【解決手段】本発明は、真空気密なハウジング(12)と、ハウジング(12)内の電気部品(14,16,18) とハウジングの外側との間の電気接続を形成するための気密な電気的導出部(20)とを有する真空ポンプ(10)に関する。導出部(20)は、ハウジング開口部(22)と、開口部に固定されたシーリング化合物体(24)と、シーリング化合物体(24)内の電気線と、ハウジング開口部(22)の開口縁とシーリング化合物体(24)との間のシーリング環(26)と、シーリング化合物体(24)をハウジング(12)に固定するための固定手段(32)とによって形成されている。
（もっと読む）

【解決手段】本発明は、ターボ分子ポンプの状態を測定する方法及びターボ分子ポンプに関する。振動曲線はターボ分子ポンプに接続された振動センサ（１０）により決定される。決定された振動曲線は評価デバイス（１２）に転送される。振動は評価デバイス（１２）中のフィルタ（１６）により検出され、その後比較値と比較される。閾値を超えた場合、警告信号が遠隔データ転送デバイス（２８）により監視システム（３０）に転送される。本方法はターボ分子ポンプのオンライン監視を可能にする。
（もっと読む）

【解決手段】排気されるべき空間に真空を生じさせる真空ポンプは、筒状内部空間(22)を有するハウジング(10)を備える。エキスペラ(26)が内部空間(22)に偏心して配置されている。螺旋状のシーリング要素(34)が、少なくとも１つの三日月状の搬送空間を形成するために、エキスペラ(26)とハウジング(10)の内壁(38)との間に設けられている。ハウジング(10)又はエキスペラ(26)は、ハウジング(10)とエキスペラ(26)との間に相対回転運動を生じさせるための駆動装置(44)に接続されている。本発明によれば、真空ポンプはドライランニング真空ポンプとして構成される。
（もっと読む）