【課題】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む圧電体層を備える圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電体層３０は、第１電極２０上に形成され、少なくとも鉛、ジルコニウム、及びチタンを含むペロブスカイト型酸化物を有する第１の層と、該第１の層３１上に形成され、少なくともビスマス、バリウム、鉄及びチタンを含むぺロブスカイト型酸化物を有する第２の層３２と、を備える （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪み量の大きい圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１０、弾性膜５０、密着層５６、電極６０を形成する工程と、電極６０の上方に、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、塗布膜を実温１６５℃以上１８５℃以下の温度で加熱する乾燥工程と、乾燥工程の後、実温３３０℃以上４４０℃以下の温度で加熱する脱脂工程と、脱脂工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させ圧電膜７２を形成する結晶化工程、を具備し、所定厚さの圧電層７０を形成する。 （もっと読む）

【課題】粘度の高い液体も吐出することのできる吐出力を有する液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッド１５は圧電ブロック体５を有し、圧電ブロック体５は第１の圧電基板１と第２の圧電基板２が交互に複数積層した積層体である。第１の圧電基板１は圧力室３及び第１の空洞９を交互に複数有し、第２の圧電基板２は第２の空洞４を複数有している。圧力室３の内壁には第１の電極１２が形成され、第１の空洞９及び第２の空洞４の内壁の一部には第２の電極１３ａ、１４が形成されている。隔壁１０４における電界方向及び分極方向が、隔壁１０４に面する第１の電極１２ｂの中心線から隣接する第１の空洞９の方向へ離れるにつれて、積層方向１１０の正方向１９から隣接する第１の空洞９の方向へ傾くように第３の電極１３ｂが形成される。 （もっと読む）

【課題】電極被覆率を向上させることにより、圧電素子としての変位に対して拘束力が大きくなり、変位量が低減する。
【解決手段】圧電部材１２は、圧電層２１と内部電極２２Ａ、２２Ｂを交互に積層したものであり、内部電極２２Ａ、２２Ｂは、銀、パラジウムなどの金属結合部１０２と、一軸方向に伸びる針形状の導電性フィラー１０１とを含有し、一軸方向に伸びた針形状導電性フィラー１０１が網目構造に形成され、銀、パラジウムなどの金属結合部１０２により互いに結合している。 （もっと読む）

【課題】連続使用時における特性変化の少ない電気機械変換素子、該電気機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド及び該液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】下部電極、ＰＺＴからなる電気機械変換膜、上部電極とを有する電気機械変換素子であって、電気機械変換膜は、ＰＺＴ前駆体の膜を作成する前駆体膜作成工程と結晶化のための焼成工程とを繰り返して複数のＰＺＴ薄膜を積層して所定の厚さに形成する。電気機械変換膜中に含まれる平均的なＰｂの原子量比であるＰｂ／（Ｚｒ＋Ｔｉ）をＰｂ（ａｖｅ）とし、複数の薄膜の積層界面でのＰｂの原子量比であるＰｂ／（Ｚｒ＋Ｔｉ）をＰｂ（界面）とすると、Ｐｂ（ａｖｅ）が１００ａｔ％以上、１１０ａｔ％以下であり、積層界面のＰｂの変動比率ΔＰｂ＝Ｐｂ（ａｖｅ）−Ｐｂ（界面）が２０％以下とする。 （もっと読む）

【課題】 小さな駆動電圧で大きな歪みを得ることができる圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子はチタン酸ジルコン酸鉛を含むペロブスカイト型結晶からなる圧電体膜と、圧電体膜に設けられた電極とを有し、圧電体膜の（１００）面に由来するＸ線の回折ピーク位置（２θ）が２１．８９以上２１．９７以下であり、かつ、（２００）面半価幅（２θ）が、０．３０以上０．５０以下である。液体噴射ヘッドは、この圧電素子を備え、液体噴射装置はこの液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣに切れ込みを入れることなく、ＦＰＣ分割面のうねり及び湾曲を矯正して半田接合面の平面度を向上させることにより、ＦＰＣの接続電極とＰＺＴの外部電極との密着性及び半田接合性を向上させて半田接合不良を低減することが可能なアクチュエータユニットを提供する。
【解決手段】ベース部材２に接合された圧電素子３に設けられた複数の外部電極６にフレキシブルプリントケーブル４に設けられた複数の接続電極９をそれぞれ半田接合することにより構成されたアクチュエータユニット１において、各外部電極６と各接続電極９との接合部近傍において、フレキシブルプリントケーブル４に各接続電極９の並び方向と同方向の軸線を有する曲げ加工部１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】引出部が第２電極を圧電層の一方の面に引き出すための機能を果たしているかを検査する。
【解決手段】圧電層４０、４１となるグリーンシートにスルーホール３７、３８ａ、３８ｂを形成する。次に、圧電層４０、４１となるグリーンシートの一方の面に共通電極４４、４５を形成する。その後、３枚のグリーンシートを積層して、焼成する。続いて、第１圧電層４０の上面からスルーホール３７、３８内に充填材６５、６６を充填して、引出部６８、６９を形成する。その後、スルーホール３７、３８内の充填材６５、６６の導通状態を検査し、圧電アクチュエータ３２の不良を判別する。そして、不良と判別されなかった第１圧電層４０の上面に、個別電極４３、及び、複数の引出部６８、６９のそれぞれを互いに接続させる引出電極４６、４７を形成する。 （もっと読む）

