【課題】測温抵抗体を用いて液面を検出する方法において、測温抵抗体の劣化を防止するとともに消費電力も抑えることを可能すること。
【解決手段】一対の測温抵抗体２ａ、２ｂを具備した液面レベルセンサーＢと、装置本体Ａを具備し、装置本体Ａは、測温抵抗体の一方２ａに比較的大きな定電圧を加える第１の定電圧回路３ａと、測温抵抗体の他方２ｂに微小な定電圧を加える第２の定電圧回路３ｂと、測温抵抗体の一方と第１の定電圧回路間及び測温抵抗体の他方と第２の定電圧回路間に介在される抵抗４と、測温抵抗体の一方の抵抗値を測定する第１の抵抗値測定回路７ａと、測温抵抗体の他方の抵抗値を測定する第２の抵抗値測定回路７ｂと、第１の抵抗値測定回路の出力と第２の抵抗値測定回路の出力を入力して比較する比較手段８と、装置全体の作動を制御する制御手段９を具備した。 （もっと読む）

【課題】コストを上げること無く、保護管を長くしても、振動による保護管の損傷を防止可能な液面レベルセンサーを得ること。
【解決手段】それぞれに測温抵抗体５を封入した複数本の保護管２と、保護管２の基端部が連結された、保護管２を容器に取り付けるための取付部７と、保護管２が固定された補強部材９を具備して、保護管２はそれぞれ、取付部７に基端部が連結された保護管本体３と、保護管本体３の先端部に連設された、保護管本体３よりも小径にするとともに先端部分を球状に形成し、内部に測温抵抗体５を配設した検出部４を具備し、補強部材９は無端のベルト状とし、補強部材９の内壁と保護管２の外周部分が当接する配置で、保護管２を補強部材９の内周側に配設し、保護管２の外周部分を補強部材９の内壁に溶接により固着した、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】槽内に入れる液体の量を減らしてコストの削減を図り、且つ熱交換効率のよい恒温槽を提供する。
【解決手段】液体が収納されるタンク３１を備え、タンク３１内の液体を所定温度に維持する恒温槽３０において、タンク３１の下部には、循環羽根４８が収納された収納部３６が設けられ、タンク３１の底面には、タンク３１内部と収納部３６を液体が流通可能となるように連通させる連通孔４２が形成され、タンク３１と一体に形成され、収納部３６に流入した液体をタンク３１の外側からタンク３１上部へ流通させるための流通管３８が複数設けられ、流通管３８の外壁に温度を一定に維持するためのサーモモジュール５２が設けられ、循環羽根４８の駆動によって、タンク３１内の液体が収納部３６に流入し、収納部３６から流通管３８を通ってタンク３１の上部に流入するように液体が循環する。 （もっと読む）

