【課題】金属ファスナを用いずにパネルを側壁へ固定できる、シール可能なウェハーエンクロージャのためのドアを提供する。
【解決手段】ウェハー用のシール可能なエンクロージャ５６は、ラッチ機構６０を備えたドア３６を有し、ドアはカム部材８０を備えたエンクロージャを有しており、カム部材はポスト１１０の上で回転可能で、一対のラッチ用アーム８２と係合する。ラッチ用アームの移動は、ラッチ用アームのカムフォロワ部分をカム部材に対して軸方向に、また半径方向に移動させるように形成されたカム部材のカム部分によって行われる。ラッチ用アームはエンクロージャの支点の上で旋回する。ラッチ機構はパネルを介してアクセス可能であり、このパネルは、ドアエンクロージャの内部端壁５５の上に設けられた溝１９８と協働するパネル１８０に一体化された戻り止めによって取り付けられる。 （もっと読む）

分配連結具を備えた可撓性分配容器によって形成されるボトル内バッグインバッグアセンブリ。分配容器は、１個又は複数の可撓性加圧容器に隣接して位置決めされ、或いはそれらの間に挟持され、可撓性加圧容器は、第２連結具を通る独立した入口／出口経路を有する。バッグインバッグアセンブリは、次に、格納容器上で接近可能であるように、連結具が取り付けられた状態で、格納容器内に載置され得る。流体を（複数の）加圧容器へ導入することにより、液体を分配連結具を介して外へ押し出すのに十分な圧力によって、液体が分配容器から抜き取られ得る。成形分配ヘッドは、加圧、通気、及び流体抜き取り継手を同時に固定するカム作動装置を使用して、ボトル内バッグインバッグと結合されてよい。キーコードシステムが使用されてよく、特定の分配ヘッドのみと適合するべく、格納容器のキーコード化を可能にするために、汎用キーコードリングが変更される。
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【課題】被ろ過液を中心部内側流路→底部流路→側部流路へと流すタイプのフィルタユニットにおいて、底部流路に対するエア除去性能を高めることができるフィルタユニットを提供する。
【解決手段】フィルタ部材１１の中心部が、入口３１に接続する中心部内側流路４０と、出口３２に接続する中心部外側流路４３とに分けられ、フィルタ部材１１の底部とハウジング２０の底部との間に底部流路４１が、フィルタ部材１１の側部とハウジング２０の側部との間に側部流路４２がそれぞれ形成され、入口３１から導入された被ろ過液が、中心部内側流路４０から底部流路４１へ、次いで側部流路４２へと流れ、ここから中心部外側流路４３へとフィルタ部材を通過してろ過されるフィルタユニット１において、底部流路４１の上方壁面４１ａを、中心部内側流路４０の壁面４０ａに対し９０度未満で接続させ、かつ水平に対し全域にわたって傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセスに供給する液体蒸気にミストが混在する問題を単一の気化装置で解決する。
【解決手段】液体をキャリアガスに接触させて気化するための液体気化装置において、気密ハウジング（３）内に、多孔質膜を配置した気化部（１３）と、前記気化部（１３）から隔壁（１１）により分離され且つろ過材（２７、３１、４３）を配置しているミスト分離部（１４）を設け、前記多孔質膜の上流側の液体流路に液体を供給する液体入口（２６）と、前記キャリアガスを前記多孔質膜の下流側の気体流路に供給するガス入口（２３）と、前記多孔質膜を透過した液体が前記キャリアガスと接触することにより気化した蒸気を前記気体流路から前記分離部（１３）の上流側（１５）へ引き出すために、前記気体流路の出口側の前記隔壁（１１）を貫通してろ過材（２７、３３、４３）の上流側に連通させる接続通路と、前記ろ過材（２７、３３、４３）の下流側からミストが除去された蒸気を引き出す蒸気出口（２９、３５）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】フィルターカートリッジを配管系に正確かつ適正に結合するためのコネクタ装置を提供する。
【解決手段】フィルターカートリッジの装脱時に気密的に着脱できる複数個の結合管を下面側に有する固定部１と、流体出入管が前記結合管に整列するように保持するフランジ保持部を有する可動テーブル２と、前記可動テーブル２を垂直方向に移動可能なように拘束するようにＸ形に交差し中央の交差点で互いに枢着された２本の細長い部材と該細長い部材の各端部に取り付けたピンと前記固定部１及び前記可動テーブル２の側面にそれぞれ設けられ前記ピンを水平に案内する水平スロットとよりなっている案内機構４と、一端部で前記固定部１に枢着され７且つ他端部にハンドル４２を有し前記可動テーブルに固定されたカムピン６を上下に駆動するためのカムスロット４５を備えている該操作レバー３と、を含んでいるフィルターカートリッジ用コネクタ装置。 （もっと読む）

