【課題】 駆動装置との電気的接続の高い信頼性を確保しつつ、その電気的接続にかかるコストを低減することが可能な圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ３は、金属製のステンレス板３０と、このステンレス板３０の表面に形成された絶縁層３１と、この絶縁層３１の表面に形成された複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２の表面に形成された圧電層３３と、圧電層３３の表面に複数の個別電極３２に亙って形成された共通電極３４とを備え、絶縁層３１の表面に、複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６と、複数の個別電極３２と複数の端子部３６とを夫々電気的に接続する複数の配線部３５とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 後端にチャンネル溝内部を満たす導電性樹脂を備えるインクジェットヘッドにおいて、導電性樹脂とチャンネル壁との間のクラック発生を防止する。
【解決手段】 インクジェットヘッドは、チャンネル壁３に隔てられる複数のチャンネル溝４を前端と後端とを結ぶように形成されたベース部材１と、このベース部材１の、複数のチャンネル溝４を有する側の面に対向するようにベース部材１と接して配置されたカバー部材２と、チャンネル溝４の内面の少なくとも一部に配置された駆動電極としての電極５と、この電極５と電気的に接続されるように、後端においてチャンネル溝４の内部を満たすように配置された導電性樹脂２６とを備える。ただし、チャンネル溝４の深さは前端におけるよりも後端における方が浅くなっている。 （もっと読む）

【課題】良好な電気接続が得られる接続端子を備えたインクジェットプリンタヘッドに好適な電気回路基板を提供する。
【解決手段】先ずチップ基板２１上に駆動回路２７、抵抗発熱部２８、共通電極２９、個別配線電極３１、接続端子３２等を形成し、続いてシール隔壁３３−１、インク加圧室３４を作る区画隔壁３３−２及び３３−３を形成し、同時に区画隔壁３３−２に連設してこれと同一材料で支持部材３５を形成する。更にインク供給溝３６とインク給送孔３７を形成する。この後これらの上にオリフィス板２２を積層し、接続端子３２に対応する位置にボンディング用孔２５をエッチングした後、右端部で隣接のチップ基板と切り離す。オリフィス板２２は支持部材３５に支持されるため垂れて接続端子３２に接触することがなく、熱伝導等でエッチングレートを低下させることがなく、エッチング残渣が発生せず、接続端子３２は良好な電気接続性を維持する。 （もっと読む）

【課題】 品質劣化を伴うことなく、高機能で微細寸法の圧電素子の櫛歯状駆動片を迅速かつ効率よく加工する。
【解決手段】 一対の圧電素子ブロック３２Ａ、３２Ｂの間にスペーサ５０を介在させる。圧電素子ブロック３２Ａ、３２Ｂの上部側は、スペーサ５０より上方に突出しており、この上部側からスリット６０Ａを形成することにより、多数の圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂを等間隔で櫛歯状に形成する。スペーサ５０の上部は、圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂの基端部を含む位置まで配置されている。このスペーサ５０の上部は圧電素子ブロック３２Ａ、３２Ｂに接着されない非接着領域であり、圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂの基端部を補強して、スリット加工時の応力を緩和する。スペーサ５０の非接着領域により、圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂの変形は拘束されず、高い応答性と十分な変位量を得ることができる。 （もっと読む）