【解決手段】本発明は、少なくとも１つの転がり軸受(16)によりハウジング(12)に取り付けられたロータ(18)を有するターボ分子ポンプ(10)に関する。転がり軸受(16)は非回転軸受環(20)及び回転軸受環(22)を有する。非回転軸受環(20)は、弾性振動リング(14)によりハウジング(12)に取り付けられている。振動リング(14)は、ばね剛性が全周に亘って不均一なように異方性形状となしてある。
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【解決手段】真空ポンプは、真空カバー(20)によって閉じられた筐体(10)を備える。筐体(10)の端壁(14)と真空カバー(20)との間に、プリント回路基板(16)が電気的フィードスルーとして配置されている。プリント回路基板(16)は、直径が異なる２つの密閉部(15,21) によって密閉されており、その結果、環状の部分領域(22)が外側で大気圧にさらされ、内側で真空にさらされる。プリント回路基板(16)が筐体(10)の外形を越えて横方向に突出することが回避される。
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【解決手段】本発明は、ターボ分子ポンプのような高速で回転するポンプに特に適しており、ロータ軸に接続されたポンプロータ(10)を有するポンプ軸受配置に関する。ロータ軸(14)は、２個の軸受配置(12)によって軸ハウジング(20)に支持されている。各軸受配置(12)は、ロータ軸(14)に接続された内側軸受リング(16)と軸ハウジング(20)に接続された外側軸受リング(22)とを有する。軸受支持体(24)が２個の軸受リング間に配置されている。本発明によれば、少なくとも１個の振動要素(26)が、外側軸受リング(22)と軸ハウジング(20)との間に設けられており、振動を減衰すべく機能し、更に放熱のために少なくとも0.3W/mK の熱伝導率を有する。
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【解決手段】本発明は、入口ロータ段(18)の末端部に円形の吸込開口部(16)を備えたターボ分子ポンプ(12)に関する。吸込開口部(16)は、互いに分離されている少なくとも２つの開口部分(41,42,43)を有している。
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【解決手段】本発明は、質量分析計補助真空出口(30)を有する質量分析計補助真空室(20)を囲むハウジング(86)と、少なくとも２つの質量分析計高真空室(21,22,23)と、高真空室(21,22,23)と接続され、補助真空出口(89)を有する一体化されたターボ分子ポンプ(12)とを備えた質量分析計の配置(10)に関する。２つの補助真空出口(30,89) は、ハウジング(86)内の共通の補助真空空間(98)に延びており、補助真空空間はハウジング出口(88)に延びている。
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【解決手段】本発明は、電気駆動モータによって駆動され、一定した固定の公称回転数(f_nom)を有し、磁石が取り付けられたロータを備えた高速回転式真空ポンプに関する。臨界反回転共振周波数(f_crit) が公称回転数(f_nom)を３%乃至最大30%の間で超えているように、ロータ及びロータの軸受が備えられており、それによって超過速度を防止する。
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【解決手段】
本発明は、消振ダンパ（１４）により接続される２個のライン部（１２、１３）を備える減圧ライン（１０）に関する。消振ダンパ（１４）は、鉛直方向に延びる外側パイプ（１８）と内側パイプ（２０）とで形成されており、内側パイプ（２０）は外側パイプ（１８）から間隔をあけて配置されている。弾性的な張力スリーブ（３０）は、外側パイプ（１８）及び内側パイプ（２０）の開口端（１９、４２）の間に固定されており、この固定により、外側パイプ（１８）及び内側パイプ（２０）の開口端（１９、４２）が気密的に接続されている。したがって、良好な振動抑制特性を備えた消振ダンパが提供される。
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【解決手段】
ガスターボポンプが有するポンプロータの疲労度を決定する方法。ガスターボポンプが有するポンプロータの疲労度を決定する方法は、ポンプロータの回転速度（ｎ）を継続的に決定するステップ、検討中の一時的回転速度プロファイルにおける回転速度の極大値および極小値を決定するステップ、回転速度の極大値および極小値がペアをなすように関連付けるステップ、回転速度のペアそれぞれに対してペア疲労度（Ｌ）を決定するステップ、及びすべてのペア疲労度（Ｌ）を累積して全体疲労度（Ｌ_tot）を形成するステップを含む。このような構成により、真空ポンプのポンプロータに対する繰り返し応力を決定することができ、その繰り返し応力を考慮して全体疲労度を計算することができる。
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【解決手段】本発明は、磁気軸受を用いたロータ、特にターボ分子真空ポンプのロータの共振周波数を決定するための方法に関する。ロータが静止している間、又はロータが比較的低い回転数で回転している間、ロータの機械的振動が磁気軸受の電磁石によって生成される。ロータの振動は磁気軸受のロータ位置センサによって検出される。ロータの共振周波数が検出されたロータの振動から決定される。 （もっと読む）

【解決手段】場合によっては反応性粒子(40)を含む処理ガス(38)が真空ポンプ装置に吸い込まれる。空気又は純酸素の状態の酸素が、酸素吸込口(26,26a,26b)を介して真空ポンプ装置に制御された方法で供給される。従って、突発的な通気の場合に粉塵が自己点火できないように、制御された酸化が圧縮室(24)で行なわれる。
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