【課題】流路部材の平面状の面に接合する際に、接合性の良好なインクジェット用圧電アクチュエータユニット、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。
【解決手段】複数の圧電セラミック層が積層されている積層体と、該積層体の一方の主面に第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている複数の個別電極３５と、複数の個別電極３５のうち前記一方の主面の周縁部に形成されている個別電極３５以外の個別電極の上にそれぞれ形成されている複数の接続ランド３６と、前記積層体の内部に形成されている複数の個別電極３５に対向している共通電極とを有する液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニットであって、前記積層体は、複数の接続ランド３６が囲まれている接続ランド形成領域８０の平坦度より、接続ランド形成領域８０の周囲の周縁領域の平坦度が大きい。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの耐久性悪化を抑制しつつ、メニスカスを振動させて記録品質を良好に保つ。
【解決手段】記録吐出動作用とメニスカス振動用（不吐出フラッシング用）とに役割分担された２つの圧電層をアクチュエータに設ける。記録吐出動作用の圧電層には、画像データに基づいて吐出口からインク滴を吐出させる吐出駆動信号に対応する電圧を印加する。不吐出フラッシング用の圧電層には、メニスカスを振動させる不吐出駆動信号に対応する電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】比較的容易に階調数を上げ、記録品質の向上を実現する。
【解決手段】プリンタのコントローラは、１記録周期内に吐出口から吐出されるインク滴の数毎に、２種類の電圧組から１つを選択し、アクチュエータに対して電圧の印加を行う。電圧組は、種類毎に、吐出駆動電圧Ｐ２，Ｐ２’及び不吐出駆動電圧Ｐ１に含まれるパルス電圧の時間的な重なり度合いが互いに異なる。同じインク滴の数において、電圧組の種類を適宜選択することで、アクチュエータの変形量を変化させ、吐出されるインク滴のサイズ・量を変化させる。 （もっと読む）

【課題】ノズル連通路及び圧力発生室を千鳥状配置にした場合に剛性が低下してクロストークが発生し易くなったり、滴吐出特性のバラツキが発生する。
【解決手段】連通管５及び圧力発生室６の配列密度の倍の密度で圧電部材１２の圧電素子柱１２Ａ、１２Ｂが配列され、複数の圧力発生室６は圧力発生室長手方向に交互にずれてノズル配列方向に配列され、振動板部材２の島状凸部２ｂは複数の圧力発生室６のそれぞれに対応して圧力発生室長手方向にずれて設けられ、圧電部材１２の複数の圧電素子柱１２Ａ、１２Ｂは複数の圧力発生室６の長手方向全体の長さよりも長く形成され、圧電素子柱１２Ａの活性領域内に振動板部材２の島状凸部２ｂが位置している。 （もっと読む）

