【課題】高品質な膜の形成を可能とできるプラズマ成膜方法を提供する。
【解決手段】プラズマ状態とし、重畳バイアス電圧をバイアス電圧印加部１１に印加し、マイナス電圧区間ではイオンがワーク１４に衝突して該ワーク表面に膜層を形成して行き、プラス電圧区間５３では前記膜層の弱い付着力のイオンは該膜層から離れ移動し、かつ、電子が前記膜層に衝突して弱い付着力のイオンおよび該膜層の一部を剥がし、強付着力の膜による第１回目強付着膜層を残し、マイナス電圧区間とプラス電圧区間を繰り返すことにより、前記第１回目強付着膜層〜前記第ｎ回目強付着膜層からなる多層膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】電磁輻射の起こらない、かつ、チャンバー内壁への強靭蒸着膜形成が起こらないプラズマ発生装置を提供することを目的としている
【解決手段】電位０状態で接地されたチャンバー２と、このチャンバー２内に設けられプラズマを発生させるプラズマ発生電極３と、自励式の高周波発振部６と、前記チャンバー２、該チャンバー２に導電形態で一体化されて前記高周波発振部６を覆うように設けられた高周波発振部シールドカバー７とからなるシールド体９と、前記トランス５の中位点と前記チャンバー２を電位０状態で接地してなる中位点接続部８と、前記発振器４に電力を供給する発振器用電源１０と、前記チャンバー２内に該チャンバー２と絶縁状態で設けられたワーク電極形成部１１と、このワーク電極形成部１１にバイアス電圧を印加する前記シールド体９と電位０状態で接地されたバイアス形成用電源１２とからなっている。 （もっと読む）

【課題】ツールの刃先と焼ばめホルダーのホルダー側位置決め鍔部の距離が常に一定に保持されて、正確・精密なツール取り付けが何の調節を行うことなく常に実現されるツール取り付け装置を提供する。
【解決手段】ホルダー支持台座に焼ばめホルダー２をセットし、第１の可動ベース体を移動させてツール焼ばめ保持部６を加熱部４４に位置させ加熱して、ツール３のツールシャンク部４の尻を挿入させて、ツール押し手段３５を動作させてツール３の先端に当てそのままツール把持孔５にツールシャンク部４を押し挿入していって押し手段停止位置Ｔで停止され、ツール３のツール押し手段３５と付勢押し手段４２で付勢挟み状態で冷却されて、ツールシャンク部４を焼ばめ把持状態にする。 （もっと読む）

【課題】 大型の焼ばめホルダーでもツールのシャンクの弱い当りによって敏感に横移動および傾きが得られて、芯合わせと挿入が確実に行うことができる組立て装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 部品セット支持部６は、本体ベース３３と、この本体ベース３３の上部に上方に向けてエアを噴射させるエア噴射口３４と、本体ベース３３に載せられたエア噴射口３４からのエアの噴射により浮き上がり状態とされる焼ばめホルダー５がそのフランジ３８を載せてセットされる浮遊ベース３９とから構成され、エア噴射口３４からのエアの噴射による浮遊ベース３９の浮き上がりによって、ツール１０のシャンク１１の尻の一部が該焼ばめホルダー５の部品把持部４１の加熱により拡径した部品挿入穴４２に軽く芯合わせがされ入るようになっている。 （もっと読む）

【課題】 焼嵌ホルダーを横向きに容易で安全にホルダー支持体に着脱することを可能とする焼嵌装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 誘導加熱部２で誘導加熱される焼嵌ホルダー４の保持される部位５を横向きに嵌込保持するテーパー孔からなる保持する部位６を有するホルダー保持体７と、このホルダー保持体７の前方や保持する部位６内に保持される部位５が入った状態とされた焼嵌ホルダー４を保持される部位５の後部に突出させたボルト８に掛かり部９を掛け、レバー１０を倒すことにより強制的に引き込んで、保持する部位６に保持される部位５を嵌込保持し且つ該嵌込保持状態をレバー１０を起こすことにより容易に解除することができるクランク機構からなる強制嵌込保持手段１１とからなっている。 （もっと読む）

【課題】 主に切削具のホルダーへの交換を短時間で行うことができる切削具の焼嵌ホルダーへのセット方法および焼嵌装置を提供する。
【解決手段】 ドリルなどの切削具２を把持する焼嵌ホルダー３をセットするホルダーセット部４と、このホルダーセット部４にセットされた焼嵌ホルダー３に向かって移動される切削具２を仮把持する切削具仮保持体５と、この切削具仮保持体５のホルダーセット部４の対向側に設けられた、切削具仮保持体５に仮保持された切削具２の刃先に移動されてその当り面を当て状態で固定さて刃先止め位置Ａを決定する位置決め体６と、ホルダーセット部４にセットされた焼嵌ホルダー３を加熱する高周波発生部７により２メガヘルツの高周波電流が流れる誘導加熱コイルからなる加熱部８とからなっている。 （もっと読む）

【課題】 切削具の取付け状態や焼嵌ホルダーの取付け状態などが芯ズレ状態となっていても確実に切削具の焼嵌ホルダーへの嵌込を実現する焼嵌装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 把持穴２に切削具支持体１０に支持された切削具３を嵌め込む動作をさせた状態において、切削具側面取り部位１２やその縁が把持側面取り部１０に当った場合には、その当り部位の滑り案内動作が生じて当り押す切削具３によりホルダー支持体８が突き動かされ焼嵌ホルダー５が動いて把持穴２に切削具３が挿入可能状態とされて把持穴２に切削具３が挿入されて行くようになっている。 （もっと読む）

【課題】 薄い鋼材あるいは直径の小さな鋼材であっても熱変形させることなく、外表面に３００μｍ未満の熱処理された硬化層を有する鋼材部品を提供する。
【解決手段】 １〜４ＭＨｚの超高周波が出力２〜１５ｋＷで供給された誘導加熱手段に鋼材を近接させ、鋼材および誘導加熱手段の少なくとも一方を移動させながら鋼材の表面を加熱し、加熱直後の鋼材表面を急冷することによって熱処理し、鋼材の表面に５０μｍ以上３００μｍ未満の硬化層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 誘導加熱コイルの交換が簡単に素早く行える誘導加熱装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 誘導加熱コイル４を支持体５と、昇圧トランス６の前部に設けられた支持体５を取り付けるための支持体取付部９と、この支持体取付部９に設けられた、該９に支持体５を当て手の単純一操作により押し抑え固定し、且つ、単純一操作により該押し抑え状態を解除する左右２つずつ計４つの支持体固定手段１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄとからなっている。 （もっと読む）

【課題】保持する部材（焼きばめホルダーなど）のそれぞれの熱収縮保持部を、保持される部材（ドリル刃など）を挿入するなどの温度に正確に加熱することができる焼きばめ装置を提供することを目的としている。
【解決手段】刃具２を掴み保持した熱収縮保持部５が加熱部６で加熱され熱膨張して保持部位３が広がり、刃具２が熱収縮保持部５から解放された（アクション）ことを解放検出部９で検出し、この解放検出部９の検出を受けて熱収縮保持部５の部材目標温度（刃具解放温度）を温度計測部７で計測して温度計認知温度記憶部８に記憶し、刃具２を熱収縮保持部５に掴み保持させる場合に、温度計測部７の熱収縮保持部５の計測温度が温度計認知温度になるまで加熱部６で加熱し保持部位３を熱膨張広げて刃具２を該２に挿入させセットし、冷却手段（図示せず）で冷却して熱収縮させチャッキングを行う。 （もっと読む）