【課題】 本発明は、被検査体の外観検査において、拡張性が高くフレキシブルなシステム構成を可能とし、また基板などの被検査体の検査時間を短縮し、または検査精度を向上することを目的とする。
【解決手段】 基板２の外観検査装置２００において、複数のスレーブＰＣ１４０は、基板２の撮像を行う複数の撮像部３０と、該複数の撮像部３０の各々に対応して設けられ、対応する撮像部３０により撮像された基板２の撮像データに基づいて基板２の検査を行う。該複数のスレーブＰＣ１４０の各々は他のスレーブＰＣ１４０に、該他のスレーブＰＣ１４０による検査に必要な共用データを送信する。共用データは、各々のスレーブＰＣ１４０が対応する撮像部３０により撮像された基板２の撮像データから取得してものである。スレーブＰＣ１４０は各々、他のスレーブＰＣ１４０から受信した共用データを参照して基板２の外観検査を行う。 （もっと読む）