【課題】 ローター及び駆動モータを提供する。
【解決手段】 ｑ軸のインダクタンスを増加させ、磁束漏れを防止することによって、高速運転時にも、高出力を保持することができるローター及び駆動モータが開示される。本発明の一実施例によれば、ローターは、中心部にシャフトと結合されるホールを含むローターコアと、ローターコアと結合され、離隔して位置する一対の第１永久磁石、及び第１永久磁石の一端を互いに連結する第１連結部を含むモジュールと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は検査方法に関し、より詳細には基板の検査方法を提供する。
【解決手段】 基板を検査するために、先に基板上に測定領域を設定し、測定領域に対する基準データ及び測定データを取得する。 続いて、測定領域に対して変換条件を設定し、基準データと測定データとの間の歪曲量に従う変換関係を取得する。次に、比較用特徴客体が変換関係を充足するか、比較用特徴客体を除いた特徴客体から選択された検証用特徴客体が変換関係を充足するか及び基板上に形成された検査対象パッドが変換関係を充足するかを検証する検証方法うち少なくとも一つの方法を用いて変換関係の有効性を検証する。続いて、変換関係が有効であると判断された場合変換条件を確定し、確定された変換条件に従って検査領域を設定する。これにより、歪曲を補償した正確な検査領域を設定することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の投影部を通して測定対象物が形成された基板を検査する基板検査方法を提供する。
【解決手段】複数の投影部を通して測定対象物が形成された基板にパターン照明を順に照射して基板に対する投影部別位相データを取得する（Ｓ１１０）。以後、投影部別位相データを用いて基板に対する投影部別高さデータを抽出する（Ｓ１２０）。その後、各投影部別で投影部別高さデータを用いて抽出された高さデータの傾きを補正する（Ｓ１３０）。その後、傾き補正が完了した投影部別高さデータを整列させ（Ｓ１４０）、整列された高さデータを用いて統合高さデータを抽出する（Ｓ１５０）。このように、複数の投影部から抽出された高さデータを整列させる前に各投影部別に測定された高さデータに対する傾きを補正することによって、統合高さデータの信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は上述の問題点を解決するためのもので、本発明の目的は、ソースとドレインに低い電子障壁を誘導するためにショットキー接触を有するＩＴＯ透明電極を蒸着する窒化物半導体ＭＯＳＦＥＴ及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 窒化物半導体ＭＯＳＦＥＴ及びその製造方法が提供される。本窒化物半導体ＭＯＳＦＥＴの製造方法は、単結晶シリコン基板上に有機金属化学蒸着器（ＭＯＣＶＤ）を用いて緩衝層を蒸着し、緩衝層の上に窒化物半導体薄膜を形成し、窒化物半導体薄膜に硫化アンモニウムを処理し、硫化アンモニウムを処理した後、窒化物半導体薄膜の上にＩＴＯを用いて電極を形成し、電極を覆い、前記窒化物半導体薄膜の上にゲート誘電体を形成し、ゲート誘電体の上にＩＴＯを蒸着してゲート電極を形成する。これにより、窒化物半導体がエンハンスメントモードで動作することにより、漏れ電流及び出力消耗を減少させることができ、センサと集積化を簡単に実現することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、二酸化チタン光触媒の製造方法と、これにより製造される二酸化チタン光触媒に関するものである。より詳しくは、２段階に亘って酸−塩基触媒を投入するゾル−ゲル法によって、特に添加剤がなくてもメソ多孔性を増加させ、乾燥時にアナターゼ型が生成され、且つ高温で焼成してもアナターゼ型が維持される二酸化チタン光触媒の製造方法、及びこれにより製造される二酸化チタン光触媒に関するものである。
【解決手段】上記方法を用いて製造された硫黄とジルコニウムとがドーピングされた二酸化チタン光触媒は、可視光線でも触媒活性を発現し、表面特性などが優れて触媒活性が向上する。 （もっと読む）