インクジェットヘッド

【課題】後端にチャンネル溝内部を満たす導電性樹脂を備えるインクジェットヘッドにおいて、導電性樹脂とチャンネル壁との間のクラック発生を防止する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、チャンネル壁３に隔てられる複数のチャンネル溝４を前端と後端とを結ぶように形成されたベース部材１と、このベース部材１の、複数のチャンネル溝４を有する側の面に対向するようにベース部材１と接して配置されたカバー部材２と、チャンネル溝４の内面の少なくとも一部に配置された駆動電極としての電極５と、この電極５と電気的に接続されるように、後端においてチャンネル溝４の内部を満たすように配置された導電性樹脂２６とを備える。ただし、チャンネル溝４の深さは前端におけるよりも後端における方が浅くなっている。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリンタなどに用いられるインクジェットヘッドに関する。より詳しくは、圧電部材を含む壁によって規定されたインク室の内部に貯まったインクを、この圧電部材に電圧を印加して変形させ、インク室内に圧力振動を生じさせることによって、噴出させる方式のインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、プリンタにおいては、インパクト印字装置に代わって、カラー化、多階調化に対応しやすいインクジェット方式などのノンインパクト印字装置が急速に普及している。これに用いるインク噴射装置としてのインクジェットヘッドとしては、特に、印字に必要なインク滴のみを噴射するというドロップ・オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、低コスト化の容易さなどから注目されている。ドロップ・オン・デマンド型としては、カイザー（Kyser）方式やサーマルジェット方式が主流となっている。
【０００３】しかし、カイザー方式は、小型化が困難で高密度化に不向きであるという欠点を有していた。また、サーマルジェット方式は、高密度化には適しているものの、ヒータでインクを加熱してインク内にバブル（泡）を生じさせて、そのバブルのエネルギーを利用して噴射させる方式であるため、インクの耐熱性が要求され、また、ヒータの長寿命化も困難であり、エネルギー効率が悪いため、消費電力も大きくなるという問題を有していた。
【０００４】このような各方式の欠点を解決するものとして、圧電材料のシェアモードを利用したインクジェット方式が開示されている。この方式は、圧電材料からなるインクチャンネルの壁（以下、「チャンネル壁」という。）の両側面に形成した電極を用いて、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を生じさせることで、シェアモードでチャンネル壁を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利用してインク滴を吐出するものであり、ノズルの高密度化、低消費電力化、高駆動周波数化に適している。
【０００５】図１４を参照して、このようなシェアモードを利用したインクジェットヘッドの構造について説明する。このインクジェットヘッドは、図１４の上下方向に分極処理を施した圧電体材料に複数のチャンネル溝４が形成されたベース部材１と、インク供給口２１とマニホールド空間２４が形成されたカバー部材２と、ノズル孔１０があけられたノズル板９を張り合わせることで、インクチャンネルを形成している。「インクチャンネル」とは、チャンネル溝４の内部の空間を利用して形成される圧力室の部分をいう。チャンネル壁３には、電界を印加するための電極５が上半分のみに形成されている。以下、インクジェットヘッドにおいて、ノズル板９のある側を前とし、これと反対側を後ろとする。このインクチャンネルの場合、チャンネル溝４の後端部は、溝加工時に使用されるダイシングブレードの直径に対応したＲ形状に加工されており、さらに外部との電気的接続のための電極引出し部としての浅溝部６が同じくダイシングブレードにより加工されている。浅溝部６に形成された電極は、浅溝部６の後端で、たとえばフレキシブルプリント基板１１の外部電極８とボンディングワイヤ７によって接続されている。このような構造のインクジェットヘッドでは、マニホールド空間２４からＲ形状の領域を経由してインクが供給されるが、本来の吐出に必要な圧力は、ベース部材１に設けられたチャンネル壁３の上部がカバー部材２と接着固定されている領域で発生するものであり、Ｒ形状の領域は本来不要な部分であり、静電容量の増加の原因となっている。
