【課題】腐食性ガスを使用した成膜装置において、ガス流量を検知して電気信号として出力することで、正確な成膜と安全性を確保可能にする。
【解決手段】腐食性ガスを使用して基板に成膜する成膜装置から排気されるガスの流量を検出するための流量計であって、ガス供給口３とガス排出口４を備え、使用に際して内部に不活性液体が充填される密閉容器２と、密閉容器２内に可動自在に支持されたフロート５と、フロート５の可動を制御するストッパー１３と、フロート５の可動回数をカウントして電気信号として出力するセンサー１４を具備し、フロート５は、仕切板９によって、内壁を耐腐食性材質で加工した第１室８ａ及び第２室８ｂに仕切られた受入空間８を有し、振り子状に可動自在に密閉容器２内に支持され、第１室８ａと第２室８ｂに交互にガスを受け入れつつフロートの可動を検知して電気信号として出力可能とした。 （もっと読む）

【課題】測温抵抗体を用いて液面を検出する方法において、測温抵抗体の劣化を防止するとともに消費電力も抑えることを可能すること。
【解決手段】一対の測温抵抗体２ａ、２ｂを具備した液面レベルセンサーＢと、装置本体Ａを具備し、装置本体Ａは、測温抵抗体の一方２ａに比較的大きな定電圧を加える第１の定電圧回路３ａと、測温抵抗体の他方２ｂに微小な定電圧を加える第２の定電圧回路３ｂと、測温抵抗体の一方と第１の定電圧回路間及び測温抵抗体の他方と第２の定電圧回路間に介在される抵抗４と、測温抵抗体の一方の抵抗値を測定する第１の抵抗値測定回路７ａと、測温抵抗体の他方の抵抗値を測定する第２の抵抗値測定回路７ｂと、第１の抵抗値測定回路の出力と第２の抵抗値測定回路の出力を入力して比較する比較手段８と、装置全体の作動を制御する制御手段９を具備した。 （もっと読む）

【課題】コストを上げること無く、保護管を長くしても、振動による保護管の損傷を防止可能な液面レベルセンサーを得ること。
【解決手段】それぞれに測温抵抗体５を封入した複数本の保護管２と、保護管２の基端部が連結された、保護管２を容器に取り付けるための取付部７と、保護管２が固定された補強部材９を具備して、保護管２はそれぞれ、取付部７に基端部が連結された保護管本体３と、保護管本体３の先端部に連設された、保護管本体３よりも小径にするとともに先端部分を球状に形成し、内部に測温抵抗体５を配設した検出部４を具備し、補強部材９は無端のベルト状とし、補強部材９の内壁と保護管２の外周部分が当接する配置で、保護管２を補強部材９の内周側に配設し、保護管２の外周部分を補強部材９の内壁に溶接により固着した、ことを特徴とする。 （もっと読む）