【課題】 傾斜構造体の傾斜面を高精度で形成することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】 フォトレジスト層１０、アルミニウム膜２０およびガラス基板３０を一体で作製し、ガラス基板３０を水平面から傾斜させて中心線ＣＬ廻りに回転させながらピンホール４０ａを通して紫外光ＵＶをフォトレジスト層１０へ照射し、同心のリング状露光領域１１ａ，１２ａ，１３ａを形成する。リング状露光領域１１ａ，１２ａ，１３ａを除去し、アルミニウム膜２０に多重のリング状開口２１，２２，２３を形成した後に、ガラス基板３０側から多重のリング状開口２１，２２，２３を通して紫外光ＵＶを入射角０°でフォトレジスト層１０へ照射し、フォトレジスト層１０にリング状露光領域１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを形成し、リング状露光領域１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを除去する。 （もっと読む）

【課題】 傾斜構造体の傾斜面を高精度で形成することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】 フォトレジスト層１０、アルミニウム膜２０およびガラス基板３０を一体で作製し、ガラス基板３０を水平面から傾斜させて中心線ＣＬ廻りに回転させながらピンホール４０ａを通して紫外光ＵＶをフォトレジスト層１０へ照射し、同心のリング状露光領域１１ａ，１２ａ，１３ａを形成する。リング状露光領域１１ａ，１２ａ，１３ａを除去し、アルミニウム膜２０に多重のリング状開口２１，２２，２３を形成した後に、ガラス基板３０側から多重のリング状開口２１，２２，２３を通して紫外光ＵＶを入射角０°でフォトレジスト層１０へ照射し、フォトレジスト層１０にリング状露光領域１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを形成し、リング状露光領域１１ｂ，１２ｂ，１３ｂを除去する。 （もっと読む）