ナノスケール配線の電気伝導を制御する方法を示した。ナノスケール配線には、軸方向および／または半径方向に分布する制御可能領域が設けられる。ミクロスケール配線または追加のナノスケール配線によって、これらの領域を制御することにより、ナノスケール配線の電気伝導を可能にしたり、遮断したりすることができる。制御可能領域には２の異なる種類がある。例えば第１の制御可能領域は、第２の制御可能領域とは異なるドーピング特性を示す。この方法では、サブパターン転写ピッチで束ねられた１または２以上のナノスケール配線組を別々に選択することができる。 （もっと読む）