【課題】広範囲な対象物の選択自由度を持ちながらも、積層対象物を表面から１枚ずつ繰り出す安定した分離繰り出し機能を確保することで、繰り出し速度の高速化を図ることができる積層対象物の繰出装置を提供すること。
【解決手段】紙収容トレー１に積層された積層紙Ｐを表面位置の紙から順に１枚ずつ分離して事務用機器９へ繰り出す積層対象物の繰出装置Ａ１において、駆動ローラ７と従動ローラ８に掛け渡され、複数の電極２８が絶縁層２９で被覆された静電吸着ベルト６と、複数の電極２８に接続され、電圧印加と印加電圧の遮断を行う静電吸着制御回路３０と、静電吸着ベルト６のベルト保持面６ａに静電吸着した繰り出し紙Paをベルト回転により繰り出す対象物繰出機構１１と、ベルト保持面６ａと積層紙Ｐの相対間隔を調整することで、吸着時にベルト保持面６ａと積層紙Ｐを接近または接触させ、繰り出し時にベルト保持面６ａと積層紙Ｐを離間させる静電吸着ベルト動作機構１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】接着剤による汚染の心配がなく、かつ、リサイクル等の経費発生が少ないシリコンウエハ等の薄板材料の補強材を提供する。
【解決手段】電気絶縁層１１３の内部に電極部１１２を埋設させた薄板状の静電保持部を備える補強材本体１１０と、補強対象物１０１をアースに導通可能とする第１の接続端子と、電極部１１２をアース又は高電圧に導通可能とする第２の接続端子とを備えることにより補強材本体１１０と切り離し可能に構成される電圧制御部１２０を備えている。電圧制御部１２０は、補強対象物１０１に対してアースから補強対象物１０１に供給された電荷と逆極性の電荷を供給させることにより静電保持部に吸着力を発揮させて補強対象物１０１を吸着して補強材本体１１０を補強材として機能させる吸着工程と、補強対象物１０１及び電極部１１２に蓄積された電荷を放出させて静電吸着能力を消滅させる吸着開放工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】電極モジュールの数を増大させた場合にも交換が容易に行える静電保持装置及びそれを用いた真空環境装置並びにアライメント装置又は貼り合わせ装置を提供すること。
【解決手段】複数の電極群１１２ａ、１１２ｂを保持部として電極群１１２ａ、１１２ｂへ所定の高電圧を印加して保持対象物Ｗ１，Ｗ２を静電気力により保持する静電保持装置１００である。低電圧から静電保持に必要な所定の高電圧へ変換するための高圧発生回路又は高電圧発生源１１４を各電極モジュール１１０毎に配設している。また、この高圧発生回路又は高電圧発生源１１４は、密閉又は封止されている。この高圧発生回路は、電圧増幅回路を含んで構成されてもよい。また、この高圧発生源は、電池と昇圧回路とを含んで構成されてもよい。 （もっと読む）

【課題】凹凸や湾曲部を備えた立体形状を有する被塗物へも転写が行える塗膜の付与方法を提供すること。
【解決手段】ハンドリング対象物１０２の立体的な一表面形状１０２ａに合致した立体的な静電保持面５０１を備えた静電保持装置５００を用いる。被塗物１の立体的な一表面１ａの形状に合致させて立体的に成形された立体塗膜形成用フィルム１０２を静電保持装置５００の静電保持面５０１に保持させて被塗物１の表面へ移載する塗膜移載工程と、被塗物１の表面１ａに立体塗膜形成用フィルム１０２が移載された状態で立体塗膜形成用フィルム１０２に物理的及び／又は化学的な作用をさせて立体塗膜形成用フィルム１０２を被塗物１に固着させる塗膜硬化工程とを含む。家電製品や車両等の塗装に用いることができる。 （もっと読む）

