【課題】微細な凹凸を有する被洗浄面の汚れを効率良く洗浄する。
【解決手段】洗浄ノズル１０を、気体噴出ノズル１１、液体噴出ノズル１２、流体供給部１３から構成する。気体噴出ノズル１１に複数個の気体噴出口２２を並べて設ける。各気体噴出口２２に対応する位置にノズルチップ３２が位置するように、液体噴出ノズル１２を気体噴出ノズル１１内に配置する。ノズルチップ３２から洗浄液４３を噴出し、気体噴出口２２からエアを噴出する。気体噴出口２２からの気体噴流４６により、液体噴出口３２ａからの液体噴流４５を微細な液粒４３ａにし、これを気体噴流４６によって加速して液粒噴流４４として被洗浄面に衝突させる。微細液粒４３ａが被洗浄面５０の微細な凹部まで入り込み、汚れを除去する。気体噴流４６の被洗浄面５０への衝突による衝撃波で被洗浄面５０を振動させ、汚れやゴミを浮かせ、除去する。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸を有する被洗浄面の汚れを効率良く洗浄する。
【解決手段】ノズル本体１１に、気体噴出口１５と液体噴出口１６とを設ける。気体噴出口１５を中心とする同心円上に一定ピッチで３個の液体噴出口１６を形成する。気体噴出口１５から圧縮エア３６を噴出し気体噴流６６を形成する。液体噴出口１６から洗浄液４６を噴出し液体噴流６５を形成する。気体噴流６６に７°の交差角度θで交差するように、液体噴出口１６を構成する孔を傾斜させる。液体噴流６５の交差部７０に気体噴流６６を衝突させることで、洗浄液４６を粉砕・分割して微細液粒７１にする。微細液粒７１を気体噴流６６で加速させ、被洗浄面７５に衝突させる。微細液粒７１が被洗浄面７５の微細な凹部まで入り込み、汚れを除去する。気体噴流６６の被洗浄面７５への衝突による衝撃波で被洗浄面７５を振動させ、汚れやゴミを浮かせ、除去する。 （もっと読む）