【０００６】このような静電容量を低減できるインクジェットヘッドとして、Ｒ形状の領域をなくした構造が、特開平９−９４９５４号公報に開示されている。しかし、同公報に開示されたインクジェットヘッドでは、チャンネル壁から電極を外部に引出す際に、ベース基板の底面から接続を行なうので、接続用の電極を形成するために複雑な工程が必要であった。
【０００７】そこで、インクジェットヘッドの静電容量を低減でき、かつ、チャンネル壁からの電極引出しも容易な構造として、図１５、図１６に示すような構造が提案されている。図１５は、このインクジェットヘッドを途中で切断し、さらに分解した状態の斜視図である。このインクジェットヘッドを組立てた状態の断面図を図１６R>６に示す。このインクジェットヘッドでは、チャンネル溝４が同一の深さでベース部材１の前端から後端まで貫通するように設けられていることが特徴である。この構造においては、Ｒ形状の領域をなくすことができ、静電容量を低減できている。また、圧電材料の使用量も削減できている。チャンネル溝４の後端近傍では、チャンネル溝４内が導電性樹脂２６で封止されることによって、同一チャンネル溝４に面する電極５同士は同電位になるように、電気的接続が行なわれている。導電性樹脂２６はチャンネル溝４の後端にまで達しており、ベース部材１の後端は、異方性導電性フィルム（以下、「ＡＣＦ」という。）１２を挟みこむようにしてフレキシブルプリント基板１１が接続されている。フレキシブルプリント基板１１の表面の外部電極８と導電性樹脂２６とは、ＡＣＦ１２を挟み込んで厚み方向に圧迫することによって、それぞれ電気的に接続されている。ただし、ＡＣＦ１２の特性により、各インクチャンネルごとに電気的な独立が保たれている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のインクジェットヘッドでは、導電性樹脂２６は、チャンネル溝４の後端近傍に液状のまま塗布され、硬化させて形成されるものであったので、導電性樹脂２６の硬化収縮によって、導電性樹脂２６とチャンネル壁３との間にクラック（亀裂）が生じる場合があった。また、導電性樹脂２６は昇温した状態で硬化させられるが、導電性樹脂２６の線膨張係数は、ベース部材１として用いられている圧電材料の線膨張係数より大きいので、硬化後の冷却時に生じる熱収縮によっても、導電性樹脂２６とチャンネル壁３との間にクラックが生じる場合があった。これらの原因で生じたクラックの例を図１７に示す。導電性樹脂２６とチャンネル壁３との間にクラック１６が生じている。このようなクラックは、電極５と外部電極８との間の電気的接続不良の原因となる。
【０００９】そこで、本発明は、導電性樹脂とチャンネル壁との間のクラック発生を防止できるインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、本発明に基づくインクジェットヘッドは、前端と後端とを有し、圧電材料を含むチャンネル壁に隔てられるようにして複数のチャンネル溝を上記前端と上記後端とを結ぶように形成されたベース部材と、上記ベース部材の、上記複数のチャンネル溝を有する側の面に対向するように上記ベース部材と接して配置されたカバー部材と、上記チャンネル溝の内面の少なくとも一部に配置された駆動電極と、上記駆動電極と電気的に接続されるように、上記後端において上記チャンネル溝の内部を満たすように配置された導電性樹脂とを備え、上記チャンネル溝の深さは上記前端におけるよりも上記後端における方が浅くなっている。この構成を採用することにより、前端近傍ではチャンネル壁の十分なシェアモード変形を確保しつつも、後端においては使用する導電性樹脂の体積を小さくすることができる。したがって、導電性樹脂の硬化収縮あるいは熱収縮の際に導電性樹脂とチャンネル壁との界面に生じる応力を小さくすることができ、クラックが生じることを防止できる。
【００１１】上記発明において好ましくは、上記チャンネル溝の深さは、上記前端から上記後端に向かって連続的に浅くなっていく。この構成を採用することにより、マニホールド空間からインクチャンネルへのインクの流れが円滑になり、インクを安定して吐出することができる。
【００１２】上記発明において好ましくは、上記チャンネル溝は、上記前端を起点として上記チャンネル溝の長手方向に沿って延びる前部領域を含み、上記チャンネル溝の深さは上記前部領域においては一定であり、上記前部領域における上記チャンネル溝の深さよりも、上記後端における上記チャンネル溝の深さの方が浅い。この構成を採用することにより、インク吐出に特に深く関わる部分におけるチャンネル溝の深さが一定となるので、チャンネル壁のシェアモード変形の効率を高くすることができ、インクを効率良く吐出することができる。
