【解決手段】真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプが、少なくとも１つのロータ手段(14)を支持するロータ軸(12)を備えている。ロータ軸(12)は、軸受手段(56)により圧力側に取り付けられて、軸受手段(30)により吸込み側に取り付けられている。本発明によれば、吸込み側の軸受手段(30)は、高真空領域(22)に配置されて、電磁軸受を有している。好ましくは、電磁軸受のコイル(32)がハウジング要素(40)の凹部(38)に配置されている。凹部(38)は、特には管状の閉鎖要素(42)により圧力封止されている。
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【解決手段】本発明は、吸込室(10)に配置された回転体(12)を備えた真空ポンプ、特にはルーツ式ポンプに関する。ポンプの圧力側(30)が、接続通路(22)により吸込み側(20)に接続されている。接続通路(22)には、通路口(32)を閉じる弁(24)が配置されている。圧力側(30)と吸込み側(20)との間の所定の圧力差を超えると、弁(24)は自動的に開く。必要な空間を低減して弁からの切替ノイズを減らすために、弁体がバルブフラップ(28)として設けられている。
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【解決手段】特にはターボ分子ポンプのためのロータ軸として使用されるような高速回転軸のための軸配置が、互いに接続された２つの個別の軸ジャーナル(10)を備えている。転がり軸受(12)が、２つの軸ジャーナル(10)に夫々配置されている。軸を、少なくとも２つの部分、すなわち２つの軸ジャーナル(10)に分離することにより、軸ジャーナル(10)の表面(20)に、転がり軸受(12)の転動体(18)のための軸受面(22)を直接設けることが可能になる。
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【解決手段】本発明は、複数のポンプ段(18,24,26)を構成すべくポンプハウジング(10)内の共通の軸(12)に配置された複数のロータ要素(14,16) を備えた多段真空ポンプに関する。軸は電動機(40)によって駆動される。機械的に好ましい軸受配置が、軸受要素(42,44) の簡易な構成を用いて転がり軸受として実施されるように、内側軸受要素(42)が２つのロータ要素(14,16) 間に配置されている。これは特に、２つのロータ要素(14,16) への分割により可能になる。
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【解決手段】真空ポンプは、ポンプステータ(10)及びポンプロータ(11)に関する。ポンプロータ(11)は、ポンプステータ(10)のリーダ(12)により読み出され得るトランスポンダ(14)を含んでいる。ポンプロータ(11)は、ロータ情報を記憶する識別保護メモリ(25)を含んでいる。関連するポンプロータ(11)が認証されており、ポンプステータ(10)と適合する場合にのみ、制御部(20)が、真空ポンプのモータ(21)を駆動させる。そのため、認められていない（模造された）ポンプロータの使用が妨げられる。更に、ポンプロータは点検処理の間に交換不可能であり、ポンプロータは、使用期間又は耐用寿命の終了が知らされるまで、あらゆる損傷の危険性なく確実に作動され得る。
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【解決手段】本発明は、ポンプステータ(10)及びポンプロータ(11)に関する。ポンプロータ(11)は、ポンプステータ(10)のリーダによって読み出され得るトランスポンダ(14)を含んでいる。ポンプロータ(11)は、動作データ(BD)を決定するためのセンサ(26)、及びメモリ(27)を更に含んでいる。メモリ(27)は、測定された動作データ(BD)の履歴、又は耐用寿命特性(LDK) のいずれかを記憶する。このようにして、夫々のポンプロータの摩耗の程度が決定されてポンプロータに記憶される。従って、ポンプロータは、保守に関する情報を全て格納している。ポンプロータが別の真空ポンプに使用される場合であっても、ポンプロータに関する情報はポンプロータに記憶されたままである。
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【解決手段】本発明は、駆動軸(10)に設けられたロータ(12)を備えているターボ分子ポンプに関する。ロータ(12)は複数の動翼(16)を含んでいる。ロータ(12)はステータリング(26)に囲まれており、ステータリング(26)は動翼(16)毎に１つずつ設けられている。動作中における動翼の径方向の膨張を可能にするために、ステータリング(26)は環状溝(32)を有する。
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【解決手段】本発明は、ポンプハウジング(14)と、環状ディスク群(18)により構成されている複数の別個の環状静翼ディスク(16)とを備えたターボ分子ポンプ(10)に関する。筒状の摩擦ブッシュ(20)が、環状ディスク群(18)とポンプハウジング(14)との間に直接配置されている。環状ディスク群(18)が回転可能であるように、環状ディスク群(18)とポンプハウジング(14)との間にアキシアル間隙(22)が軸方向に設けられている。
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【解決手段】本発明は、ターボ分子ポンプのための多段ポンプロータ(10)に関する。ポンプロータ(10)は少なくとも２つの別個の円盤翼環(17)を備えており、各円盤翼環(17)はロータ環(12)及び少なくとも１つの円盤翼(14)を含んでいる。円盤翼環(17)のロータ環(12)を外側で隙間なしに囲む筒状の補強パイプ(18)が、隣り合う円盤翼環(17)の円盤翼(14)間に設けられている。補強パイプ(18)は、ポンプロータ(10)の速いロータ回転速度での安定性を改善するように、作動中に生じる接線力の大部分を吸収する。
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【解決手段】本発明は、ポンプロータ(16)、能動型磁気軸受(20,21) 、該磁気軸受(20,21) に連動付けられた安全軸受(22,23) 、ポンプロータ(16)を駆動するための複数のステータコイル(19₁,19₂,19₃) を有するモータステータを含む電気駆動モータ(18)、ベース接点(62,63,64)、ブレーキ接点(44,45,46)及び作動接点(47,48,49)を夫々有する複数の切換器を含むブレーキ継電器(42)、及びブレーキ継電器(42)の全てのブレーキ接点(44,45,46)が互いに直接接続されている短絡点(60)を備えた真空ポンプ(10)に関する。全てのステータコイル(19₁,19₂,19₃) は、切換器のベース接点(62,63,64)に接続されており、ブレーキ継電器(42)のブレーキ接点(44,45,46)と短絡点(60)とを介して互いに直接接続されることが可能であり、作動接点(47,48,49)を介して変換器モジュール(32)に接続され得る。
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