【課題】初期撓みを抑制しつつ圧電素子の駆動による振動板の変位量を向上させることが困難であった。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、第１電極、一方側において第１電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側に形成された第２電極を有し、前記圧力発生室に対応して形成され圧電素子と、を備える液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子間に形成された中間セグメントと、引張応力を有する所定の素材で形成され、前記圧電素子と中間セグメントとの間を接続する接続膜とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位量を簡易な構造により増大させ、コストを増大させることなく、吐出効率が高い液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】液体を吐出するノズルが設けられた液室と、前記液室の前記ノズルとは反対側に圧電層及び電極が積層された圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加して前記圧電層を変形させ、前記液室に圧力を発生させることにより前記ノズルから前記液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、前記圧電層の分極方向と略直交する方向及び前記圧電層の前記分極方向と略同一方向に電界を与え、前記圧電層に変形を生じさせて前記ノズルから前記液体を吐出することで、前記圧電層の変位量を増大させ、液体吐出ヘッドの吐出効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】変位量の大きい圧電アクチュエータ、およびそれを用いた液体吐出ヘッドならびに記録装置を提供する。
【解決手段】振動板２１ａ上に、内部電極３４、圧電セラミック層２１ｂおよび表面電極３５がこの順で積層されている圧電アクチュエータであって、表面電極３５の下の振動板の第１部位２１ａ−１、内部電極３４および圧電セラミック層の第１部位２１ｂ−１の厚さの合計が、表面電極３５の周囲の振動板の第２部位２１ａ−２、内部電極３４および圧電セラミック層の第２部位２１ｂ−２の厚さの合計よりも厚くなっており、表面電極３５の下の振動板２１ａおよび内部電極３４の厚さの合計が、表面電極３５の周囲の振動板２１ａおよび内部電極３４の厚さの合計より厚くなっている。 （もっと読む）

【課題】 変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的と
する。
【解決手段】
共通電極６０は、複数のスリットにより分割され圧力発生室１２に対応する領域に設け
られる複数の個別部６１と、これらの個別部の一端部側を繋ぐ基体部６２と、を備え、個
別部６１の基体部６２側が平面視において幅が漸大し、且つ共通電極６０は、個別部６１
に設けられる薄膜部６４と、基体部６２に設けられる厚膜部６５と、を備え、薄膜部６４
と厚膜部６５の間において薄膜部６４から厚膜部６５に向かって膜厚が漸大している。 （もっと読む）