【００１３】上記発明において好ましくは、上記前端から上記チャンネル溝の長手方向途中までの領域において上記チャンネル壁の上端が上記カバー部材に固定された壁固定領域を有し、上記チャンネル溝の長手方向に沿った長さを比較したとき上記前部領域の長さは上記壁固定領域の長さ以上となっている。この構成を採用することにより、壁固定領域の全域においてチャンネル溝の深さが一定となるので、壁固定領域の全域においてシェアモード変形の効率を高くすることができる。
【００１４】上記発明において好ましくは、上記チャンネル溝は、上記後端を起点として上記チャンネル溝の長手方向に沿って延びる後部領域を含み、上記チャンネル溝の深さは上記後部領域においては一定であり、上記前端における上記チャンネル溝の深さよりも、上記後部領域における上記チャンネル溝の深さの方が浅い。この構成を採用することにより、硬化前の導電性樹脂がチャンネル溝に沿って前側に不所望に流れてしまうことを防止できる。したがって、導電性樹脂の塗布効率を上げることができ、導電性樹脂の使用量を低減することができる。
【００１５】上記発明において好ましくは、上記ベース部材の上記後端に固定された外部電極を備え、上記外部電極と上記導電性樹脂とは間に異方性導電性フィルムを挟みこむことによって電気的に接続されており、上記後端における上記チャンネル溝の断面は、断面積が２３００μｍ²以上である。この構成を採用することにより、異方性導電性フィルムを介して外部電極と接続する際にも、導電性樹脂の接する部分に最低限必要な面積を確保できるので、電気的接続を確実に行なうことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）
（構成）図１〜図３を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドの構成について説明する。図１、図２に示すように、このインクジェットヘッドでは、図１５、図１６に示した従来のものと同様に、ノズル板９が取付けられる前端と、その反対側である後端とを有し、ベース部材１とカバー部材２とを備える。図１はわかりやすくするために途中で切断し、さらに各部を分解した状態を示している。図２は、このインクジェットヘッドをチャンネル溝４の中心線においてチャンネル溝４の長手方向と平行に切断した場合の断面図である。
【００１７】ベース部材１は圧電材料からなり、複数のチャンネル溝４が前端と後端とを結ぶように平行に形成されている。チャンネル溝４同士の間は、ベース部材１の一部であるチャンネル壁３によって隔てられている。チャンネル壁３の側面すなわちチャンネル溝４の内面のほぼ上半分には、チャンネル壁３をシェアモード変形させるための駆動電極としての電極５が薄く形成されている。後端においては、チャンネル溝の内部に導電性樹脂２６が満たされており、この結果、導電性樹脂２６は電極５と電気的に接続されている。導電性樹脂２６はＡＣＦ１２を介在してフレキシブルプリント基板１１の表面の外部電極８と電気的に接続されている。
【００１８】カバー部材２には凹部を形成することでマニホールド空間２４ｂが設けられている。一方、マニホールド部材２０は、内部にマニホールド空間２４ａを有し、前側が開放され、後ろ側にインク供給口２１を備える。ベース部材１とカバー部材２とを貼り合せ、後端にフレキシブルプリント基板１１を配置したもののさらに後端を覆い、塞ぐようにマニホールド部材２０がさらに取付けられることによって、マニホールド空間２４ａとマニホールド空間２４ｂとはつながり、連続したマニホールド空間２４を構成する。
【００１９】ここまでは図１５、図１６に示した従来のインクジェットヘッドと同様であるが、このインクジェットヘッドでは、従来のインクジェットヘッドと異なり、チャンネル溝４の深さは前端におけるよりも後端における方が浅くなっている。前端より後端の方がチャンネル溝４が浅くなっていることが本発明の基本であり、後端が前端より浅くなっていることだけでも一応の効果を奏する。ただし、図２に示すように前端から後端に向かって連続的に浅くなっていくことがより好ましい。「連続的に」とは、途中で平坦な箇所を含むことを排除するものではなく、チャンネル溝４の深さに注目して前端から後端に向かうときに途中で深さが増大する部分がないことを意味する。
【００２０】図３にこのインクジェットヘッドからマニホールド部材２０を取り去った状態で後ろ側から見た状態を示す。チャンネル溝４が後端において浅くなっているため、導電性樹脂２６が後端に露出する面積は、前端におけるチャンネル溝４の断面積（破線で示したもの）に比べて小さくなっている。
【００２１】（製造方法など）このインクジェットヘッドの各部の具体的な寸法や製造方法について以下に述べる。チャンネル溝４は深さ３００μｍ、幅７７μｍ、ピッチ１６９μｍである。ベース部材１とカバー部材２とが接している部分の長さ、すなわち図２における領域Ａの長さは１．１ｍｍであり、チャンネル溝４の上方がマニホールド空間２４ｂとなっている部分の長さ、すなわち領域Ｂの長さは２．４ｍｍである。なお、各領域に言及する際に「長さ」とは、原則としてチャンネル溝４の長手方向に沿った長さをいう。
