び受信することができる。他の実施形態も特許請求して説明する。 （もっと読む）

ハーモニックな容量性のマイクロマシーン化された超音波変換器（「ｃＭＵＴ」）素子及び製造方法が提供される。好ましい実施例において、ハーモニックｃＭＵＴ素子は全体的に、非均一な質量分布を有する膜を含む。膜に沿って配置される質量負荷は、膜の質量分布を変化させるために利用され得る。質量負荷は、膜の一部であり得、膜と同じ材料、又は異なった材料で形成され得る。質量負荷は、膜の振動モードと対応するように、及び、膜のモードを調整又はシフトするように配置され得る。質量負荷は、膜のハーモニック振動を制御するために、膜に沿った所定の位置にも配置され得る。ｃＭＵＴは、膜、膜に近接する第１の電極、及び、基板に近接する第２の電極によって規定されるキャビティをも備え得る。他の実施例もまた、請求項に記載され開示される。
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【課題】容量型マイクロマシンド超音波トランスデューサ（ｃＭＵＴ）製造方法及びｃＭＵＴイメージアレイシステムを提供すること。
【解決手段】例示的な実施形態において、プロセス温度は、概ね摂氏３００度より低い。ｃＭＵＴ製造方法は、一般に、基板（４００）上の付着及びパターン形成材料からなる。例示的な実施形態において、複数の金属層（４０５、４１０、４１５）が基板（４００）上に付着及びパターン形成され得る。いくつかの薄膜層（４２０、４３５、４４５）は、複数の金属層（４２０、４３５、４４５）上に付着形成され、追加の金属層（４２５、４３０）が、このいくつかの薄膜層（４２０、４３５、４４５）内に付着形成される。第２金属層（４１０）は、空胴（４４７）形成時、第３金属層（４１５）をエッチングするために使用されるエッチング液に対して耐性を持つ。 （もっと読む）

少なくとも一つの複素環を有し、プロトン交換膜（ＰＥＭ）の製造に使用できるポリマー、ポリマー先駆体及び他の材料を記載する。代表的な例において、該複素環はフッ素化されたイミダゾール環である。該複素環は低い値のｐＫａを有するために選択でき、及びトリアゾール環、他の窒素含有複素環又はこれらの誘導体であってもよい。ポリマー及び複合物が優秀なプロトンで伝導性をもって調製された。これら材料の適用は、燃料電池及び他のイオン伝導性用途を含む。 （もっと読む）

プロトン伝導性ポリマーは、有機鎖を含むケイ素化合物、及び少なくとも1つの酸基を含む化合物を含む、複数の化合物の共重合によって形成される。ポリマーは、結合基を介して結合される酸基を有するハイブリッド有機無機マトリックスを含んでいる。結合基は、1つ以上の電子吸引基を含むことができる。電子吸引基は、ハロゲンであり得る。
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グラフト化され得るポリマーから形成されている物質の組成物であって、上に側鎖がグラフト化されるグラフト化可能部位を有する。この側鎖は、少なくとも１種のシラン基を含み、シラン前駆物質の重合基によって形成され得る。これらの組成物は、さらに酸基を含み、また例えば、燃料電池の改良されたプロトン導電材料に使用され得る。
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組成物は、珪素原子及び酸素原子を含むポリマー網目構造物、可撓性結合基及び末端基を含む、前記ポリマー網目構造物内の複数の珪素原子に結合された第一の有機側鎖を含み、前記末端基が孤立電子対を提供する１個以上の原子を含む。組成物はプロトン伝導性膜の形成に使用しうる。例証となる実施例においては、前記ポリマー網目構造物は有機−無機ハイブリッド網目構造物であり、前記末端基は含窒素複素環を含みうる。
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