説明

株式会社エアレックスにより出願された特許

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【課題】 凝縮センサーによる検知結果に基づいて、ワークW表面の除染状態を正確に把握できるようにする。
【解決手段】 その表面に過酸化水素ガスが凝縮することとなるガラス板5と、このガラス板5に過酸化水素ガスが凝縮したことを検知する投光装置4及び受光装置7とを備えた凝縮センサー1のガラス板5を、アイソレーター50の内面50aに対して非接触状に配置し、凝縮センサー1が過酸化水素ガスの凝縮を検知すると、ワークWの表面で過酸化水素ガスが凝縮したこととするようにした。 (もっと読む)


【課題】 グローブ表面を効率的に除染する除染方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 アイソレーター1に設けられたグローブ13の除染対象表面13aに形成された検知用透光面35に、レーザ光Lを照射し、当該検知用透光面35を通過した光の受光量をモニタリングした。そして、検知用透光面35に凝縮膜30が形成されることに起因して受光量が減少することを利用して、グローブ13上に凝縮膜30が形成開始されるタイミングを特定して除染管理するようにした。 (もっと読む)


【課題】 筐体内の除染レベルを常時検証できる接合部の接合機構を提供することを目的とする。
【解決手段】 ガラス窓3(接合部)周縁に配設されるシールを膨縮シール30とした。そして、膨縮シール30の内空部31に、圧縮空気を導入するための空気流通管路50を接続した。さらに、この空気流通管路50に、圧力計53及びマスフローメーター52を装着した。そして、圧力計53により空気流通管路50を通過する空気の圧力を継続的に測定すると共に、マスフローメーター52により流量を継続的に測定するようにした。 (もっと読む)


【課題】 高温化したキャリアガスが不要となる除染システム、及び除染方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 アイソレータ装置Aの密閉室20に、蒸発面11を具備する蒸発プレート10を横並びに3つ設けた。そして、送液ポンプ8により吸引された過酸化水素水を、各蒸発プレート10の蒸発面11上に導くための案内管18を設け、液体タンク7内に貯蔵された過酸化水素水が、送液ポンプ8が駆動すると、案内管18を介して密閉室20内に導かれ、蒸発面11に滴下される構成とした。 (もっと読む)


【課題】 エアレーション時間が従来に比して短縮される除染方法、及び除染システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 過酸化水素ガスをチャンバー2に供給する除染ガス供給工程と、凝縮液を形成する凝縮液形成工程と、当該チャンバー2内で過酸化水素ガスが凝縮したことを凝縮センサー11が検知すると、チャンバー2の室温を上昇させて該凝縮液を消失させる凝縮液消失工程と、当該チャンバー2内における飽和率が、凝縮液が消失した時点の飽和率αである非凝縮状態を、所定時間だけ維持する非凝縮状態維持工程とを備えた除染方法を実行するようにした。なお、前記除染方法は、除染ガス供給制御内容、凝縮液消失制御内容、及び非凝縮状態維持制御内容を実行する除染システム1により実行するようにした。 (もっと読む)


【課題】 測定誤差が生じ難く、しかもコスト高、及び除染時間が長くなる等の問題を解消することができる除染方法、及び除染システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 超音波を除染室3内に伝播させる超音波発振装置4と、超音波を受波する超音波受波装置5とを除染室3内に設けた。さらに、除染制御装置60を、過酸化水素ガス発生装置2を駆動して過酸化水素ガスを除染室3内に投入しつつ、超音波の音速を測定し、測定した音速に基づいて、過酸化水素ガスを所定量追加投入する又は過酸化水素ガスの追加投入を中止する制御内容を具備するものとした。 (もっと読む)


【課題】 除染ガスとしての過酸化水素ガスを除染室から除去することができる構成を備えつつ、その回路構成が簡略化され、小型化することができる除染システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 太ガス管41内に筒体10を設け、この筒体10内に送風ファン15を設けた。さらに、当該筒体10内に昇降シリンダー21を設けて、触媒30をガス通過可能に保持する触媒保持具23を昇降可能とした。かかる構成にあって、除染時は、触媒保持具23を上昇させて、ガス流入開口10aを触媒30によって被覆されない開放状態とする。かかる状態では、過酸化水素ガスは、触媒30を通過することなく除染室3内に送風される。一方、エアレーション時は、触媒保持具23を下降させて、ガス流入開口10aが触媒30によって被覆された遮蔽状態とする。かかる状態では、過酸化水素ガスを含む室内ガスが、間隙dを通り、かつ触媒30を通過して除染室3内に送風される。 (もっと読む)


【課題】 構成が簡略化され、かつ循環ファンに過剰な負担が掛からない除染用ガス投入排気システムを提供することを目的とする。
【解決手段】
循環用ガス管9が、触媒72と迂回ガス管7とを備える第一ガス通路部分A、及び過酸化水素ガス供給装置3、循環ファン83、ヒータ10、循環用HEPAフィルタ84を備える第二ガス通路部分Bとが直列して接続されてなる構成とした。さらに、不飽和エアー供給装置5により除湿された不飽和エアーを投入する構成とした。さらに、過酸化水素ガスをアイソレータ2から除去するときは、過酸化水素ガス供給装置3の駆動を停止させ、かつ過酸化水素ガス不活性化部用バルブ73、及び迂回ガス管用バルブ74を除染用ガス排気態様とし、かつ不飽和エアーを循環用ガス管9内に供給する構成とした。 (もっと読む)


【課題】 蒸発器に一定の供給速度で正確に液体除染剤を供給することができる液体除染剤供給システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の液体除染剤供給システム1は、中間容器3内の過酸化水素水の液面高さを測定する液レベル測定器5と、液レベル測定器5が測定した液面高さに基づいて、所定期間における液面高さ減少量を算出し、該減少量と中間容器3の横断面積Mと当該所定期間の時間長さとに基づいて当該所定期間における蒸発器4への供給質量速度A’を算出する制御装置20を備えている。さらに、この制御装置20は、算出した供給質量速度A’が、目標供給質量速度Aに比べて小さい場合に、第二供給ポンプ16のDCモータ回転数を目標供給質量速度Aとなる修正回転数に変更する制御内容を具備している。 (もっと読む)


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