【課題】温度、湿度のムラの発生を防止しつつ、コンピューターサーバールーム内の温度、湿度を確実に管理可能であるとともに、省エネを達成可能とする。
【解決手段】サーバーラック２３の天井に配置される排気口３と、排気路４を介して排気口３と連通された空調機２と、供給口２００１を介して空調機２に連通され、給気口５を介してサーバーラック２３に連通した給気空間６を備え、空調機２は、排気路４に連通した吸入室７と、吸入室７に連通し、外部排気口８を有した排気室９と、循環口１１を介して排気室９と連通し、外気取り込み口１３を有した混合室１２と、フィルター１４を介して混合室１２に連通し、送風機１６を備えた送風機設置室１５と、送風機１６を介して送風機設置室１５に連通し、加湿器１８を備えた加湿制御室１７と、冷却手段１９を介して加湿制御室１７に連通し、供給口２００１を介して給気空間６に連通した冷却室２０を備えた。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液中で超音波を間欠照射させて処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、該洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、前記洗浄槽（１０２）の内部に蓄えた電解アルカリ性水中に超音波を照射可能な超音波振動子と、を具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液を被処理部物に供給しながらブラシ処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、被処理物をブラッシング処理するためのブラシとを具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外タンクに設けられたサーモモジュールによる温度制御を効率良く行うことができる恒温槽を提供する。
【解決手段】内タンク３６は、内タンク３６の底面が外タンク３８の底面と所定の間隔をあけ、且つ内タンク３６の側壁が外タンクの側壁３８と部分的に所定の間隔をあけるように配置され、内タンク３６の底面には底部連通孔４２が設けられ、内タンク３６の底部連通孔４２から間隙４９に流入する液体を、両タンクの側壁間の間隙３５方向に移動させる循環手段４８が設けられ、外タンク３８の側壁の外面の複数箇所には、サーモモジュール５２が設けられ、サーモモジュール５２が設けられている部位であって、且つ両タンクの側壁間における部分的な間隙３５が、循環手段４８によって液体を上方に流通させるための流路４０として複数箇所に設けられ、内タンク３６の上部は、流路４０からの液体が内タンク３６の内部に流入するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】内タンクと外タンクとの間の隙間部分について無駄なスペースを無くし、且つこの隙間をなるべく狭くするようにして、液体温度を高い精度で制御できる恒温槽を提供する。
【解決手段】多角筒状の頂点部分が曲線Ａｉで形成された内タンク３６と、内タンク３６の多角筒状の曲線状の部分Ａｉの数と同じ数の頂点部分Ａｏを有する多角筒状の外タンク３８とを有し、内タンク３６の曲線状の部分Ａｉと外タンク３８の頂点部分Ａｏとが一致するように配置されて成る二重壁構造のタンク３８が設けられ、内タンク３６と外タンク３８との間は、流路４０として設けられ、内タンク３６内の液体を、内タンク３６の底部から流路４０内を上昇して内タンク３６の上部から再度内タンク３６内に流入するように循環させる羽根車５１を有する循環手段４８が設けられ、流路４０を流通する液体を所定の温度となるように維持するサーモモジュール５２が外タンク３８の外壁面の平面部分に設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体、液晶等の製造装置用クリーンチャンバー内の温度調節に際して、より高い温度精度を実現可能とする温調装置を提供すること。
【解決手段】下部に吸入口３を有して上部側に吐出口４を有したメインダクト２と、メインダクト２内において吐出口４の近傍に配置した送風機５と、メインダクト２内において吸入口３と送風機５間に配設した冷却コイル７と、吐出口４より吐出される流体の温度を感知する温度センサー６と、吸入口９を冷却コイル７よりも下部側でメインダクト２に連通するとともに吐出口１０を冷却コイル７よりも上部側でメインダクト２に連通したバイパスダクト８と、バイパスダクト８内に配設したホットガスコイル１１とを具備し、バイパスダクト８の吸入側をゲートバルブ１２で開閉自在に閉鎖し、ゲートバルブ２の開度を温度センサー６で感知した流体温度に基づいてポジショナー１３により制御することとした。 （もっと読む）

【課題】水を用いた場合でも、再付着がなく洗浄後の乾燥効率も非常に高く、洗浄、乾燥時間を短縮できるベーパー洗浄を可能にする。
【解決手段】洗浄剤１１を蓄えることが可能なベーパー槽２と、ベーパー槽２に連結された、ベーパー洗浄槽２の内部を加減圧する圧力調整手段６及びベーパー洗浄槽２内に洗浄剤１１を供給する洗浄剤供給手段７と、ベーパー槽２を加熱する加熱手段１０を具備し、大気圧の状態で被洗浄物１３を入れた後に密閉状態にしたベーパー槽２内に洗浄剤１１を供給し、洗浄剤１１を加熱するとともに、ベーパー槽２内を真空状態にして洗浄剤１１の沸点を下げて被洗浄物１３をベーパー洗浄し、ベーパー槽２内を大気状態に戻すとともにベーパー槽２内から洗浄剤１１を抜き取り、ベーパー槽２内を再び真空状態にすることで洗浄剤１１の沸点を下げて被洗浄物１３に付着した洗浄剤１１を蒸発させる、ことを特徴とする。 （もっと読む）