【課題】成膜装置用部品に形成された付着膜を、より効率よく除去することができる付着膜除去方法を提供する。
【解決手段】成膜装置用部品の付着膜除去方法は、成膜装置用部品に、水で処理することにより溶解または軟化プレコート層を形成する成層工程；前記プレコート層上に形成された付着膜５に水を噴射し、前記付着膜の少なくとも一部２を切除する切除工程；および、前記付着膜が切除された成膜装置用部品を水へと浸漬させる除去工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】形成された付着膜を容易に除去することができる成膜装置用部品を提供する。また、成膜装置用部品に形成された付着膜を効率よく除去することができる付着膜の除去方法を提供する。
【解決手段】本発明の成膜装置用部品は、基材と、前記基材に形成されたプレコート層とを有する成膜装置用部品であって、前記プレコート層が、水性無機コーティング剤から形成されたものであり、前記基材の線熱膨張率（α₁）と前記プレコート層の線熱膨張率（α₂）との差（│α₁−α₂│）が１８×１０^-6／℃以下であることを特徴とする。
また、本発明の付着膜の除去方法は、付着膜形成後に、水および／または水蒸気によりプレコート層を処理した後、付着膜を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】形成された付着膜を容易に除去することができる成膜装置用部品を提供する。また、成膜装置用部品に形成された付着膜を効率よく除去することができる付着膜の除去方法を提供する。
【解決手段】本発明の成膜装置用部品は、基材と、前記基材に形成されたプレコート層と、前記プレコート層上に形成された多孔質溶射層を有する成膜装置用部品であって、前記プレコート層が、水性無機コーティング剤から形成されたものであり、前記基材の線熱膨張率（α₁）と前記プレコート層の線熱膨張率（α₂）との差（│α₁−α₂│）が１８×１０^-6／℃以下であることを特徴とする。
また、本発明の付着膜の除去方法は、付着膜形成後に、水および／または水蒸気によりプレコート層を処理した後、付着膜を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ホスフィンの無害化のために使用される除害塔内に残存するリンを短時間かつ安全に無害の化合物に変換する除害塔におけるリンの安定化方法を提供する。
【解決手段】ホスフィンを含む有毒ガスを無害化する除害剤が充填された除害塔におけるリンの安定化方法であって、ホスフィンの無害化処理後に残存するリンを安定な化合物にするため、除害塔内に硝酸銅溶液を循環させる工程を有し、循環される硝酸銅溶液に含まれる硝酸イオン濃度と、銅イオン濃度が下記の関係にある。Ｘ座標を硝酸イオン濃度（ｇ／Ｌ）、Ｙ座標を銅イオン濃度（ｇ／Ｌ：ただし対数スケール）とした場合、Ｐ１（０．１０，０．０５），Ｐ２（７３，０．０５），Ｐ３（１０５，０．１０），Ｐ４（１０７，１．０），Ｐ５（９２，１０），Ｐ６（１４８，５０），Ｐ７（９９，５０），Ｐ８（２０，１０），Ｐ９（２．０，１．０）で囲まれる図形の範囲に含まれる（Ｘ，Ｙ）の組み合わせ。 （もっと読む）

【課題】一酸化炭素を常温で長時間にわたって効率よく除去することができる一酸化炭素酸化触媒を提供すること。
【解決手段】本発明の一酸化炭素酸化触媒は、酸化セリウムにパラジウムまたは白金を担持してなる一酸化炭素酸化触媒であって、該酸化セリウムが成型体の形態であり、該成型体の表面から深さ０．８ｍｍまでの表層に担持されている該パラジウムの担持量が、触媒１個あたりの質量に対して、０．５質量％以上、２質量％以下であるか、あるいは、該成型体の表面から深さ０．８ｍｍまでの表層に担持されている該白金の担持量が、触媒１個あたりの質量に対して、０．２質量％以上、２質量％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大型化した洗浄対象物や形状の異なる複数の成膜治具について付着膜を効率良く剥離回収することができる剥離洗浄装置を提供する。
【解決手段】付着物の付着した洗浄対象物Ｗが配置される矩形状のテーブル２と、洗浄対象物Ｗに向けて配置される洗浄ノズルを有し、洗浄対象物Ｗに付着した付着物に対し高圧水を噴射するノズル装置３と、ノズル装置３をテーブル２の長手方向としてのＸ軸方向および幅方向としてのＹ軸方向にそれぞれ移動させるＸ軸駆動手段およびＹ軸駆動手段と、洗浄ノズルを垂直方向としてのＺ軸方向に移動させるＺ軸駆動手段と、洗浄ノズルを垂直軸まわりに回転させるＲ軸駆動手段と、を備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム内の清浄度を低下させることなく、仕上げ精密洗浄工程をインラインで行えるトンネル型洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】中空通路26と、この中空通路を貫通する状態で設けられ、中空通路を通じて洗浄対象物を搬送する搬送装置8と、中空通路内の入口部側に配置され、搬送装置によって搬送される洗浄対象物に付着している付着物を洗浄除去する洗浄装置3，4と、洗浄装置の洗浄対象物搬送方向下流側に設けられ、洗浄された洗浄対象物の水切りを行う水切装置5と、水切装置の洗浄対象物搬送方向下流側に設けられ、水切りされた洗浄対象物を加熱乾燥する乾燥装置6と、乾燥装置の洗浄対象物搬送方向下流側に設けられ、乾燥された洗浄対象物を冷却する冷却装置7とを備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 コークス炉炭化室の炉壁損傷部に形成された溶射補修層の表面を平滑化することができるコークス炉炭化室炉壁の補修方法を提供する。
【解決手段】 コークス炉の炭化室炉壁を補修するにあたり、前記炭化室炉壁の損傷部に予め形成された溶射補修層の表面を１３００℃以上の温度に加熱する。この加熱により、前記溶射補修層は、その表面にガラス層を形成して平滑化する。前記溶射補修層の表面は、好ましくは可燃性ガスと支燃性ガスとの混合ガスの燃焼炎により加熱する。 （もっと読む）