【課題】測定セルを通過する試料ガスが長い透過距離を移動すると透過中にオゾンが何度も紫外線に照射され、正しいオゾン濃度測定ができない。
【解決手段】波長２００ｎｍ〜３２０ｎｍを含む紫外線を発光する固体発光素子１０２を利用して、試料ガスが吹き出るガス注入部と対抗する位置にこの試料ガスを吸い込むガス排出部で構成された試料ガス計測部１２９を備え、試料ガスが瞬時に通過する機構を設け、ガスの乱れを無くし、透過時間を短くする事によって再オゾン化を抑える効果があり正しいオゾン濃度測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】測定セルを通過する試料ガスが長い透過距離を移動すると透過中にオゾンが何度も紫外線に照射され、正しいオゾン濃度測定ができない。このため、窒化物系深紫外線半導体素子を使用した、正しい測定値が得られ、装置へのダメージを排除するオゾン濃度測定装置を提供する。
【解決手段】波長２００ｎｍ〜３２０ｎｍを含む紫外線を発光する固体発光素子を利用して、試料ガスが吹き出るガス注入部と対抗する位置にこの試料ガスを吸い込むガス排出部で構成された試料ガス計測部を備え、試料ガスが瞬時に通過する機構を設け、ガスの乱れを無くし、透過時間を短くする事によって再オゾン化を抑える効果があり正しいオゾン濃度測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】真空放電を利用した低圧水銀ランプは時間単位における放射出力強度の上限値、下限値の差が大きくなり補正が常に必要になるためオゾン濃度測定精度が悪くなることが問題である。
【解決手段】窒化物系深紫外半導体発光素子１１９から発する紫外線の連続波長から光学フィルタ２００〜２０８で微弱光の紫外線の単一波長を取り出し、オゾンの再オゾン化、活性酸素の影響を無くす事によって正しい紫外線吸収式オゾン濃度測定が可能になる。 （もっと読む）