【課題】 耐薬品性を有し、高圧環境下で使用できるとともに圧力脈動を除去することができるダンパを提供する。
【解決手段】 流体が流入、流出する流体室２３と、流体室２３の少なくとも一面を構成するダイヤフラム７１と、ダイヤフラム７１を介して流体室２３と液密に隣接する隔室５３と、を有し、ダイヤフラム７１が、耐薬品性を有する第１の膜７３と、耐圧性を有する第２の膜７５と、から構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高温・高圧の流体の流量を安定して調整する。
【解決手段】 入口ポート（１１）に連通する第一室（２１）と、出口ポート（１２）に連通する第二室（２２）とを含むハウジング（１９）と、第二室内に延びていて第一室と第二室とを連通する筒状部（２５）と、該筒状部の先端（２５ａ）に設けられた弁座（６１）と、該弁座を開閉する弁体（３２）とを具備し、弁座および弁体のうちの少なくとも一方が、筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料から形成されている流量調整装置が提供される。またハウジングには、第二室に連通していて圧力ポート（１８）を備えた圧力室（２９）が形成されており、第二室と圧力室とを分離する互いに連結された第一および第二の可撓性分離手段（４１、５１）とこれら分離手段の間に配置されるベッド（７５）とを具備してもよい。筒状部（２５）に補強部材（９０）が埋込まれていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 容器内に貯蓄された液体を引き出す際に、残留する液体量を減らすことができるコネクタを提供する。
【解決手段】 液体が貯蔵された容器５１，６１に設置され、液体の引き出しを行うコネクタ１であって、容器５１，６１に形成された容器側ねじ部６３と螺合するねじ部１７が形成された結合部５と、結合部５と中心軸を共有するように連結された本体３と、本体３に固定され、容器５１，６１の底部へと延びるサイフォン管９と、を有し、結合部５と本体３とが、中心軸回りに相対回転可能に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 使用する薬液等の増減に対して安価に対応できるとともに、その製造コスト等の削減や製造に要する期間を短縮できるロータリージョイントおよびその筐体分割体を提供する。
【解決手段】 略円柱状の軸体３と、軸体３内に形成されるとともに、その側面に開口部を有する軸体流通孔１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと、軸体３を相対回転可能に挿通させる挿通孔５が形成された筐体７と、軸体３の中心軸Ｃ方向に並ぶように筐体７を複数に分割して形成された筐体分割体２５，２５，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄと、軸体流通孔１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと筐体７の外部とを連通させる筐体流通孔５１と、軸体流通孔１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと筐体流通孔５１とを連通させる円環溝４９と、軸体３と筐体７との間における中心軸Ｃ方向への流体の移動を遮断する円環状の漏洩防止部材４３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 使用者等の不注意により流量が変動するのを防止する。
【解決手段】 弁孔（１３）が形成されたハウジング（１１）と、該ハウジング内の弁座（１６）に対して移動するニードル弁（６０）と、ハウジングから延びるニードル弁の基端に取付けられた流量調節ツマミ（４０）とを備え、流量調節ツマミを回転することによって、ニードル弁を弁座に対して移動させ、それにより、弁孔を流れる流体の流量を調節する流量調節弁において、流量調節ツマミが回転するのを固定するツマミ固定手段（３５）を具備する流量調節弁が提供される。さらに、ハウジングとニードル弁との間のシール状態を調節するシール調節手段（２０）を具備し、シール調節手段がハウジングの一部として形成されていて、固定ピン（１５）によりハウジングに固定されるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】 雄ねじ部と、この雄ねじ部と螺合する雌ねじ部との間に生じるバックラッシュを低減もしくはなくすことができるとともに、流量のヒステリシスを防止することができる流量調整弁を提供する。
【解決手段】 流体入口４１および流体出口４２を有するボディ１２と、このボディ１２に取り付けられるカバーと、これらボディ１２およびカバーにより形成される空間内に配置されるモータ１５と、このモータ１５の回転軸１５ａに対して、ネジ部１６ｃ，１７ａを介して接続される弁体１４とを具備してなる流量調整弁であって、前記弁体１４を前記モータ１５の側、あるいは前記モータ１５と反対の側に付勢する付勢手段２１が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 線形性を維持した流量でもって流体を安定供給する。
【解決手段】 軸孔（１４）と該軸孔に連通する弁孔（１３）とが形成されたハウジング（１１）と、該軸孔と前記弁孔との間の弁座に対して軸孔内において移動するニードル弁（６０）と、ハウジングから延びるニードル弁の基端に取付けられた流量調節ツマミ（４０）とを備え、流量調節ツマミを回転することによって、ニードル弁を弁座に対して移動させ、それにより、弁孔を流れる流体の流量を調節する流量調節弁（１０）において、ニードル弁の先端に設けられた第一弁体（６７）と、該第一弁体の端面（６７ａ）から延びる第二弁体（６５）とを具備し、第一弁体の横断面は第二弁体の横断面よりも大きくなっており、流量調節弁の閉弁時には第一弁体の端面が軸孔と弁孔との間の弁座（１６）に当接すると共に第二弁体が弁孔に挿入されるようにした流量調節弁が提供される。 （もっと読む）

【課題】気泡の発生を防止または抑制して微小流量域における優れた測定精度の流量測定が可能となり、かつ流体や気泡の滞留が生じにくい流量計及びこれを用いた流量制御システムを提供すること。
【解決手段】出口環境が一定圧力の流体流路を流れる液体の微小流量を測定する流量計であって、流体流路１の出口側端部に接続され、流体流路１よりも流路断面積を小さく設定して出口環境を一定圧力とした所定長さの流量測定管路部５と、流体流路１の出口近傍に設置して流量測定管路部５の上流側で液体の圧力を検出する圧力センサ３と、圧力センサ３で検出した流体圧力から流量を算出する圧力検出制御部４とを具備して構成した。 （もっと読む）

【課題】１次側の圧力変動だけでなく、２次側の圧力変動に対して優れた流量制御の応答性を発揮し、高精度の流量制御が可能になる液体用レギュレータを提供すること。
【解決手段】液体用レギュレータ１０は、空気等の気体による操作圧力を第１ダイアフラム１４に受けて弁開度の調整力を発生させる第１のダイアフラム室１６と、２次側から導入した液体の圧力変動を第２ダイアフラム１５に受けて弁開度の調整力を発生させる第２のダイアフラム室１７と、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７で各々発生した調整力を受けて軸方向へスライドする軸部１２と、軸部１２と一体に動作して弁開度の調整を行う弁体１３と、第１のダイアフラム室１６と第２のダイアフラム室１７との間でお互いに干渉しないように遮断する仕切壁１１ａと、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７間で流体の流通を遮断するベローズ２２とを具備して構成した。 （もっと読む）

【課題】 簡易かつ簡便な方法で相対圧形圧力センサを絶対圧形圧力センサに変更する（造り変える）ことができる絶対圧形圧力センサの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】 内部に基準圧力室Ｓ１を有し、かつ、一端が前記基準圧力室Ｓ１と連通しているとともに、他端が大気に開放された導圧孔２１ｃを有する相対圧形圧力センサ２０を、前記導圧孔２１ｃの他端が上方に開口するように真空チャンバ内に配置する段階と、前記導圧孔２１ｃの他端の上に半田２５を載置する段階と、前記真空チャンバ内を真空引きする段階と、前記半田２５が溶けるまで前記半田を加熱する段階とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）