【課題】分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理する。
【解決手段】平板状の圧電プレートの第１の主面Ｓ１に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝５０３，５０４を交互に形成し、複数の第１の溝の内壁面に第１の電極５０５を形成し、複数の第２の溝の内壁面に第２の電極５０６を形成し、複数の第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極８０２と、複数の第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極８０３と、を形成し、第１の共通電極と第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、第１の溝と第２の溝とを仕切る隔壁５１３を分極し、第１の電極が第１の溝ごとに分離されかつ第２の電極が第２の溝ごとに分離されるように、第１及び第２の共通電極を除去する。 （もっと読む）

【課題】複合酸化物を生成させる回数が増加しても、電極を疎水化させることが可能な電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子並びに吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】複合酸化物膜１２が形成されている共通電極１１上の複合酸化物膜１２が形成されていない領域に自己組織化単分子膜１３を形成して疎水化し、共通電極１１上の自己組織化単分子膜１３が形成されていない領域にゾルゲル液１４を塗布、仮焼して複合酸化物膜１４'を形成し、複合酸化物膜の積層体１５を形成し、複合酸化物膜の積層体１５が形成された共通電極１１を酸洗浄し、複合酸化物膜の積層体１５が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させ、共通電極１１上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域にゾルゲル液を塗布し、ゾルゲル液が塗布された共通電極１１を仮焼して複合酸化物膜を形成し、複合酸化物膜の積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】低コストで所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】基板１１上の下部電極に形成された電気機械変換膜上に、塗布領域の所定のパターンに合わせて形成されたガラスマスク１４の透過領域１４−１を通してレーザ光１８を一方向での走査しながら照射する。ガラスマスク１４の遮光領域１４−２によってレーザ光１８が遮光され、エッチングされて残ったＳＡＭ膜１２には照射されない。このため、エッチングされて残ったＳＡＭ膜１２のパターン形状は変わらない。 （もっと読む）

【課題】液体に対する接触角を制御することで、コーヒーステインを防ぎつつ基板上に均一に濡れ広がるようにして薄膜を形成することができる薄膜製造方法、並びに該薄膜製造方法により製造された薄膜を備える電気機械変換素子、該電気機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供すること。
【解決手段】基板上に、機能性インクが結晶化されてなる薄膜を形成する薄膜製造方法であって、前記基板上に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、レーザ光源、ランプ及びプラズマから選ばれるいずれか１により前記撥液膜の一部を除去して準親水部となる所望の形状の撥液膜除去部位を形成する撥液膜除去工程と、前記基板上における前記撥液膜除去部位にゾルゲル法により前記機能性インクを付与する機能性インク付与工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターニング欠陥を抑制できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法は、第１の部分と前記第１の部分より滑らかな第２の部分とを有する基材の表面と、前記基材に取り付けられた駆動素子の表面と、にそれぞれ金属膜を形成し、レーザービームによって前記基材の第１の部分に形成された前記金属膜を削り、前記第１の部分に形成された前記金属膜を削るレーザービームと異なるパワーのレーザービームによって前記基材の第２の部分に形成された前記金属膜を削ることで導体パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】複数のアクチュエータ列の相互間の電気的な干渉によるノイズの発生を防ぐことができ、常に安定した動作が可能な信頼性にすぐれた液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電部材で形成された基台１におけるアクチュエータ列Ａとアクチュエータ列Ｂとの間に、低誘電率部材１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 シリコン基板の両面から短時間で液体供給口を形成することができ、かつ液体供給口の開口幅を精度よく形成することができる液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液体を吐出するためのエネルギ発生素子を表面側に有するシリコン基板を用意する工程と、前記シリコン基板の表面側に、第１のエッチング液導入孔を形成する工程と、前記シリコン基板の表面側に形成した第１のエッチング液導入孔から第１のエッチング液を供給し、前記シリコン基板の裏面側から第２のエッチング液を供給する工程と、前記第２のエッチング液の供給を停止する工程と、前記第２のエッチング液の供給を停止した後に、前記第１のエッチング液の供給によって前記シリコン基板の表面と裏面とを貫通する液体供給口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】裏面（第２面）に無機材料層を有するシリコン基板であっても、位置決め基準マークを少ない工程数で形成することができ、液体供給口を精度良く短時間で製造することが可能なインクジェット記録ヘッド用基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】対向する第１面と第２面とを有するシリコン基板に該基板の第２面から第１面に貫通する液体供給口を形成する液体吐出ヘッド用基板の製造方法であり該第１面に配線パターンを形成する工程と該第２面にエッチングマスク層を形成する工程と該マスク層上から該マスク層にレーザーを用いて位置決め基準マークを形成する工程と該位置決め基準マークを用いてレーザーにより該マスク層を貫通しかつ該シリコン基板の内部に底を有する開口パターン溝部を形成する工程と該開口パターン溝部から該第１面までを結晶異方性エッチングすることによって該シリコン基板を貫通する液体供給口を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ノズルの内壁面の液状体に対する前進接触角及び後退接触角を最適化することによって気泡の巻き込みを低減し、安定的な吐出を行うことができ、高速化を図ることができる液滴吐出ヘッド及び記録装置を提供すること。
【解決手段】ノズル１３から液状体を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル１３の内壁面は、前記液状体に対する前進接触角が５０°以下であり、後退接触角が９０°以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド、及び、前記液滴吐出ヘッドを備え、前記ノズル１３から吐出される液状体を被記録材に着弾させることによって記録を行うことを特徴とする記録装置。 （もっと読む）