【課題】振動板の固定端部の剛性を上げ、吐出特性のバラツキを低減する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、振動可能な振動板と、前記ノズル板と前記振動板との間に、前記ノズル孔のそれぞれに対応して形成された吐出室を仕切る隔壁と、前記振動板を変位変形させて、前記吐出室の液体を吐出室ごとに加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えた液滴吐出ヘッドであって、前記振動板の前記隔壁が設けられた側と反対側の前記隔壁に対向する領域に、前記隔壁に沿って前記振動板の剛性を高める積層膜を備え、前記積層膜の幅は、前記隔壁の幅よりも広いことにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出量を増加させた液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、複数個の振動体を基板の上面に規則的に配列した構造を有している。基板は、略平坦な上面及び下面を有する板の内部にキャビティとなるキャビティ並びに液体の流路となる吐出孔及び供給孔を形成した構造を有する。キャビティの横幅は基板の上面の側から基板の下面の側へ向かって狭くなる。また、キャビティの深さは、供給孔の側から吐出孔の側へ向かって深くなる。供給孔の側にある相対的に小さな範囲を占める部分において供給穴の側から吐出孔の側へ向かってキャビティの深さが浅くなり、吐出孔の側にある相対的に大きな範囲を占める部分において供給孔の側から吐出孔の側へ向かってキャビティの深さが深くなるようにしてもよい。基板は、キャビティの立体形状に応じた立体形状を有する型をグリーンシートの上面に圧入することを経て作製する。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出ヘッドでは、圧力室の容積の可変量を増大させることが困難である。
【解決手段】液状体が貯留する圧力室８７を仕切る隔壁を構成する隔壁シート５５と、隔壁シート５５の圧力室８７側とは反対側に設けらた圧電素子６１と、圧電素子６１と隔壁シート５５との間に設けられ、圧電素子６１の変形を隔壁シート５５に伝達する振動板６３と、振動板６３を揺動可能に支持する支持部と、を含み、振動板６３には、圧電素子６１の変形が伝達される部位である被伝達部と、前記支持部を挟んで前記被伝達部に対峙し、圧電素子６１から前記被伝達部に伝達された変形を隔壁シート５５に伝達する部位である作用部１０３ａと、が設けられており、前記支持部と作用部１０３ａとの間の距離が、前記支持部と前記被伝達部との間の距離よりも長い、ことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】振動領域の変位効率を高くするとともに相互干渉を抑制することが難しい。
【解決手段】ノズル４が連通する液室６の壁面の一部を形成する振動板部材２には、振動領域２ａに対応して圧電部材１２の駆動圧電素子柱１２Ａと接合する島状の第１凸部２ｂを形成し、液室間隔壁６Ａに対応する部分に非駆動圧電素子柱１２Ｂと接合する第２凸部２ｃを形成し、第１凸部２ｂのノズル配列方向における基部の幅Ｗａ１が、第２凸部２ｃのノズル配列方向における基部の幅Ｗａ２よりも広く形成され、かつ、ノズル配列方向における駆動圧電素子柱１２Ａの幅が、非駆動圧電素子柱１２Ｂの幅より狭く形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動板部材のピンホールからの液体の漏れを、変位効率の低下、初期充填性の低下、接合性の低下を抑制することなく防止することが困難である。
【解決手段】ノズル４が連通する液室６の壁面の一部を形成する振動領域２ａ及び圧電部材１２の駆動圧電素子柱１２Ａと接合する島状凸部１２ｂを有する振動板部材２は、圧電部材１２側の表面となる金属層からなる第１層２Ａと、第１層２Ａ上に形成された第２層（中間層）２Ｂと、第２層２Ｂ上に形成された液室側の表面層となる第３層（接合層）３Ｃとの３層構造とし、中間層である第２層２Ｂは撥水層で形成している。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いた液滴吐出アクチュエータにおいて、効率的に振動板の変位を大きくすることが可能な液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】液滴が貯蔵される液室の一部を成す振動板を変形させて液室内の液滴をノズル孔から吐出させる液滴吐出ヘッドであって、振動板において前記液室側と反対面側に形成された圧電素子と、圧電素子において振動板側の面に形成された下部電極と、圧電素子において下部電極が形成された面と反対側の面に形成された上部電極と、を含む板状部材と、板状部材の上部電極側の一端に形成されており、板状部材が振動板との間に挟まれるように上部電極側に形成される基板と板状部材とを固定する固定壁と、板状部材の下部電極側の他端に形成されており、振動板を押圧する押圧壁と、を有する。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位動作を排除体積が急激に変化することがないように制御することができる静電アクチュエーター、その駆動方法、並びに、その静電アクチュエーターを搭載した液滴吐出ヘッド及びそれを搭載した液滴吐出装置を得る。
【解決手段】固定電極５における振動板４に対向する領域は、その領域の長手方向の一端から他端に向かってギャップが大きくなるように階段形状に形成されており、段５ｃ〜５ｅの３つの段によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】印字のための駆動周波数を低下させずに吐出量を大きく変化させることができる
液滴吐出ヘッドの駆動方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】駆動制御回路４１は、静電アクチュエーターに対する駆動電圧Ｖ２の印加に
よる振動板４の固定電極５への一部当接状態から、駆動電圧Ｖ２の電圧値から上昇させ、
駆動電圧Ｖ３を印加し、振動板４の固定電極５に対する当接領域を拡大させることによっ
て、インク押し出し部１２を切断し、インク滴１３として外部に吐出させる。 （もっと読む）

インクを含むインク容器と前記インクが印刷媒体上に吐出するために前記インクが通る出口を持つインクジェットプリンタ装置であり、前記装置はミクロ流体アクチュエータを含み、前記アクチュエータは：（ｉ）前記流体が流入する入口チャンネル；（ｉｉ）前記流体が前記入口チャンネルから受け入れられるチャンバ；（ｉｉｉ）前記チャンバから前記流体を受けとる出口チャンネルであり、かつ前記流体を前記チャンネルから流通させて、前記流体の、前記入口チャンネル、前記チャンバ及び出口チャンネルからの流通路を形成する出口チャンネル；（ｉｖ）前記チャンバの壁の一部を形成し、かつ前記チャンバ内の流体圧に応じて変位するフレキシブル膜；及び（ｅ）前記流通路内の少なくとも第一のバルブを含み、前記バルブが作動される場合に、前記流通路を通る前記流体の流れが変更され、前記チャンバを流通する前記流体圧が変化し、それにより、前記フレキシブル膜を変位させ、前記フレキシブル膜の変位により、前記インク容器から前記インクが吐出又は吐出されない、インクジェットプリンタ装置。

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【課題】耐久性を低下させることなく、変位量を向上することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に設けられた振動板５０、５５、６０と、該振動板５０、５５、６０上に設けられて前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段３００と、を具備し、前記圧力発生室１２の並設方向の側面を画成する隔壁１１と前記振動板５０とを前記圧力発生室１２の並設方向と交差する方向に沿って複数設けられた無機材料からなる柱状部材５１によって接合し、前記隔壁１１と前記振動板５０との間の前記柱状部材５１の周囲に樹脂からなる接着層５２を設ける。 （もっと読む）

