【課題】 密着性の優れた硬質被膜を持つ切削工具の製造方法を提供すること。
【解決手段】 切削工具はアルゴンを含有するＤＬＣ被膜を有する。または、アルゴンを含有するシリコンからなる中間層の表面にアルゴンを含有するＤＬＣ被膜を有する。
ＤＬＣ被膜および中間層が直流プラズマＣＶＤによって形成されたものである。処理容器内に切削工具からなる処理物を置き、処理容器を真空状態にし、直流プラズマＣＶＤ装置を用いて、アルゴンガスと原料ガスとの混合ガスを流入させながら、前記ガスをプラズマ化して処理物に作用させ、アルゴンを含有するＤＬＣ被膜を処理物の表面に形成する。または、アルゴンガスとシリコンガスとの混合ガスを流入させながら、アルゴンを含有するシリコンからなる中間層を処理物の表面に形成させた後に、前記アルゴンを含有するＤＬＣ被膜を処理物の表面に形成する。 （もっと読む）

【課題】 モータの滑り、力率の変化に影響を受けないきめ細かい制御を可能とする。
【解決手段】 円盤刃物の送り制御に係わる。刃物回転モータの電力Ｐを計測し、刃物の回転速度ｆを計測する。刃物が回転中か否かを判断し、回転中なら、トルクＴ＝Ｐ／（２×π×ｆ）Ｎ・ｍの式に従い計算する。切断中か否かを判断し、切断中なら送り速度ＰＩＤ制御を開始し、トルクが一定となるように信号を刃物送りモータに送る。刃物回転モータが過負荷か否か判断し、過負荷でないとき、送り速度ＰＩＤ制御を行い、切断終了か否かを判断する。切断終了なら運転開始位置方向へ刃物を移動する。前記切断終了でないなら前記ＰＩＤ制御から後のいずれかの手順に戻る。前記過負荷判断で過負荷なら、送り速度を低下させ、基準時間内にトルクが正常化したか否かを判断し、正常化なら前記送り速度ＰＩＤ制御を行い、正常化でないなら、刃物を切断開始方向へ後退させる。 （もっと読む）

【課題】 密着性の優れた硬質被膜を持つ切削工具の製造装置を提供すること。
【解決手段】 処理容器と、その内部には設置された基板取付具とを有する。基板取付具は、基板台と、基板台の上面から立設された支柱と、支柱に対し絶縁支持されて、水平に長い陰極棒と、陰極棒を円中心としてその周りを囲むように設けられた円筒状陽極とを含む。支柱の上端に水平に長い支持筒が取り付けられ、支持筒内に絶縁被覆を介して陰極棒支持される。陰極棒の末端付近で支持筒から末端側に突出し、該突出端に絶縁リングを介してキャップがはめ込まれ、該キャップを貫通したボルトが陰極棒の末端面にねじ込み固定される。陰極棒の前記支持筒より先端側において、絶縁スペーサに挟まれて１または複数の処理物が挿入され、絶縁押し込みカラーを介してキャップがはめ込まれ、該キャップを貫通したボルトが陰極棒の末端面にねじ込まれて固定される。 （もっと読む）

【課題】 密着性の優れた硬質被膜を持つ切削工具とその製造方法を提供すること。
【解決手段】 切削工具はアルゴンを含有するＤＬＣ被膜を有する。または、アルゴンを含有するシリコンからなる中間層の表面にアルゴンを含有するＤＬＣ被膜を有する。
ＤＬＣ被膜および中間層が直流プラズマＣＶＤによって形成されたものである。前記切削工具が丸鋸刃物である。処理容器内に切削工具からなる処理物を置き、処理容器を真空状態にし、直流プラズマＣＶＤ装置を用いて、アルゴンガスと原料ガスとの混合ガスを流入させながら、前記ガスをプラズマ化して処理物に作用させ、アルゴンを含有するＤＬＣ被膜を処理物の表面に形成する。または、アルゴンガスとシリコンガスとの混合ガスを流入させながら、アルゴンを含有するシリコンからなる中間層を処理物の表面に形成させた後に、前記アルゴンを含有するＤＬＣ被膜を処理物の表面に形成する。 （もっと読む）