【００２２】電極５は、材料としてＡｌを用い、斜め蒸着法によって形成されたものであり、厚みが１．０μｍである。電極５の材料としては、Ａｌ以外に、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｔｉなどの導電性材料を用いてもよい。
【００２３】ノズル板９には、厚み５０μｍのポリイミドフィルムを用い、ノズル孔１０は、エキシマレーザ加工によって設けられている。ノズル板９としては、ポリイミドフィルムに代えて、ポリエチレン系の高分子樹脂フィルムを用いることとしてもよい。あるいは、ステンレス板などの金属板に打抜加工によりノズル孔１０をあけてもよい。
【００２４】カバー部材２は、分極されていない圧電体基板を用いており、サンドブラスト加工によってマニホールド空間２４ｂが形成されている。カバー部材２としては、セラミック基板などを用いることもできる。マニホールド空間２４ｂの形成には、フライス加工や成形加工を用いてもよい。
【００２５】チャンネル溝４の後端近傍には導電性樹脂２６が埋めこまれており、外部電極８と導電性樹脂２６との接続には、ＡＣＦ（異方性導電性フィルム）１２が用いられている。
【００２６】上述のように前端から後端に向かうにつれてチャンネル溝４が連続的に浅くなったインクジェットヘッドを製造するには、以下のようにすればよい。
【００２７】まず、図４に示すように、ベース部材１の材料である圧電基板３０にダイシングブレード１５を真上から下ろすことによって円弧状に加工する。こうして得たチャンネル溝４の内面すなわちチャンネル壁３の側面の上半分にＡｌの斜め蒸着によって電極５を形成した後の様子を図５に示す。
【００２８】図６に示すように、チャンネル溝４の両端に導電性樹脂２６をディスペンサ（図示省略）によって流し込み、硬化させる。図７に示すように、上面に研磨加工を施すことによって、チャンネル溝４からあふれていた導電性樹脂２６を除去する。この結果、隣接するチャンネル溝４同士の導電性樹脂２６はそれぞれ分離され、電気的に独立となる。図８に示すように圧電基板３０を切断し、ベース部材１の断片を得る。この方法では、左右対称に加工を進められるので同時に２個のベース部材１が得られる。
【００２９】ダイシングブレード１５の半径が２５．４ｍｍの場合、インクジェットヘッドの前端となる位置で深さ３００μｍとすると、前端から３．５ｍｍ離れた位置で切断すれば、後端でのチャンネル溝４の深さは約６０μｍとすることができる。
【００３０】（作用・効果）本実施の形態におけるインクジェットは、チャンネル溝４の深さが前端より後端で浅くなっているので、前端近傍では十分深いチャンネル溝４によってチャンネル壁３の十分なシェアモード変形を確保しつつも、後端においてはチャンネル溝４が浅くなっていることによって使用する導電性樹脂２６の体積を小さくすることができる。したがって、導電性樹脂２６の硬化収縮あるいは熱収縮の際に導電性樹脂２６とチャンネル壁３との界面に生じる応力を小さくすることができ、導電性樹脂２６とチャンネル壁３との間にクラックが生じることを防止できる。このクラックを防止できることによって、電極５と外部電極８との間の電気的接続を確実にすることができる。
【００３１】チャンネル溝の深さが前端から後端に向かって連続的に浅くなっていく場合には、マニホールド空間２４からインクチャンネルへのインクの流れが円滑になり、インクを安定して吐出することができる。
【００３２】本実施の形態では、後端でのチャンネル溝４の深さを６０μｍとしている。この深さが浅い方が使用する導電性樹脂２６の体積を小さくするという意味では好ましいが、あまりに浅くしすぎると、ＡＣＦ１２を介して外部電極８と接続する際に導電性樹脂２６の接する面積が小さくなりすぎて十分な電気的接続をとれなくなってしまうので、一定以上の面積が必要である。たとえば、チャンネル溝４の幅が約７７μｍの条件下では、深さは３０μｍ以上である場合に電気的接続を確保することができた。これは、後端におけるチャンネル溝４の断面積が２３００μｍ²以上となったことによる。すなわち、十分な電気的接続を確保するには、導電性樹脂２６の接する面積が２３００μｍ²以上必要であるといえる。
【００３３】（実施の形態２）
（構成）図９を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドの構成について説明する。このインクジェットヘッドは、基本的には実施の形態１におけるものと同様であるが、前端を起点として一定の長さだけチャンネル溝４の深さが一定となっている領域Ｃを有する。この部分を「前部領域」ともいう。領域Ｃの後ろ側に続く領域Ｄにおいてはチャンネル溝４は後端に向かうにつれて連続的に浅くなっている。