【課題】寸法精度が高い溝を容易に形成する。
【解決手段】振動板４０の圧力室２４と対向することとなる領域の搬送方向に関する両端部の外側に、走査方向に沿って延在した貫通孔４０ａを形成する（貫通孔形成工程）。振動板４０のいずれか一方の面に貫通孔４０ａを閉塞するように閉塞層７０を接合する（閉塞層形成工程）。振動板４０の上面、振動板４０の貫通孔４０ａの内壁、及び、振動板４０の貫通孔４０ａから露出した閉塞層７０の上面に跨って、薄膜６２を形成する（成膜工程）。薄膜６２の表面に、圧電材料を用いて、圧電材料の粒子を堆積させることにより圧電層４１を形成する（圧電層形成工程）。閉塞層７０を加熱して除去する（除去工程）。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位量を増やすことができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を噴射するためのノズル孔に連通した複数の圧力室１１を有する圧力室板と、圧力室板の上方に形成された振動板３０であって、圧力室板と対向した第１の面と、第１の面と反対の第２の面３２を有し、第２の面３２において、複数の圧力室１１とそれぞれオーバーラップした第１領域３３を有する振動板３０と、複数の第１領域３３において、第１の方向に延びるように、それぞれ形成された第１の導電層４０と、圧電体層５０と、第２の導電層６０と、を有し、第１領域３３内において、圧電体層５０と第２の導電層６０とオーバーラップした領域を第２領域３４とし、第１領域３３内において、第１の方向と直交する第２の方向２１０に沿って第２領域３４と連続した領域を第３領域３５とし、第３領域３５の少なくとも一部において振動板３０が露出した露出領域３７を含む。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換素子と振動板から成る圧力発生部材（アクチュエータ）の曲がり方向を一様にして液体吐出量を増加させると共に、製造コストを上げたり集積度を低下させないように、圧力発生部材について工夫すること。
【解決手段】圧力室(15)と、この圧力室にそれぞれ連通して設けられたノズル(17)及び液体供給路(18)と、上記圧力室の一部を構成する振動板(14)、及びこの振動板と一体的に形成された電気機械変換素子(13)により構成され、上記圧力室に圧力を発生させる圧力発生部材とから成り、上記電気機械変換素子に電圧を印加することにより、上記ノズルから液体を吐出する液体吐出装置を前提として、
上記振動板(14)の一部の剛性を変えて、上記電気機械変換素子の曲がり方向が一様になるようにしたことである。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータをインクから保護する保護層に関し、アクチュエータの変形動作を阻害しないようにすることと、ハンドリング性を維持することとを両立する。
【解決手段】キャビティユニット２とアクチュエータ４との間に介在する保護層３を備え、この保護層３は、キャビティユニット２の表面とアクチュエータ４の底面との間に挾み込まれる厚肉部４３と、厚肉部４３よりも薄く形成されて平面視で圧力室２４と重ねて配置され、アクチュエータ４の底面との間に略真空状態に保たれる空間４４をなす薄肉部４２とを有し、薄肉部４２は、そのキャビティユニット２側の面が厚肉部４３のキャビティユニット２側の面と同一平面をなしてアクチュエータ４の底面に接触しない状態のものであって、空間４４が略真空状態に保たれることによってアクチュエータ４側に弾性変形してその少なくとも中央部４６がアクチュエータ４の底面に常時接触した状態となる。 （もっと読む）

【課題】背圧を印加した高粘度な液を安定に吐出できる液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル１６の反吐出方向では梁部材１４およびアクチュエータ３６に開口１１６が設けられ、大気中に開放された構成とされている。これにより液流路１３より給送された液Ｌは、梁部材１４に設けられた開口１１６の近傍で形成された液溜まり１００に一時的に滞留する。回転エンコーダ２０Ｂに設けられた液吸引プール１２４は図示しない吸引手段と連通し、負圧を印加される。ノズル１６を挟んで長手方向反対側の流路部材１２には吸引路４２が設けられ、液吸引プール１２４と連通している。このため吸引路４２は開口１１６近傍の液溜まり１００に滞留する液Ｌを逐次吸引、除去する。 （もっと読む）

【課題】高粘度な混合液を高効率かつ安定に吐出できる液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】流路部材１２は、液滴吐出方向および逆方向に撓み可能であり、液流路１３を通ってノズル１６まで達した液を、慣性によって吐出方向に液滴２として吐出する。ノズル１６に至るまで、図５（Ｂ）に示すように長手方向両端より液流路１３の内部をそれぞれＡ液、Ｂ液が給送される。図５（Ｃ）に楕円で示される反応進行領域である区間Ｍでは、ノズル１６近傍で接触したＡ液とＢ液とが混合され、反応が進行し高粘度化が起こる。次いで図５（Ｄ）に示されるようにノズル１６より液滴２が吐出される。 （もっと読む）