【課題】ワークを搬送する搬送装置をチャンバーの外に配設した場合にも、安定なアライメント精度の確保できるアライメント方法を提供する。
【解決手段】アライメント室４００外から搬入された上基板ワークＷ１及び下基板ワークＷ２のアライメントを行うに際して、上基板ワークＷ１を保持装置１１２により保持した状態で真空形成装置によりアライメント室４００内を常圧から減圧にし、アライメント室４００内が所定の減圧度に達した後に、静電ステージ２０１に電圧を印加させて上基板ワークＷ１を静電吸引力により吸着して保持する工程、上基板ワークＷ１を静電ステージ２０１により保持した状態で真空形成装置によりアライメント室４００内を更に減圧にし、アライメント室４００内が所定の真空度に達した後に、上基板ワークＷ１を静電吸引力により吸着して保持した状態で上基板ワークＷ１及び下基板ワークＷ２の相対位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】真空吸着式に代えて静電吸着式を採用することにより真空吸着式のコレットの課題を解決できるダイボンディング装置を提供すること。
【解決手段】静電吸着力を用いて半導体チップ又は絶縁フィルムなどの把持対象物１０４を吸着把持する把持装置２００を備えたダイボンディング装置である。この把持装置２００としては、ベース部材２０４の一面に正の電圧が印加される電極面積と負の電圧が印加される電極面積とが等しい一対の電極要素２０２ａ、２０２ｂから構成された電極が絶縁材料２０３に埋設されて固定されている静電吸着装置を有している。 （もっと読む）

【課題】高抵抗のハンドリング対象物の静電吸着力の発生時間を短縮させること。
【解決手段】電極１０３ａ、１０３ｂに電圧を印加させ、印加電圧によりハンドリング対象物としての高抵抗体１０４の表面１０４ａに表面分極を発生させることによりハンドリング対象物１０４と電極面１０２ａとの界面に静電気吸引力を発生させてハンドリング対象物１０４を吸着する静電吸着システムである。電極面１０２ａとハンドリング対象物１０４との間に分極加速液体１０６を離散的に介在させた状態で電圧を印加させる。 （もっと読む）

【課題】上基板ワーク、下基板ワークを保持又は支持する保持面及び又は支持面の面粗度や相対平行度が低い場合においても、相互の擦れの発生や接触圧力による内部応力の発生を生起することのないアライメント装置を提供すること。
【解決手段】上基板ワークＷ１を保持可能な保持装置２０１と、保持装置２０１の下方に配置され、下基板ワークＷ２を上基板ワークＷ１に対して略平行に支持可能な支持装置３００とを有し、保持面２３３と支持面３１０とを互いの平面方向であるｘｙ平面方向内で相対的に移動可能に構成することにより、保持装置２０１及び／又は支持装置３００をｘ軸方向及びｙ軸方向の相対的移動を行い、上基板ワークＷ１及び下基板ワークＷ２の相対位置合わせを行うアライメント装置である。保持装置２０１は、上基板ワークＷ１を保持面２３３に対して離間した浮上状態で保持可能である。 （もっと読む）

【課題】大気中での保持から真空中での保持に移行した場合にも、ハンドリング対象物の離反動作が円滑に行えるハンドリング装置を提供すること。
【解決手段】互いに異なる電圧を印加することが可能な電極要素１０３ａ、１０３ｂがハンドリング対象物１０４に向けて露出して隣接して配設されており、電極要素１０３ａ、１０３ｂに異なる電圧を印加させることにより、高抵抗性のハンドリング対象物１０４を保持面１０２ａに静電気吸引力により吸引して接触的に保持し、電圧の印加を遮断して接地することにより静電気吸引力を解除してハンドリング対象物１０４を保持面１０２ａから離反させるハンドリング装置である。静電吸引力が働く位置までハンドリング対象物１０４を引き寄せる機械的引き寄せ装置１０６を備えていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 成形材及び成形品の授受・移動が容易で、成形サイクルが短縮され設備費が安価になって、コストの低減が図れる封止成形装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る封止成形装置２１は、封止成形用プレス機２２のスライド２２Ａとテーブル２２ａ間に上下一対の金型２３を装着し、この金型２３の下型２３ｂがスライド２２Ａ下面域外へ移動できるようにテーブル２２ａから延在させて延在部２２ｂを設け、かつテーブル２２ａから延在部２２ｂにかけて移動レール２２ｃを設け、この移動レール２２ｃを介して封止成形材５０であるリードフレーム５５とタブレット５１とを授受し、さらに引き戻すように下型２３ｂを移動させる移動手段２２ｄを備えており、さらに封止成形材・成形品の搬出搬入装置２４，２５，２６，２７，２８及び金型清掃用のクリーニング装置２９からなる付属装置４０を備えている。 （もっと読む）