【課題】金属製の成膜対象物上にダイヤモンドライクカーボン膜を成膜することができるダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法およびダイヤモンドライクカーボン膜付き金属物を提供することを課題とする。
【解決手段】メタンガスを含む成膜用ガスＲＧを流動させる流動経路１４に、ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜対象となる金属製の成膜対象物３０を配置する。そして、成膜用ガスＲＧを所定流量で流動経路１４に流すとともに成膜対象物３０を室温から所定温度にまで上昇させるプロセスを経ることにより、成膜対象面３０ｆの不純物と成膜用ガスＲＧとを反応させることで成膜対象面３０ｆから不純物を除去し、更に、不純物が除去されることで露出した金属元素によって成膜用ガスＲＧを反応させて成膜対象面３０ｆにダイヤモンドライクカーボン膜３４を成膜する。 （もっと読む）