【課題】製造過程での加熱工程及び製品使用時での薄膜圧電素子を含む振動板の破壊、接合面のはがれに起因する動作不良を解消して安定した滴吐出特性が得られる圧電型アクチュエーターを提供する。
【解決手段】第２絶縁層１９に形成された凹溝部１９ａに積層された圧電体層２２には、前記流れ方向Ａにおいて圧電体層２２の層厚ｄ１より深い段差で段落ちした段差部２２ａがそれぞれ形成されて段分けされている。従って、段分けされた圧電体層２２は、段分けされていない圧電体層２２に比べて流れ方向Ａにおける撓み力は分散され、比較的小さな撓み量となり、圧電体層２２を含む積層振動板２０の剥離やクラック発生、破壊等を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】活性部の圧電特性をほぼ所望の特性にする圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ及び液体移送装置を提供する。
【解決手段】３枚のグリーンシートの一表面に、スクリーン印刷により上部電極４５、中間電極４４ａ及び下部電極４３をそれぞれ形成し、これらのグリーンシートを積層し、所定の温度で焼成し（積層工程）、圧電体５５を形成する。そして、平面視で第１活性部Ｒ１と重なる領域にある第１活性部Ｒ１以外の、下部圧電層４０及び中間圧電層４１を下部圧電層４０側（第１活性部Ｒ１から離れた面側）から除去し、貫通孔４０ａ、４１ａを形成する（除去工程）。次に、圧電体５５の下部圧電層４０の表面に、振動板５２を押圧して接合して（接合工程）、圧電アクチュエータを製造する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータサイズを小さくして更なる高密度化、低駆動電圧化、素子の小型化に対応できる薄膜エクチュエータを提供することを目的とする。液滴吐出装置として述べれば、更なる高密度化に際して必要とされる発生力の飛躍的な増大或いは高粘度の液滴吐出（例えば、ＵＶインクなどの高粘度インク、高顔料濃度インク、各種薄膜形成用原料インク、液状レジスト、ＤＮＡ試料などの生物由来液体等）のために要求される発生力を飛躍的に増大させることを目的とする。
【解決手段】振動板５５を変形させて力を発生させる薄膜アクチュエータ１において、振動板５５上に下電極１１と、第一圧電層１２と、中間電極１３と、第二圧電層１４と、上電極１５と、を順次積層したことを特徴とする薄膜アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】外部電極と内部電極との短絡を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】第１の内部電極２２と同一平面に設けられる第３の内部電極３９を有し、圧電素子１６の一方面には、第１の内部電極２２に接続される第１の外部電極４０と、第２の内部電極２２及び第３の内部電極３９に接続される第２の外部電極４１とが設けられ、圧電素子１６の一方面側最外層の圧電体層２２ａは、第１の外部電極４０と第１の内部電極２２とで挟まれた不活性層となっていると共に、第１の外部電極４０は第１の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、第３の内部電極３９が、圧電体層２１の間に配された全ての層が圧電体層２１の積層方向で第１の外部電極４０と重ならない構成とする。 （もっと読む）

【課題】外部電極と内部電極との短絡を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】第１の内部電極２１と同一平面に設けられる第３の内部電極３９を有し、圧電素子１６の一方面には、第１の内部電極２２に接続される第１の外部電極４０と、第２の内部電極２３及び第３の内部電極３９に接続される第２の外部電極４１とが設けられ、圧電素子１６の一方面側最外層の圧電体層２２ａが、第１の外部電極４０と第１の内部電極２１とで挟まれて圧電変形しない不活性層となっていると共に、第１の外部電極４０は第３の内部電極３９に対向する領域まで延設されており、圧電素子１６の一方面側一層目の第３の内部電極３９ａが、圧電体層２１の積層方向で第１の外部電極４０と重ならない構成とする。 （もっと読む）

【課題】クロストークを抑制可能な液滴吐出ヘッド及び該ヘッドに適した配線構造を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータ３が個別電極１１と第１定電位電極１２とで挟まれてなる第１活性部１４と、個別電極１１と第２定電位電極１３とで挟まれてなる第２活性部１５とを備え、配線構造が配線板２０及びドライバ２３を備える。配線板２０には、ドライバ２３が出力する駆動電圧を個別電極１１に付与するための個別配線２４、ドライバ２３に電源供給するための電源線２５、ドライバ２３をグランド電位に接続するためのグランド線２６、第１定電位を第１定電位電極１２に付与するための第１定電位配線２７、第２定電位を第２定電位電極１３に付与するための第２定電位配線２８、電源線２５と第１定電位配線２７とを短絡する第１短絡線２９、及びグランド線２６と第２定電位配線２８とを短絡する第２短絡線３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】クロストークを抑制可能な液滴吐出ヘッド及び該ヘッドに適した配線構造を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータ３が個別電極１１と第１定電位電極１２とで挟まれてなる第１活性部１４と、個別電極１１と第２定電位電極１３とで挟まれてなる第２活性部１５とを備え、配線構造が配線板２０及びドライバ２３を備える。配線板２０には、ドライバ２３が出力する駆動電圧を個別電極１１に付与するための個別配線２４、ドライバ２３に電源供給するための電源線２５、ドライバ２３をグランド電位に接続するためのグランド線２６、第１定電位を第１定電位電極１２に付与するための第１定電位配線２７、第２定電位を第２定電位電極１３に付与するための第２定電位配線２８、電源線２５と第１定電位配線２７とを短絡する第１短絡線２９、及びグランド線２６と第２定電位配線２８とを短絡する第２短絡線３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】メンブレインにストレスを与えずに、それぞれの圧電体を分離してインクジェットヘッドの駆動部を製造できるインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】インクを収容するチャンバ１１４と、チャンバ１１４の一側に形成されるメンブレイン１１２とを備えたインクジェットヘッドを製造する方法であって、第１圧電体及び第２圧電体の一面にそれぞれ分離溝を形成する工程と、第１圧電体及び第２圧電体の分離溝が互いに対向するようにして第１圧電体及び第２圧電体を接合する工程と、分離溝が露出するように第１圧電体の他面を加工する工程と、第１圧電体の他面をメンブレイン１１５に接合する工程と、分離溝が露出するように第２圧電体の他面を加工する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）