マルチビームＸ線ビームシステムは、Ｘ線を放射するＸ線源（２４）と、第１の部分と第２の部分をもったハウジングを含む。第２の部分は第１の部分に対して移動可能であり、異なる性能特性の複数の光学系（２０、２２、１２０、１２２）を含む。光学系がＸ線源からのＸ線を受け取り、望ましい性能属性をもったＸ線を望ましい位置（３０）に向かせるように、各光学系が第１の部分に対する第２の部分の動きを通して作動位置に配置される。
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Ｘ線光学装置は、Ｘ線を放射するＸ線源と、Ｘ線を調整して、２つビームを形成する第１の光学素子と、第１の光学素子からの２つビームのうちの少なくとも１つを更に調整する少なくとも第２の光学素子とを含む。
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本開示は、磁気構造（２０）と転動体ベアリング（５０）とに対して中心に配置されるシャフト（２０）を有する磁性流体封止装置（１０）が記述されている。シャフト上の溝内に配置された圧縮可能リング（７０）は、シャフトと転動体ベアリングとの間の間隙を部分的に塞いで、転動体ベアリングに接触するために用いられる。該圧縮可能リング（７０）は、転動体ベアリング（５０）と共に、シャフトを位置合わせして中心に配置する。液体固定材料（７５）は間隙に加えられ、転動体ベアリングに対してシャフトと圧縮可能リングとを連結するために硬くなる。代替自動配置機構も記述されている。
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磁性流体封止装置は、シャフトと、磁極片と、底面を有しており、前記シャフト又は前記磁極片によって画定される少なくとも一つの環状溝部と、強磁性流体を含んでおり、前記シャフトと前記磁極片との間に位置している複数の封止流体円環と、厚みを有しており、前記溝部の底面に直接隣接して位置している分路壁と、前記少なくとも一つの溝部内に位置している少なくとも一個の磁石とを備える。前記分路壁の厚みは、流体が前記封止流体円環の一面から他面へと移動されるときの前記複数の封止流体円環におけるエネルギー差に基づいている。
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Ｘ線光学システムは、高強度のＸ線ビームを生成する。システムは、輪郭の幾何学的な対称軸とは異なる軸周辺で定められた前記輪郭を回転させることで形成される光学反射面を含む。従って、システムは、試料上に照射するフラックスを増加させるために、円形の放射プロファイルを有する源又は大きな源を用いることができる。
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Ｘ線発生装置は、Ｘ線照射の源と、源によって生成されたＸ線照射を収束する導波路束光学系と、集束されたＸ線照射を焦点に集束する集束光学系とを含む。
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本発明は、少なくとも１つの周期内において個々の層がその表面に形成された基材を含む多層構造を提供する。周期は、珪化マグネシウム（Ｍｇ_２Ｓｉ）を含む第１の層と、タングステン、タンタル、コバルト、ニッケル、銅、鉄、クロム、及びこれらの元素の合金、酸化物、ホウ化物、珪化物及び窒化物、珪素、炭素，炭化珪素、ホウ素、及び炭化ホウ素の少なくとも１つを含む第２の層とを含む少なくとも２つの層と、を有する。周期が３つの層を含むものであれば、第２の層が珪素、炭素，炭化珪素、ホウ素、及び炭化ホウ素の１つを含み、第３の層がタングステン、タンタル、コバルト、ニッケル、銅、鉄、クロム、及びこれらの元素の合金、酸化物、ホウ化物、珪化物及び窒化物の１つを含み、第２の層は第１の層と第３の層の間に配置される。周期が４つの層を含むものであれば、第４の層は珪素、炭素，炭化珪素、ホウ素、及び炭化ホウ素の１つを含み、第３の層は第２の層と第４の層の間に配置され、第４の層が多層周期ｎの第３の層と多層周期ｎ−１の第１の層との間に配置される。
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システムは、導電性放射式入射ウィンドウと、スペクトル変換層と、光ファイバーバンドルと、カメラセンサーと、電力供給装置とを含む。シンチレータなどのスペクトル変換層は、Ｘ線によって励起され、可視光など、異なった波長の光を放出する。光ファイバーバンドルは、スペクトル変換材料からの可視光を受け入れ、可視光をカメラセンサーに伝達する。カメラセンサーは、スペクトル変換層から放出された光を検出し、検出された情報を電子信号に変換する。カメラセンサーは、冷却装置によって冷却されるので、このような熱伝導により光ファイバーバンドルは、冷却されることもある。結露を避けるため、電流が導電性ウィンドウを通過することにより、導電性ウィンドウを加熱してもよい。
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本発明に係る磁性流体シール製造方法は、回転可能なシャフトまたは磁極リングの中に形成される複数の溝のうちの、少なくとも一つの溝の中に強磁性流体を適用する工程と、複数の溝のうちの、少なくとも一つの溝の中に設置される強磁性流体を冷凍する工程であって、該強磁性流体が液体状態から固体状態に変化することにより、強磁性流体が不動化される工程と、強磁性流体が前記固体状態から液体状態に変化する前に、磁性流体シールのハウジングの開口部の中にシャフトまたは磁極リングを設置する工程を有する。
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Ｘ線ビームの視準器に、自動光学アライメントを備えた光学アライメントの監視を組み合わせたＸ線光学アライメントのためのシステムを提供する。Ｘ線光学アライメントのためのシステム（１０）である。該システムは、Ｘ線源（１２）と、光学素子（２２）と、視準素子（２０）と、アラインメントセンサー（２２）と、を含む。上記Ｘ線源は、前記光学素子によって試料に向かうＸ線ビーム（１６）を生成する。上記視準素子は、前記Ｘ線ビームの断面を画定すべく、前記光学素子と、前記試料と、の間に配置される。前記複数のセンサーは、前記光学素子からのＸ線ビームを受け入れ、前記システムアラインメントを示す信号を生成する。また、前記複数のセンサーは、前記光学素子と対面する前記視準素子の表面（２４）上に配置してもよい。前記センサーの内側端部は、該視準素子の周囲に等間隔に放射状に配置してもよいし、対称形状を有するアパーチャ（２１）を形成してもよい。
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