【課題】配線部材や圧電部材の大型化や部材コストアップを生じる。
【解決手段】圧電部材１２の一端部には、駆動柱１２Ａよりも幅広の共通電極取出し用圧電柱１２Ｂを形成し、圧電柱１２Ｂの個別外部電極側端面にすべての駆動柱１２Ａの共通外部電極２４を接続した取出し用共通外部電極２５を設け、各駆動柱１２Ａの個別外部電極２３にはＦＰＣ１５の個別配線電極３１Ａを、圧電柱１２Ｂの取出し用共通外部電極２５にはＦＰＣ１５の共通配線電極３１Ｂを電気的に接続し、共通電極取出し用圧電柱１２Ｂの高さＨｂは、駆動柱１２Ａの高さＨａの約１／２とし、取出し用共通外部電極２５の圧電柱配列方向における単位長当たりの面積を、個別外部電極２３の圧電柱配列方向における単位長当たりの面積と同じとしている。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの外形形状を小型化し、かつ電極のパターニングを容易にする。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、液体を吐出するためのノズル３を有するノズルプレート４と、その上方に設置され、長手方向の深さが一定である溝５を構成する側壁６と、側壁６の壁面に形成され、側壁６を選択的に変形させる駆動電極７と、側壁６の上面ＵＳに設置され、溝５に液体を供給する供給口８と溝５から液体を排出する排出口９とを備えるカバープレート１０と、溝５と供給口８の間、及び溝５と排出口９の間の各連通部よりも外側の溝５を閉止する封止材とを備える。 （もっと読む）

