【課題】 本発明は、特に遠紫外用に反射防止組成物（ＡＲＣ）として使用するのに適する新規の光吸収性架橋型組成物を提供する。
【解決手段】 本発明の反射防止組成物は、概ね、架橋剤、及び反射された遠紫外露光照射光を効果的に吸収する新規のＡＲＣ樹脂バインダーからなる組成物である。 （もっと読む）