【課題】半導体処理装置中に使用される光学素子の性能を減少させる、ガス試料内の汚染物の質および／もしくは量を測定そして／もしくは管理する、正確で効率的なシステムを提供する。
【解決手段】好ましい態様には半導体処理システム中の空気流中に配置されたフィルターの性能を監視する方法が含まれる。その方法には、空気流中に存在する分子汚染物を検出するためにフィルターの上流の位置で空気流を試料採取すること、上流の汚染物の標的物質を同定すること、標的物質の濃度を超える濃度を有する汚染物のうちで非汚染物質を選択すること、複数の位置で空気流中の非汚染物質を測定すること、および非汚染物質の測定値から標的物質に対するフィルターの性能を測定すること、が含まれる。複数の位置には、フィルターの下流の位置およびフィルター内の位置が含まれる。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、１つまたは複数の、時にはヘミウィッキングと呼ばれるアスペリティを有する、超濡れ構造化表面を含むか、または備える。四角柱またはフラストラなどのアスペリティの規則正しい配列を有する構造化された基板が、グラファイトブロックから機械加工され、次いで加工されたブロックを親液性にするために処理された。液体がこれらの表面を覆って広がり、非円形の濡れ領域を生じた。アスペリティ間に形成されたチャネルがより浅く、またはより狭く作られるほど、液体はより多く吐き出され、より広い面積にわたって広がった。基板の固有の濡れ性は、その基板から独立していたか、またはほぼ独立していた。適切な表面構造と適度な固有の濡れ性の組合せが、液体を効果的に平らにし、液体を非常に広い面積にわたって広げることができた。
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【課題】中心部内側流路に対するエア除去性能を高めることができるフィルタカートリッジを提供すること。
【解決手段】円筒状のフィルタ部材１１の中心部空間が、入口３１に接続する内側流路４０と、出口３２に接続する外側流路４３とに分けられ、入口３１から導入された被ろ過液が、内側流路４０を通ってフィルタ部材下方の底部４１、次いでフィルタ部材１１の半径方向外側空間４２へと流れ、ここからフィルタ部材１１を中心部へと通過してろ過され、ろ過液が、外側流路４３を通って出口３２から吐出されるように構成されたフィルタカートリッジ１に対し、内側流路４０を形成する内筒１４の内周壁面１４’の下流側部分に螺旋状の溝５０を設ける。この溝５０により内側流路４０を通るろ過液の流れを乱し、層流の発生を防止して、壁面１４’に気泡が残存しにくくする。 （もっと読む）

パージステーションは少なくとも１つの上方に延在するパージノズルを有する基板コンテナ受容域を備える。前記ノズルは円形の係合リップを有する。前記基板コンテナは、少なくとも一つの基板のための支持手段と、前記コンテナから下向きの外向き封止フランジを含むパージポートアセンブリとを有する。前記封止フランジは、中央の開口部と、前記ノズルの円形係合リップと係合する片持ち状のフランジ部とを有する。前記フランジの前記片持ち状部分により保持される前記ノズル上の前記基板コンテナの重量により、弾性力のある柔らかい封止のためのフランジ部の曲がりが生じる。
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本発明は、ハウジング内に保持された金属スクリーンにより重合系膜支持体を利用する流体フィルタを提供する。支持体は、流体が通ることのできる開口を有している。金属支持体は、膜を損傷させないようバリが実質的に存在しない少なくとも１つの面を有するように形成される。この滑らかな面は、重合系膜と連通している。１つ以上の割り出し突出部を外周に沿って追加し、支持体の間の相対的な動きを制限し、また、２つの支持体の開口を整合させることができる。
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