【目的】 簡便な回路構成にて、任意の電流指令に対応でき、かつ電流が遮断されることなく、負荷に発生する電圧波形の歪みも低減できる静電アクチュエータ駆動装置を提供する。
【構成】 出力電流を制御するスイッチング素子Ｔｒａｈ〜Ｔｒｃｌと、これに直列に接続される逆流防止用ダイオードＤ１〜Ｄ６と、駆動回路Ｄｒｖと、これに供給するパルス変調装置とを有する。パルス変調装置は、複数のキャリア信号を発生する装置と、電流指令値Ｉａ^＊〜Ｉｃ^＊の符号判別装置ｃｐ１〜ｃｐ３と、電流指令値とキャリア信号を比較する比較装置ｃｐ４〜ｃｐ９と、符号判別装置の出力に基づき、比較装置の出力を選択する装置とを具備し、電流指令値に対応した密度のパルス状電流を発生することにより、静電アクチュエータ２３に対し、所望の電荷を供給する。 （もっと読む）