流量制御装置は、化学的不活性流体路を備えた一体制御装置本体を含み、流体路内に載置される挿入可能な絞り即ちオリフィスを有し、オリフィスはより小さな断面積を有することにより、流体路内における流体の流量を抑制して、信頼性の高い流量測定を可能にする。集積回路即ち制御装置は、制御弁に接続されると共に、ファラデー箱によって包囲される信号導体を含むリード構造体によって、圧力センサにも接続される。また、一体化制御装置本体に接続される化学的不活性ハウジングは、制御弁及び圧力センサを包囲する。
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耐摩耗性プラスチック材料から作られるベース部分と、上部、またはさらに固く、さらに耐摩耗性の材料から作られる基幹部分とを備える化学機械研磨保持リング。基部または基幹部分の一方は、好ましくは他方の上に覆い被せられる。ベース部分は、概して平坦なパッド接触面、外面、及び内面によって形成されることができる。ベース部分は、プロセスの間に研磨される基板の間でのスラリーの移動を容易にするために、外面から内面に延びる流路をさらに含むことがある。ベース部分または基幹部分の１つまたは両方は、覆い被せられた材料と追加の接合面を生じさせるために役立つ複数の円形のリブをさらに含む。
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リソグラフィーなどの、汚染物質を極めて低濃度に保たなければならない用途において使用するための、低排ガス発生ポリウレタンが、記載される。特に、このポリウレタンは、電子部品の製造において特定の汚染問題を示すケイ素含有種を本質的に含まない。このポリウレタンは、フィルター装置または電子部品製造環境内の他の用途におけるポッティング材料として使用可能である。この新規ポリウレタン配合物の試験は、ポリエチレン製の市販のポッティング材料よりはるかに低いオフガス発生特性を示す。 （もっと読む）

本発明は、ドラムと共に使用するための流体分配システムに関し、該システムは、ドラム上に設けられた注ぎ口と結合するように構成されるドラムインサートを有し、ドラムインサートは、上側部分と、上側部分からドラムの内部に延在するドラムインサート下管とを有する。このシステムは、ドラムインサートと結合するように構成される分配ヘッドをさらに備え、分配ヘッドは第１導管と第２導管とを有し、各導管は、分配ヘッドがドラムインサートと結合されたときにドラムインサートと作動可能に連通するバルブアセンブリを有する。分配ヘッドがドラムインサートと結合されると、第１及び第２バルブアセンブリは開位置になり、流体が導管内を流れることができる。分配ヘッドがドラムインサートと結合されていないときには、第１及び第２バルブアセンブリは閉位置に付勢され、流体が導管内を流れないようにされる。
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ドラムキャップ通気装置は、概して、通気用キャップアセンブリを含む。通気用キャップアセンブリは、通気用キャップと通気用キーを含むことができる。通気用キャップは、概して、主本体部と、バルブ部と、リング部とを含む。通気用キーは、概して、キー本体部と通気用チューブとを含む。通気用キーは、通気用キャップのバルブ部と回転係合し、キーの回転により、ドラムから、通気用キャップの導管を経て、通気用キーの通気用チューブの外へ出る、連続的な流体流通用の通路を提供する。その結果、加圧ガスをドラムから解放或いは放出することによって、加圧ガスは、ユーザーから離れた安全な場所或いは安全な装置へを導かれることが可能となる。
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【課題】 別個の部材を用いることなく、コスト的に有利に隣り合うプリーツ山間の密着を防止することができ、また、プリーツ折り目に沿う方向の剛性、強度を高めることができ、更に、逆洗効果を高めることができるフィルタ膜体を提供する。
【解決手段】 プリーツ加工されるフィルタ膜体１において、プリーツ折り目２ａ、２ｂと直交する方向に沿って延びる折り重ね部１０ａ、１０ｂを設ける。折り重ね部１０ａ、１０ｂは、フィルタ膜体１を第１折り目１１、１１’と第２折り目１２、１２’とでそれぞれ折り返してなる。フィルタ膜体１は、第１及び第２折り目１１、１１’、１２、１２’間において、内側部分１ａ、１ａ’と外側部分１ｂ、１ｂ’と中間部分１ｃ、１ｃ’とから三重となる。円筒状のフィルタ膜体１において、折り重ね部１０ａ、１０ｂは、上下方向中央と上端及び下端との中間付近に設けられ、それぞれの外側ポケット１３，１３’が上端側及び下端側にそれぞれ開放するようにする。 （もっと読む）

ＲＦＩＤタグを有する流体収容および分配システム。この流体収容および分配システムは、開口部を有する流体収容ドラム缶を含む。流体収容および分配システムは、開口部に動作可能に結合された分配機構をさらに備え、この分配機構は流体収容ドラム缶の内容物を分配するように構成されている。識別タグは、分配機構に結合可能であり、かつ、第１の積層体と、第１の積層体に積層された第２の積層体と、第１と第２の積層体との間に配置されたＲＦＩＤ部材とを含んでおり、また、ＲＦＩＤ部材は流体収容および分配システムに関する情報を含む。
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本発明は標準化された機械式インターフェース（ＳＭＩＦ）レチクルポッドを提供し、それはレチクルを支持するための制御環境を提供するように形成されており、制御環境は混入物を原因とする結晶生成がほぼ起こらないように維持されている。従って、粒状物を除去し気体の混入物を吸着できるフィルタ部材を有する層状フィルタが提供される。フィルタは表面領域を備えたほぼ平らな形状の内向面を有しており、表面領域はレチクル面のほぼ半分以上の面積である。内向面はレチクルのパターン化表面に隣接して配置されており、レチクルのパターン化表面の面積の大部分に相当する面積を有する。また、ＳＭＥＦポッドは制御環境内に非常に乾燥した気体を注入することによってフィルタを再生すると共に制御環境の混入物を吹き流すように形成されたパージシステムを備える。
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基板を搬送及び保存する際に使用されるバネラッチを備えたヒンジ連結されたマスク−パッケージ用容器。同容器は、摺動可能なバネラッチにより固定されたベース及び蓋を有し、同バネラッチは、蓋をベースと合わせるべく押し下げた場合にレールに沿った摺動動作により容器の蓋を受承し、摺動動作により元の位置に戻すことにより蓋及びベースを固定する。容器はオーバーモールド工程により形成された一体ヒンジを使用しており、同オーバーモールド工程により、ヒンジが第一の鋳型中にて形成され、次に容器の蓋及びベースが形成されて、第二の鋳型中にてヒンジと結合される。
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本発明は、レチクルを収納し、第１のコンテナに収容される第２のコンテナを備えるレチクル容器を提供する。第２のコンテナは、衝撃および振動絶縁部材を備える第１のコンテナ内に保持されるため、第１のコンテナ内で多自由度の移動が可能である。レチクルが第２のコンテナの内部に固定されることにより、レチクル容器からレチクルへの衝撃や振動の伝達が実質的に軽減される。
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