【００３４】（製造方法など）このインクジェットヘッドの各部の具体的な寸法や製造方法について以下に述べる。領域Ａの長さは１．１ｍｍ、領域Ｂの長さは３．１ｍｍである。領域Ｃの長さは１ｍｍである。後端におけるチャンネル溝４の深さは１００μｍである。領域Ｃを形成するには、図１０に示すように、ベース部材１の材料である圧電基板３０にダイシングブレード１５を真上から下ろした後にチャンネル溝４の長手方向に沿って平行移動させることで図１１に示すように容易に形成することができる。本実施の形態では、前端におけるチャンネル溝４の深さが３００μｍで領域Ｃの長さが１ｍｍであるので、ダイシングブレード１５を３００μｍ切り込ませた状態で水平方向に１ｍｍ移動すればよい。図１０R>０、図１１の例では、領域Ｃを１つ分しか形成していないが、図７、図８に示したように左右対称に形成して同時に２個のベース部材１を製造しようとする場合には、領域Ｃの長さの２倍に切断代を加えた長さだけダイシングブレード１５を水平方向に移動すればよい。
【００３５】（作用・効果）領域Ａは、チャンネル壁３の上端がカバー部材２に固定された壁固定領域である。領域Ａはチャンネル壁３がシェアモード変形してインク吐出に必要な圧力を発生させる部分である。この領域Ａにほぼ重なるようにチャンネル溝４の深さが一定の領域Ｃが存在することで、実施の形態１で述べた効果と同様の効果が得られるだけでなく、さらに、チャンネル壁３のシェアモード変形の効率を高くすることができる。したがって、インクを効率良く吐出することができる。
【００３６】図９に示した上述の例では、領域Ｃ（前部領域）の長さは壁固定領域（領域Ａ）の長さより短いが、図１２に示すように領域Ｃの長さが領域Ａの長さと同じか領域Ｃの長さより長い方がより好ましい。こうすれば、領域Ａの全域においてチャンネル溝４の深さが一定となるので、領域Ａの全域においてシェアモード変形の効率を高くすることができるからである。
【００３７】（実施の形態３）
（構成）図１３を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドの構成について説明する。このインクジェットヘッドは、基本的には実施の形態１におけるものと同様であるが、後端を起点として一定の長さだけチャンネル溝４の深さが一定となっている領域Ｆを有する。この部分を「後部領域」ともいう。領域Ｆの前側に続く領域Ｅにおいてはチャンネル溝４は後端に向かうにつれて連続的に浅くなっている。
【００３８】（製造方法など）このインクジェットヘッドの各部の具体的な寸法や製造方法について以下に述べる。領域Ａの長さは１．１ｍｍ、領域Ｂの長さは２．４ｍｍである。領域Ｆの長さは０．５ｍｍである。領域Ｆにおけるチャンネル溝４の深さは６０μｍである。領域Ｆの部分は、圧電基板を加工する際にダイシングブレード１５を水平方向に平行移動させることで容易に得ることができる。
【００３９】（作用・効果）本実施の形態におけるインクジェットヘッドには、後端近傍の導電性樹脂２６が配置された領域にチャンネル溝４の深さが一定の領域Ｆが存在する。したがって、導電性樹脂２６をディスペンサで流し込む際に、硬化前の導電性樹脂２６がチャンネル溝４に沿って前側に不所望に流れてしまうことを防止できる。その結果、実施の形態１で説明した効果と同様の効果が得られるだけでなく、さらに、導電性樹脂２６の塗布効率を上げることができる。塗布効率を上げることは、導電性樹脂２６の使用量を低減することにつながる。
【００４０】なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、前端近傍ではチャンネル壁の十分なシェアモード変形を確保しつつも、後端においては使用する導電性樹脂の体積を小さくすることができる。したがって、導電性樹脂の硬化収縮あるいは熱収縮の際に導電性樹脂とチャンネル壁との界面に生じる応力を小さくすることができ、導電性樹脂とチャンネル壁との間にクラックが生じることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドの断面図である。
【図３】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドを、マニホールド部材を取り去った状態で後ろ側から見た図である。
【図４】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドの製造工程の第１の説明図である。
【図５】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドの製造工程の第２の説明図である。