【課題】インク噴射領域の隣接領域を被記録媒体の配置面に近づけて、被記録媒体がインク噴射領域に接触するのを防止する。
【解決手段】インクジェットプリンタは、キャリッジとともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３と、インクジェットヘッド３の下方に配置されて、搬送面８ａに沿って搬送方向に記録用紙Ｐを搬送する搬送機構とを有している。インクジェットヘッド３の流路ユニット６の一部を構成するノズルプレートのヘッド下面１６は、搬送面８ａから離れる方向に凹むように湾曲している。そして、ヘッド下面１６の中央部の複数のノズル１５が形成されたインク噴射領域１６ａに比べて、ヘッド下面１６のインク噴射領域１６ａの全周を取り囲み、ノズル１５が形成されていない隣接領域１６ｂは、搬送面８ａとの距離が小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】インクと電極との間の電気的な絶縁を維持することができ、印字品質が良好で、耐久性に優れたインクジェットヘッドを得ることにある。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インクが供給される複数の溝を有するとともに圧電材料で構成されたアクチュエータと、アクチュエータに接着剤で固定されたノズルプレートとを具備する。ノズルプレートは、溝の開口端をアクチュエータの上側から覆うとともに、溝に向けて照射されたレーザ光により形成された複数のノズルを有する。溝の内面に電極が形成されている。電極は、ノズルプレートを貫通したレーザ光が照射される溝内の領域から外れている。電極の上およびレーザ光が照射される溝内の領域に対応する溝の内面に、電気絶縁性を有する保護膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電インクジェットプリントヘッドの噴射密度を高めるため、従来のアセンブリより製造が容易な電気相互接続層を有するプリントヘッドの組立て方法を提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドを形成するための方法は、複数の圧電素子２０をダイヤフラム３６へ付着することと、前記ダイヤフラムを覆って侵入型層５０を計量分配することと、複数の導電素子６２を複数の圧電素子へ電気結合することと、侵入型層を硬化することと、を含むことができる。侵入型層内の複数の電気絶縁される導電粒子５４は、複数の導電素子を複数の圧電素子へ電気結合する。導電粒子は、侵入型層誘電体全体に渡って一様に分散されることができ、または各圧電素子の頂面上へ局在化されかつ複数の圧電素子と複数の導電素子との間に挿入されることができる。導電素子は、フレックス回路マニホールドプリント基板６０の一部であってもよい。 （もっと読む）

【課題】 流路形成基板のクラックの発生を抑制することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の流路形成基板１２が一体的に形成されたウェハー１００の各流路形成基板１２の間に、流路形成基板１２毎に分割するためのブレイクパターン２００を形成する工程と、ウェハー１００と接合基板との間に接着剤を塗布する塗布工程と、塗布工程後にウェハー１００と接合基板とを加熱する加熱工程と、ウェハー１００をブレイクパターン２００に沿って、接合基板が接着された複数の流路形成基板１２に分割する分割工程と、を具備し、ブレイクパターン２００は、流路形成基板１２の長辺端部が他の部分よりも脆弱となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットプリントヘッドは、インク流路が形成されるインクジェット基板と、上記インクジェット基板から上記インク流路の外側に形成され、上記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離による切断面が形成される切断部と、上記切断部の一面から上記インクジェット基板の厚さ方向の内側に形成され、上記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離を補助する切断補助部を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】はみ出した接着剤が圧電層の表面にせり上がるのを防止しつつ、複数のノズルからの液体の吐出特性がばらつくのを防止する。
【解決手段】流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２とを接着する前に、圧電アクチュエータ２２の、圧電層４２の縁とこの縁に最も近い個別電極４３との間に位置する部分に、圧電層４２の上面に開口した凹部を形成する。その後、流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２とを、両者の接着面に少なくとも一方に接着材５１を塗布してから互いに積層させ、ヒータ６０により圧電層４２の上面を流路ユニット２１に向けて押圧する。ヒータ６０は、圧電層４２の上面を押圧する押圧面６２Ａを形成する部分が弾性材料からなる弾性部６２となっており、押圧面６２Ａが圧電層４２の縁よりもはみ出すように配置された状態で、圧電層４２の上面を押圧する。 （もっと読む）

【課題】外部マニホールドを有する高密度インクジェットプリントヘッドアッセンブリの高精度かつより単純化された製造方法の提供。
【解決手段】隣接する圧電素子２０間の空間を満たしかつダイヤフラム３６に接触するように感光性の侵入型層５０を計量分配することと、隣接する圧電素子２０間の空間内の感光性侵入型層５０の第１の部分を除去し、かつ感光性侵入型層５０の第２の部分を隣接する圧電素子２０間の空間内に残すことと、隣接する圧電素子２０間の空間に感光性侵入型層５０の第２の部分が存在する状態で、各圧電素子２０と各圧電素子２０へ付着される電極１１４との間に電気経路を形成するために複数の圧電素子２０を複数の電極１１４へ付着することを含む方法。 （もっと読む）