【解決手段】本発明は、第１のポンプ装置(10)及び第２のポンプ装置(12)を備えた複数入口式真空ポンプに関する。第１のポンプ装置(10)は、搬送方向(36)に連続して配置された複数の第１ロータディスク(20,21) を有する第１のロータ要素(18)を備えている。第２のポンプ装置(12)は、搬送方向(36)に連続して配置された複数の第２ロータディスク(28)を有する第２のロータ要素(26)を備えている。第１の流体流(34)が、第１のポンプ装置(10)によって主入口(32)を介して吸い込まれ、第２のポンプ装置(12)の方向に搬送される。第２の流体流(40)が、第２のポンプ装置によって中間入口(38)を介して吸い込まれ、ポンプ出口の方向に搬送される。本発明によれば、第１のポンプ装置(10)の最後のロータディスク(21)の直径が、第２のポンプ装置(12)の最初のロータディスク(28)の直径に略等しい。
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【解決手段】本発明は、搬送方向(36)に連続的に配置された複数の第１のロータディスク(20)を有する第１のロータ要素(18)を備えた第１のポンプ装置(10)と、搬送方向(36)に連続的に配置された複数の第２のロータディスク(28)を有する第２のロータ要素(26)を備えた第２のポンプ装置(12)とを備えた複数入口式真空ポンプに関する。第２のロータディスク(28)の直径が、第１のロータディスク(20)の直径より少なくとも部分的に大きい。複数入口式真空ポンプは主入口(32)を更に備えており、主入口(32)を通って第１の流体(34)が第１のポンプ装置(10)によって吸い込まれて第２のポンプ装置(12)の方に搬送される。更に、複数入口式真空ポンプは中間入口(38)を備えており、中間入口(38)を通って第２の流体(40)が第２のポンプ装置(12)によって吸い込まれてポンプ出口の方に搬送される。第１及び第２の流体(34,40) の両方が第２のポンプ装置(12)内で混合されて、特には第２のポンプ装置(12)の２つの隣り合う第２のロータディスク(28)間で混合される。
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【解決手段】本発明は、ロータ要素(24,36) が配置されているポンプハウジング(34)を備えた真空ポンプ、特にホルヴェック（Holweck ）真空ポンプに関する。ロータ要素は少なくとも２つの筒状の搬送要素(24)を有しており、搬送要素(24)は、互いに同心状に配置されており、円盤状の保持要素(36)に接続されている。ステータ要素(26)が、２つの隣り合う搬送要素(24)間に配置されている。本発明によれば、単一の螺旋状の流路(28)がステータ要素によって形成されている。
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【解決手段】本発明は、ハウジング(10)内に配置された少なくとも１つのポンプ要素(12)を備えた真空ポンプに関する。ポンプ要素は軸(14)に支持されている。固定フランジ(20)が、真空ポンプを支持要素(24)に固定するためにハウジング(10)に接続されている。固定フランジ(20)は、環状線(26)に沿って配置された固定孔を有している。固定孔は、破裂の場合にエネルギを吸収すべく細長い孔(28)として設計されている。細長い孔(28)の長手軸(32)が、環状線(26)の接線(34)に対して０ではない角度（α）の方向を向いている。
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【解決手段】ターボ分子ポンプは、ポンプハウジング(18)に配置されたロータ要素(12)を備えている。ロータ要素(12)は、ステータ要素(24)に囲まれている。ステータ要素(24)とポンプハウジング(18)との間に、隙間(36)が設けられている。ロータ要素(12)が破裂した場合にエネルギーを吸収するために、エネルギー吸収要素(44)が隙間(36)に配置されている。
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【解決手段】真空ポンプロータ、特にはターボ分子ポンプロータが複数の別個のロータ要素(10)を備えている。各ロータ要素(10)は、少なくとも１つのロータディスク(18)を有している。ロータディスク(18)は、ロータの軸部分を構成する筒状の突起部(12,14) に接続されている。ロータ要素(10,12) の突起部(12,14) は、ロータ軸を構成するように互いに接続されている。
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【解決手段】少なくとも１つのポンプロータ(14)を有するポンプ室(12)を備えた真空ポンプ(10)を清掃するための効果的な方法は、ステップa) ポンプ室(12)にクリーニング液(28)を満たす、ステップb) クリーニング液(28)をポンプ室(12)内で分散させる、ステップc) クリーニング液(28)を用いて不純物を溶解する、及び、ステップd) クリーニング液(28)をポンプ室(12)から排出する、を備えている。
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【解決手段】真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプのためのステータ−ロータ構造が、ロータ要素(14)と協働する、ロータディスク(16)間に配置された複数のステータディスク(18)を備えている。ステータディスク(18)は、ステータリング(20,22) により保持されている。少なくとも２つのステータリング(20)は、保持要素(28,30) により共に接続された突出部(24)を有している。このため、ステータ−ロータ構造(12)が予め組み立てられることが可能になり、すなわちステータ−ロータ構造(12)がハウジング(10)に配置されることが可能になり、突出部(24)は、ハウジング(10)の隅部(32)の領域に配置され得る。
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【解決手段】真空装置の回転要素を支持するための転動体軸受が、軸受要素(12,14) 間に配置された複数の転動体(10)を備えている。軸受空間(26)が、例えば、密閉要素(22,24) によって両側で閉じられている。密閉要素(22,24) は僅かなシールギャップ(s) を置いて設けられている。本発明に係る転動体軸受は、圧力が10^-3mbar未満である真空部分で使用される。
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【解決手段】真空システムの全漏れ量を決定する方法は、連続的又は周期的に行われ得る。真空システムは、少なくとも１つの処理室(10)、及び処理室(10)に接続されたポンプ機器(16)を備えている。本発明に係る周期的な決定方法は、処理室(10)への処理ガスの供給を停止するステップと、処理室(10)にキャリアガスを供給するステップと、ポンプ機器(16)を用いてキャリアガス及び漏れガスを送るステップと、送られたガス中のガス成分の量を測定するステップと、測定されたガス成分の量に基づいて真空システムの全漏れ量を決定するステップとにより行われる。
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