【図６】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドの製造工程の第３の説明図である。
【図７】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドの製造工程の第４の説明図である。
【図８】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドの製造工程の第５の説明図である。
【図９】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドの断面図である。
【図１０】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドの製造工程の第１の説明図である。
【図１１】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドの製造工程の第２の説明図である。
【図１２】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドのさらに好ましい例の断面図である。
【図１３】本発明に基づく実施の形態３におけるインクジェットヘッドの製造工程の第２の説明図である。
【図１４】従来技術に基づく第１のインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図１５】従来技術に基づく第２のインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図１６】従来技術に基づく第２のインクジェットヘッドの断面図である。
【図１７】従来技術に基づく第２のインクジェットヘッドにおいてクラックが生じた例を示す図である。
【符号の説明】
１ベース部材、２カバー部材、３チャンネル壁、４チャンネル溝、５電極、６浅溝部、７ボンディングワイヤ、８外部電極、９ノズル板、１０ノズル孔、１１フレキシブルプリント基板、１２異方性導電フィルム（ＡＣＦ）、１５ダイシングブレード、１６クラック、２０マニホールド部材、２１インク供給口、２４，２４ａ，２４ｂマニホールド空間、２６導電性樹脂、３０圧電基板。

【特許請求の範囲】
【請求項１】前端と後端とを有し、圧電材料を含むチャンネル壁に隔てられるようにして複数のチャンネル溝を前記前端と前記後端とを結ぶように形成されたベース部材と、前記ベース部材の、前記複数のチャンネル溝を有する側の面に対向するように前記ベース部材と接して配置されたカバー部材と、前記チャンネル溝の内面の少なくとも一部に配置された駆動電極と、前記駆動電極と電気的に接続されるように、前記後端において前記チャンネル溝の内部を満たすように配置された導電性樹脂とを備え、前記チャンネル溝の深さは前記前端におけるよりも前記後端における方が浅くなっている、インクジェットヘッド。
【請求項２】前記チャンネル溝の深さは、前記前端から前記後端に向かって連続的に浅くなっていく、請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】前記チャンネル溝は、前記前端を起点として前記チャンネル溝の長手方向に沿って延びる前部領域を含み、前記チャンネル溝の深さは前記前部領域においては一定であり、前記前部領域における前記チャンネル溝の深さよりも、前記後端における前記チャンネル溝の深さの方が浅い、請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】前記前端から前記チャンネル溝の長手方向途中までの領域において前記チャンネル壁の上端が前記カバー部材に固定された壁固定領域を有し、前記チャンネル溝の長手方向に沿った長さを比較したとき前記前部領域の長さは前記壁固定領域の長さ以上となっている、請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記チャンネル溝は、前記後端を起点として前記チャンネル溝の長手方向に沿って延びる後部領域を含み、前記チャンネル溝の深さは前記後部領域においては一定であり、前記前端における前記チャンネル溝の深さよりも、前記後部領域における前記チャンネル溝の深さの方が浅い、請求項１、３または４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】前記ベース部材の前記後端に固定された外部電極を備え、前記外部電極と前記導電性樹脂とは間に異方性導電性フィルムを挟みこむことによって電気的に接続されており、前記後端における前記チャンネル溝の断面は、断面積が２３００μｍ²以上である、請求項１から５のいずれかに記載のインクジェットヘッド。

【図１】