本発明は、多段式のダイヤフラム吸込みポンプであって、少なくとも２つのポンプ室が設けられていて、該ポンプ室はそれぞれ１つの、少なくとも１つの流入弁を有する流体入口と、少なくとも１つの流出弁を有する流体出口とを有しており、ポンプ室の流体入口を接続する吸込み管路が設けられており、相前後して連続するポンプ室はそれぞれ少なくとも１つの接続管路を介して互いに接続されていて、ダイヤフラム吸込みポンプは、吸込み管路内における所定の差圧の到達時もしくは超過時に、ポンプ室の並列作動運転から該ポンプ室の少なくともまた直列作動運転へと移行するようになっており、少なくとも１つの接続管路の流入領域及び流出領域にそれぞれ、後続のポンプ段に向かって開放する少なくとも１つの逆止弁が配置されている形式のものに関する。このようなダイヤフラム吸込みポンプのポンプ特性を最適化するために、少なくとも１つのポンプ室に、吸込み圧を改善するために少なくとも１つの接続管路の吸込み側の開口が、又は吸込み能力を改善するために少なくとも１つの接続管路の吐出側の開口が、ポンプ室の所定領域に配置されているか又は該所定領域の近傍に配置されていて、この所定領域において、前記ポンプ室に配設されたダイヤフラムが１つのポンプサイクル中に最初に湾曲して転動する。付加的に又はその代わりに、本発明の別の構成では、特に後続のポンプ室の間における少なくとも１つの接続管路が、降下する管路経過を有しており、そのために該少なくとも１つの接続管路の流入側の管路区分は流出側の管路区分に比べて、高い位置に配置されている。
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本発明は、多段のダイヤフラム式サクションポンプであって、少なくとも２つのポンプ室を備え、該ポンプ室がそれぞれ、少なくとも１つの入口弁を有する流体入口と、少なくとも１つの出口弁を有する流体出口とを有しており、さらに、複数の前記ポンプ室の前記流体入口を接続する吸込管路を備え、相連なるポンプ室はそれぞれ少なくとも１つの接続管路を介して、当該ダイヤフラム式ポンプが前記吸込管路内の所定の差圧の達成／超過時に前記ポンプ室の並列に作動する運転から前記ポンプ室の少なくとも直列にも作動する運転へと移行するように互いに接続されており、前記少なくとも１つの接続管路の流入領域及び流出領域において、それぞれ、後続のポンプ段に向かって開弁する少なくとも１つの逆止弁が接続されている形式のものに関する。本発明に係るダイヤフラム式サクションポンプは、前記接続管路の前記流入領域及び前記流出領域に設けられた逆止弁が、前記ポンプ室の前記入口弁及び前記出口弁と比較して小さく形成されており、かつ該逆止弁に、前記接続管路の、隣接するポンプ室に向かって開放されたそれぞれ１つの管路区分が、前記入口弁及び前記出口弁と比較して小さな内法の管路横断面を備えて配設されていることを特徴とする。
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本発明は、回転蒸発器に対して設定された真空を生成および調整するために構成された真空ポンプスタンド（１）に関し、該真空ポンプスタンド（１）は、少なくとも１つの操作エレメント（３，６）を有する操作ユニット（４）に制御接続されている。本発明によるポンプスタンド（１）は、操作ユニット（４）が、当該ポンプスタンドの制御装置にワイヤレスで制御接続された遠隔操作ユニットとして構成されていることを特徴とする。このような構成により、作業員は排出口の分離ディスクを通して回転蒸発器と所属の本発明のポンプスタンド（１）とを観察し、必要な場合には遠隔操作ユニットでプロセスパラメータを変化し、新たに設定することができる。遠隔操作ユニット（４）とポンプスタンド（１）の制御装置とはワイヤレスで制御接続されるので、排出口を一時的にだけでも開放する必要がなくなる。むしろ、作業員が特に危険にさらされる必要なく、十分な距離をおいてポンプスタンド（１）を排出口の外側から操作することができる（図を参照されたい）。
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本発明は、ダイアフラムポンプ１であって、ポンプ運動中、下死点及び上死点の間を往復動する作業ダイアフラム３が設けられており、該作業ダイアフラムはポンプ室壁６との間にポンプ室７を制限しており、作業ダイアフラムが上死点でポンプ室壁６に当接する形式のものに関する。本発明では、作業ダイアフラム３が内側リング区域８と外側リング区域９とを有しており、これらのリング区域８，９はポンプ運動中に変形可能であって、これらのリング区域の間に、補強された、ポンプ運動中にほぼ変形不能なダイアフラム領域が配置されていることを特徴とする。この場合、この変形不能なダイアフラム領域は例えば、半径方向に向けられ、周方向で互いに間隔をおいて配置された支持リブ１０によって補強することができる。本発明では作業ダイアフラム３は、ダイアフラム上面と下面との間に差圧負荷が生じた場合も、吸込室体積を縮小するようなことはない。
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本発明は、圧送媒体により制御される少なくとも１つのシールド弁を備えたポンプであって、シールド弁が、フレキシブルな材料から成る弁板（４）を有しており、該弁板（４）が中央範囲で締付け固定されていて、開放位置と閉鎖位置との間で運動可能であり、該閉鎖位置で前記弁板が（４）少なくとも１つの弁開口（９）を閉鎖している形式のものに関する。本発明によるポンプの特徴は、弁板（４）に、かつ／または該弁板（４）の、弁開口（９）とは反対の側に配置された弁当接面（１０）に、該弁当接面（１０）に対する弁板（４）の衝撃的な面状の当接を回避しかつ／または弁開放運動を制限するための一体成形部（１１）が突設されていることにある。本発明によるポンプは、特にノイズの少ない運転の点ですぐれている（図６参照）。
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