【課題】トレイを用いることなく、また水平方向の移動をすることなくウェハ等のセンタリング及び回転角度に対する位置決めを行うことを目的とする。
【解決手段】位置アライメント装置は、上下方向に昇降可能に設けられたテーブル３と、ウェハの外周底端部に斜めに接触する傾斜部を有しテーブル３の周囲の所定位置に固定された複数の位置決めピン４とを備える。ウェハの外周底部を複数の位置決めピン４の傾斜部に載置する。載置後、昇降機構によりテーブル３を上下方向に昇降させテーブル表面に載るウェハを上下方向に移動させて、位置決めピン４の傾斜部においてウェハをセンタリングする。また、テーブル３を上昇させ、ウェハを位置決めピン４から離す。吸引機構により吸引口１７からエアを吸引させウェハをテーブル表面上に固定しながら、センサ２０がウェハの位置決めマークを検出するまで、回転機構によりテーブルを水平方向に回転させ、位置決めする。 （もっと読む）

【課題】印刷精度を高くすることを目的とする。また、従来の加工パターンに比較し、スクリーン版を小さく製作でき、スクリーン版のコストを抑えることを目的とする。また、スクリーン版の寿命を長くすることを目的とする。
【解決手段】スクリーン製版を用いてスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機であって、上記スクリーン製版に対向して配置するテーブルと、上記スクリーン製版と上記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スクリーン印刷機の吸着装置において、被印刷物と載置台のとの間に介在する紗に十分な張力を保持させて、確実に平面性を保つことを目的とする。
【解決手段】通気性を有する紗１２を枠１１に張ることで紗１２に張力を持たせた紗張り版１０と、紗張り版１０の裏面に設けられ紗１２の裏面に向かって複数の通気孔２１が形成された多孔版２０と、多孔版２０の複数の通気孔２１を介して気体を多孔板２０の裏面へ吸引して、枠１１に張った紗１２の表面にある被印刷物４０を紗１２の表面に吸着する。 （もっと読む）

【課題】部品点数が少なく、かつ、位置決め精度が向上したスクリーン印刷機を得る。
【解決手段】ベッド１８０及びフレーム１９０を一体成形された鋳物で構成する。移動テーブル１０３、スキージ部１９５は、一体成形されたベッド１８０及びフレーム１９０をスライドする。また、スクリーン製版２００も一体成形されたフレーム１９０に取り付けられる。また、フレーム１９０は、シリンダ１８１を介してベッド１８０に取り付けられる。組み立てによる歪みを一切排除して、スクリーン製版２００とワーク１１０の相対的位置決め精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】スクリーン印刷において、インクを溶融する熱容量を大きく取り、インクの場所による温度のバラツキや粘度のバラツキを押さえ、印刷状態のバラツキを無くすことを目的とする。
【解決手段】本発明のスクリーン印刷用具１００は、スクリーン版により被印刷物２４０にスクリーン印刷するスクリーン印刷用具であって、熱を供給するヒータ１５０と、インク１７０を貯蔵し、ヒータ１５０から供給された熱によりインク１７０を加熱するインク貯蔵部１３０と、インク貯蔵部１３０で加熱したインク１７０をスリット１６０から吐出しながら印刷する先端部１４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 スクリーン印刷において、スキージが通過した後のスクリーンをワークから離す、いわゆるスクリーンの版離れを向上することを目的とする。
【解決手段】 スクリーンとワークとに着磁し、スクリーンとワークとが磁力により反発することを利用することで、スクリーンの版離れを向上する。通常スクリーンは薄く、スクリーンの面の表裏で異なる磁極を着磁することは難しい。そこで、スクリーンの片面に対して、両極を着磁することにより、薄いスクリーンにも着磁可能とする。 （もっと読む）

【課題】スクリーン印刷機の角度調整を行うことなく、所望のアタック角度を実現するスキージを得る。
【解決手段】一端部がスクリーン印刷機のホルダ１３に取り付けられる平板状の支持体１２と、支持体１２の他端部に設けられスクリーン面上のインクを押し出すスキージ部１１を備えたスキージ１０において、スキージ部１１の底部１１ｂから側部１１ｓにわたるテーパ部１１ｔと、側部１１ｓとなだらかな側面を形成するような凸部とを備え、支持体１２は、スキージ部１１の厚みの真ん中にあり、スキージ部１１の形状が長手方向に直交する断面において左右対称であるようにする。 （もっと読む）

【課題】 印刷直後において、印刷結果を検査する。特に、印刷されたパターンの長さを正確に測定する。
【解決手段】 テーブル１０３の上にワーク１１０（印刷対象の一例）を載せて印刷する。そのままの状態で、テーブル１０３が下降してテーブル１０３上部に隙間を生成し、カメラ７５５（撮像部の一例）等の測定装置がワーク１１０の真上に移動し、印刷結果の検査を行う。カメラ７５５が測定点を常に真上から撮像するように、カメラユニット部７５０がカメラ７５５を移動させ、カメラ７５５の移動量から測定点間の長さを算出する。テーブル１０３には、誤差補正用読み取りマークが刻印してあり、これをカメラ７５５が撮像して、測定誤差を算出し、測定値の補正に用いる。また、距離測定部が印刷対象との距離を測定し、印刷対象の表面におけるインク（ペーストの一例）の厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】印刷環境温度を適切に制御する十分な装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ワーク７にスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機１００において、上記ワーク７を載置するテーブル５と、上記テーブル５を介して上記ワーク７の温度を管理する温度管理部３１とを備え、上記温度管理部３１は、上記テーブル５に接触して配置される管部３２を有し、上記管部３２を用いて上記テーブル５と熱交換する熱交換部３２を有することを特徴とする。 また、上記熱交換部３２は、上記ワーク７を載置するテーブル５の載置面とは反対の面に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 スキージによりスクリーン印刷を行う場合の版離れをより効果的に行い、印刷時の精度維持を可能にする。
【解決手段】 スキージを取付たスライダ１０６にサクション装置３０３を取付る。サクション装置３０３はスキージの移動とともに移動する。サクション装置３０３は吸引口４０３を有して、吸引口４０３はエアポンプ４１１から空気によってスキージ１１１が通過したスクリーン２０１を吸引して、スクリーンを効果的に版離れさせる。 （もっと読む）