【課題】高い研磨速度で銅を研磨するために有効な、化学的機械的平滑化のための新規な水性酸化モリブデン研磨スラリーを提供する。
【解決手段】半導体基板上の銅層の化学的機械的平滑化のための水性研磨スラリーは、脱イオン水と酸化剤の溶液中に目視で溶解している10000nm以下の平均粒子径を有するMoO₃の粒子と酸化剤とを含み、MoO₃の該粒子は0.1重量%〜10重量%の量で存在する。また、酸化剤、錯形成剤、界面活性剤を含む。 （もっと読む）

１態様に従う金属物品を製造するための方法は、以下の：ナトリウム／モリブデン複合金属粉末の供給物を提供し；そのナトリウム／モリブデン複合金属粉末を十分な圧力の下で圧縮して予備成形された物品を形成し；その予備成形された物品を密閉された容器に入れ；その密閉された容器の温度をモリブデンの焼結温度より低い温度まで上げ；そして、その密閉された容器に、物品の密度を理論密度の少なくとも約９０％まで増大させるのに十分な時間の間等方圧をかける；ことを含んでいてよい。 （もっと読む）

本発明の一態様に従った複合金属粉末の製造方法は、以下を含むことができる：モリブデン金属粉末の供給物を提供し；ナトリウム化合物の供給物を提供し；該モリブデン金属粉末と該ナトリウム化合物を液体と組み合わせてスラリーを形成し；該スラリーを高温ガス流中に供給し；そして、複合金属粉末を回収する。 （もっと読む）

モリブデン金属粉末10、およびこれを製造するための方法80。モリブデン金属粉末10は、BET分析で測定して約１.０メートル^２/グラム（m²/g）と約３.０m²/gの間の範囲の表面積対質量比を有し、これと組合わせて粒子の少なくとも３０％がサイズ＋１００の標準タイラーメッシュふるいよりも大きい粒度となるような粒度を有する。さらに、モリブデン金属粉末10は、ホール流量計で測定して約２９秒/５０グラム（s/５０g）と約６４s/５０gの間の範囲の流動性によって特徴づけることができる。モリブデン粉末10を製造する方法80は、モリブデン酸アンモニウム24の供給物を用意すること（82）、モリブデン酸アンモニウム24を還元ガス30の存在下で最初の温度において加熱して（84）中間生成物74を生成させること、および中間生成物74を還元ガス30の存在下で最終温度において加熱して（86）、それによりモリブデン金属粉末10を生成させること（88）を含むであろう。 （もっと読む）

金属粉末製品を製造するための方法であって：先駆金属粉末の供給物を用意すること；先駆金属粉末を液体と混合してスラリーを形成すること；スラリーを熱ガスの脈動流の中に供給すること；および、金属粉末製品を回収すること；を含む方法。 （もっと読む）

化学的機械研磨用の水性研磨スラリーは速い研磨速度で銅を研磨するのに有効である。本発明に従った水性スラリーは、酸化剤に溶解したモリブデンの可溶性塩と、酸化剤に溶解したモリブデン酸とを含むことができる。化学的機械平坦化による銅の研磨方法としては、酸化剤に溶解したモリブデンの可溶性塩と、酸化剤に溶解したモリブデン酸と、酸化剤に溶解したMoO₃粒子と、酸化剤に溶解したMoO₂粒子とを含む水性スラリーと研磨パッドとを使用して低圧で銅を研磨することが挙げられる。 （もっと読む）

本発明は、Fe-Mo金属間化合物と酸化銅の混合物を含む新規組成物に関する。Fe-Mo金属間化合物、酸化銅及び炭酸カルシウムの新規組成物も請求する。本発明は、優れた制動効力のためのFe-Mo金属間化合物と酸化銅を含む新規摩擦ライニング添加剤にも関する。Fe-Mo金属間化合物、酸化銅及び炭酸カルシウムは、本発明に従って摩擦ライニング添加剤としても使用することができる。本発明は、優れた摩耗のためにFe-Mo金属間化合物と酸化銅を含む新規モーターブラシにも関する。Fe-Mo金属間化合物、酸化銅と炭酸カルシウムは、本発明に従ったモーターブラシ添加剤としても使用することができる。 （もっと読む）

銀ナノ粒子材料（１２）を生産するための装置（１０）は、炉（１６）および炉（１６）内に位置決めされたるつぼ（２４）を含み、るつぼ（２４）は一定分量の前駆体材料（１４）を含有し、炉（１６）は、るつぼ（２４）に含有されている該分量の前駆体材料（１４）を加熱して、前駆体材料（１４）を気化させる。炉（１６）と運転的に関連付けられているプロセスガス供給源（２０）は、プロセスガス（２２）を炉（１６）の内側領域（１８）に提供する。導管（２６）は、導管（２６）の入口末端（２８）が炉（１６）の内側領域（１８）の方に開いているように、炉（１６）と運転的に関連付けられている。粒子セパレーター系（３６）は、導管（２６）の出口末端（３０）と運転的に関連付けられている。粒子セパレーター系（３７）の出口末端（４２）と運転的に関連づけられているポンプ（４６）は、炉（１６）の内側領域（１８）に含有されているプロセスガス（２２）と気化した前駆体材料（５６）との混合物が導管（２６）の入口末端（２８）に引き込まれるようにし、プロセスガス（２２）は、気化した前駆体材料（５６）を冷却して、キャリヤー流（３８）中に銀ナノ粒子材料（１２）を沈殿させ、粒子セパレーター系（３６）は、キャリヤー流（３８）から銀ナノ粒子材料（１２）を分離する。 （もっと読む）

特許請求する本発明は、高研磨速度で銅を研磨するのに有効な化学的機械的平滑化のための新規水性スラリーを含む。本発明に従う水性スラリーは、MoO₂またはMoO₃の粒子と酸化剤とを含む。化学的機械的平滑化による銅を研磨するための方法は、MoO₂またはMoO₃の粒子と酸化剤とを含む水性スラリーおよび研磨パッドと銅を接触させる工程を含む。 （もっと読む）