【課題】全体画像をもとにした検査は、検査時間が長くなってしまう。
【解決手段】ラインセンサ３４は、被写体の全体画像をライン単位で撮像する。ＣＰＵ１２２は、ラインセンサ３４からライン単位の画像データを取り込み、メモリ１２４に記憶させる。ＣＰＵ１２２は、画像データが取り込まれた後、ラインセンサ３４により次のライン単位の画像データが撮像されて取り込まれるまでの間に、メモリ１２４に記憶された全体画像を再現するための画像データをライン単位で順次、所定の検査を分担すべきサブユニット２１０、２２０にネットワークを介して送信することにより、ラインセンサ３４による全体画像の撮像の完了に合わせて、サブユニット２１０、２２０のメモリ２１４、２２４にも全体画像を再現するための全画像データが形成されるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】被検査体に対して精度の高い電気的特性検査を実施し、被検査体における部品の実装不良などを的確に発見する。
【解決手段】基板検査システム１０Ａにおいて、ラインセンサ３０は、基板の画像を撮像する。外観検査部８６は、撮像された画像を解析して基板の部品の実装位置を示す部品位置情報取得し、取得した部品位置情報が示す部品の実装位置が適正なものか否かを判定することにより基板の部品の実装状態を検査する。プローブ５４は、基板に接触して基板の電気的特性を検出する。プローブ制御部１０２は、取得された部品位置情報が示す部品の実装位置に応じて、基板におけるプローブ５４を接触させるべき位置を補正し、補正した位置にプローブ５４を接触させるようプローブ５４の移動を制御する。 （もっと読む）

【課題】撮像時間の増加を抑制しながら光学画像およびＸ線画像を良好な画質で撮像し、短時間で精度のよい被検査体の検査を実施する検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置において、ラインセンサ３４は、基板の光学画像を撮像する。ＣＣＤセンサ１７２は、基板のＸ線画像を撮像する。スレーブＰＣは、撮像された光学画像およびＸ線画像を利用して基板の部品の実装状態を検査する。基板検査装置は基板の移動と停止を繰り返しながら、複数回にわたって撮像された画像を利用して基板を検査する。基板検査装置には、撮像領域が異なる複数のＣＣＤセンサ１７２が、基板の移動方向と略垂直に並設される。ＣＣＤセンサ１７２は、鏡により反射された基板のＸ線画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】透過画像として得られるＸ線画像を利用して正確かつ迅速に被検査体を検査することが可能な被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の検査装置において、光学撮像部は、被検査体の光学画像を撮像する。Ｘ線撮像部は、被検査体にＸ線が照射されることにより光学変換部に表示されるＸ線画像を撮像する。検査部は、撮像された光学画像を利用して検査対象領域を画定し、画定された検査対象領域におけるＸ線画像を検査することにより被検査体のブリッジ検査およびハンダ検査を実施する。Ｘ線撮像部は、光学撮像部によって被検査体の光学画像が撮像された後にＸ線画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】光学画像またはＸ線画像を利用する被検査体の検査装置の構成を簡略化し、コストの増加を抑制する。
【解決手段】基板検査装置は、基板２の光学画像、およびＸ線を照射することにより得られる基板２のＸ線画像の双方を撮像するラインセンサ３４と、撮像された光学画像およびＸ線画像を利用して被検査体の部品の実装状態を検査するスレーブＰＣと、を備える。基板検査装置は、基板２を移動しながら、または基板２の移動と停止を繰り返しながら、複数回にわたって撮像された画像を利用して基板２を検査するものであって、撮像領域が異なるラインセンサ３４が、基板２の被撮像面と平行かつ基板２の移動方向と垂直に複数並設される。 （もっと読む）

【課題】検査データ作成用のライブラリの名称の管理及び部品の設計基準等の違いによる種類別の検査データの管理が容易な部品検査装置の検査用ライブラリデータの管理方法を提供する。
【解決手段】検査対象部品の検査データを作成するための検査用ライブラリデータを該部品の種類別に複数作成し、且つ検査データと該検査データを作成した検査用ライブラリデータを一つのグループとして対応付け、検査データを検査用ライブラリデータの種類ごとにグループ分けして管理する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体を同時に複数の方向から検査可能な外観検査装置の提供。
【解決手段】 基板２の外観を検査するための外観検査装置２００は、基板２の表面を撮像する表面側撮像ユニット８０ａと、表面側撮像ユニット８０ａに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ａおよび１４０ｂと、基板２の裏面を撮像する裏面側撮像ユニット８０ｂと、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ｃおよび１４０ｄとを備え、各スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄは、基板２に実装された各部品についての表面用検査データと裏面用検査データとを格納したライブラリ１４３ａ〜１４３ｄを有しており、基板２の画像データと表面用および裏面用検査データとに基づいて基板２の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の撮像方向における寸法が変化しても精度のよい検査を実行可能とする外観検査装置の提供。
【解決手段】 基板２の外観を検査するための外観検査装置２００は、基板２の表面を撮像する表面側撮像ユニット８０ａと、表面側撮像ユニット８０ａに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ａおよび１４０ｂと、基板２の裏面を撮像する裏面側撮像ユニット８０ｂと、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ｃおよび１４０ｄとを備え、表面側撮像ユニット８０ａには、基板２の厚さに応じて像倍率を変えることなく被検査体である基板２に焦点を合わせる焦点合わせ機構を構成する焦点調整モータ４０等が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の検査結果を把握しやすい形で表示させ、ユーザの使い勝手を向上させることができる外観検査装置の提供。
【解決手段】 基板２の外観を検査する外観検査装置２００は、基板２の表面を撮像する表面側撮像ユニット８０ａと、表面側撮像ユニット８０ａに対応して設けられて基板２の表面の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ａおよび１４０ｂと、基板２の裏面を撮像する裏面側撮像ユニット８０ｂと、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応して設けられて基板２の裏面の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ｃおよび１４０ｄと、ディスプレイ１７０と、スレーブＰＣ１４０ａ〜１４０ｄのそれぞれから検査結果を受け取り、基板２の表面についての検査結果と裏面についての検査結果とをディスプレイ１７０に同時に表示させるマスタＰＣ１６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被検査体の外観検査において、拡張性が高くフレキシブルなシステム構成を可能とし、また基板などの被検査体の検査時間を短縮し、または検査精度を向上することを目的とする。
【解決手段】 基板２の外観検査装置２００において、複数のスレーブＰＣ１４０は、基板２の撮像を行う複数の撮像部３０と、該複数の撮像部３０の各々に対応して設けられ、対応する撮像部３０により撮像された基板２の撮像データに基づいて基板２の検査を行う。該複数のスレーブＰＣ１４０の各々は他のスレーブＰＣ１４０に、該他のスレーブＰＣ１４０による検査に必要な共用データを送信する。共用データは、各々のスレーブＰＣ１４０が対応する撮像部３０により撮像された基板２の撮像データから取得してものである。スレーブＰＣ１４０は各々、他のスレーブＰＣ１４０から受信した共用データを参照して基板２の外観検査を行う。 （もっと読む）