【課題】少なくとも圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電素子は、複数の個別電極と、前記各個別電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成され、前記個別電極に対して共通の電極となる共通電極とを有している。更に、圧電素子における前記個別電極の上において、前記共通電極に覆われていない領域には、この領域を覆う保護膜を有している。 （もっと読む）

【課題】駆動電極がフレキシブル印刷回路と正確かつ堅固に連結されて駆動電極が扁平に具備されるようにする圧電アクチュエータの提供。
【解決手段】駆動電圧を提供する上部及び下部電極１２７、１２３と、上部及び下部電極１２７、１２３の間に圧電体液が固化されて形成され、インクジェットヘッド１００に具備される複数の圧力チャンバ１１４内のインクにそれぞれ駆動力を提供する圧電体１２５と、を含み、圧電体１２５は、複数の圧力チャンバ１１４それぞれの上部に個別に具備される分枝部と分枝部の一端で複数の分枝部とそれぞれ連結されながら一体に具備される大面積部とを含む圧電アクチュエータ１２０を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電素子が、ＡＬＣＶＤ法により形成された酸化アルミニウム膜を含む保護膜１００によって覆うようにする。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセス中のプラズマや大気中の水分による圧電体の劣化を防止し、圧電素子の変位量を増大させると同時に、個別電極等の配線の制約を無くすことで、高い信頼性（耐湿性）と高い吐出特性を維持しつつ、小型のインクジェットヘッドを実現して提供する。
【解決手段】個別電極配線７と下部電極４との間に、絶縁膜９と絶縁膜１０とが形成されており、駆動信号入力部２０を除く個別電極配線７の形成領域を含む領域に、絶縁膜１１と絶縁膜１２とが積層されており、個別液室１の形成領域の一部に、絶縁膜１０と絶縁膜１１または絶縁膜９〜１１が開口する領域があり、圧電素子１５の形成部を含む領域であって、絶縁膜１０と絶縁膜１１との開口領域に絶縁膜９と絶縁膜１２とが形成されているか、または絶縁膜９〜１１の開口領域に、絶縁膜１２が形成されているインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に、長手方向と短手方向とを有して形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、を含み、圧電体層２０の前記短手方向の側面２２の少なくとも一部は、凹凸面２３であり、第２電極３０から第１電極１０に向かうに従って、圧電体層２０の前記短手方向の幅Ｗｙは、凹凸面２３によって変化する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの変位の低下を抑制しつつ、アクチュエータを好適に保護できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ヘッド５は、上面２１ａに形成された凹部により加圧室３１が構成された基体２１と、加圧室３１を塞ぐように上面２１ａに重ねられ、加圧室３１側への撓み変形を生じるアクチュエータ２３と、アクチュエータ２３に重ねられた保護層４７とを有する。保護層４７は、平面透視において加圧室３１の縁部内側から縁部外側に跨る外周部５１を有するとともに、平面透視において加圧室３１の中央側の一部に重なる領域が開口４９とされている。 （もっと読む）

【課題】 変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的と
する。
【解決手段】
共通電極６０は、複数のスリットにより分割され圧力発生室１２に対応する領域に設け
られる複数の個別部６１と、これらの個別部の一端部側を繋ぐ基体部６２と、を備え、個
別部６１の基体部６２側が平面視において幅が漸大し、且つ共通電極６０は、個別部６１
に設けられる薄膜部６４と、基体部６２に設けられる厚膜部６５と、を備え、薄膜部６４
と厚膜部６５の間において薄膜部６４から厚膜部６５に向かって膜厚が漸大している。 （もっと読む）

【課題】効率よく均一にアンカー効果が得られるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、この基板の表面に形成される圧電体層と、この圧電体層の上に載置され、圧力室が形成される圧電素子と、圧電体層及び圧電素子に形成される導体層と、この圧電素子を囲むように基板に載置される枠体と、圧電素子の側壁の上端部に接着され、ノズル穴を有するノズルプレートと、を備える。圧電素子と圧電体層とは同じ材質により形成され、同時にエッチングされて表面が粗され、その後メッキにより導体層が形成される。 （もっと読む）

【課題】配線に印加する電圧に応じて所定量変形する圧電素子、安定した液体の噴射を行なう液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】下電極６０に形成された貫通孔６１の側面６１０で下電極６０と下電極用リード電極９０とが接触し、接触面である側面６１０で、下電極用リード電極９０が下電極６０の側面６１０に含まれるイリジウムを含んでいる。異種金属が接触している場合と比較して、同種の金属が接触している場合は、接触抵抗が低くなる。したがって、接触抵抗による電圧降下および発熱を低減でき、下電極用リード電極９０に印加する電圧に応じて機能する圧電素子を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】流路部材の平面状の面に接合する際に、接合性の良好なインクジェット用圧電アクチュエータユニット、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。
【解決手段】複数の圧電セラミック層が積層されている積層体と、該積層体の一方の主面に第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている複数の個別電極３５と、複数の個別電極３５のうち前記一方の主面の周縁部に形成されている個別電極３５以外の個別電極の上にそれぞれ形成されている複数の接続ランド３６と、前記積層体の内部に形成されている複数の個別電極３５に対向している共通電極とを有する液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニットであって、前記積層体は、複数の接続ランド３６が囲まれている接続ランド形成領域８０の平坦度より、接続ランド形成領域８０の周囲の周縁領域の平坦度が大きい。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエーターの変位量を大きくし、液体噴射ヘッド間あるいは液体噴射
ヘッド内での各々の圧電アクチュエーターの振動特性のバラツキを少なくし、噴射される
液体の量が安定した液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】第１上電極８１のイリジウムのヤング率と比較して、第２上電極８２に含ま
れるタングステン、モリブデン、アルミニウム、マグネシウムのヤング率が小さいので、
第１上電極単層の構成と比較して、圧電体層７０の変形を妨げる力が弱まる。したがって
、圧電体層７０が変形しやすくなり、変形量の大きい圧電アクチュエーター３１０を得る
ことができる。 （もっと読む）

【課題】耐久性が向上した液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】ノズル孔２１にそれぞれ連通する圧力室１１が複数設けられた圧力室基板１０と、圧力室基板１０の上に順に設けられた第１導電層４０、圧電体層５０及び第２導電層６０を含む圧電素子１００と、を具備し、圧力室１１、第１導電層４０、圧電体層５０及び第２導電層６０がオーバーラップするオーバーラップ領域１４３を有し、第２導電層６０は、複数の圧力室１１とオーバーラップして連続して設けられ、第１導電層４０は、オーバーラップ領域１４３において、第１方向２１０を長手方向とし、第１方向２１０と直交する第２方向２２０を短手方向として、オーバーラップ領域１４３ごとに設けられ、オーバーラップ領域の少なくとも一方の第１方向２１０の端側に、端部領域１４１を有し、端部領域１４１は、第１方向２１０の端に向かうほど、第２方向２２０における幅が狭くなる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニッ
ト及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、該
流路形成基板１０の一方面側に設けられた第１電極６０、該第１電極６０上に当該第１電
極６０の端部の外側まで設けられた圧電体層７０、及び該圧電体層７０上に設けられた第
２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０が、鉛を含まないペ
ロブスカイト型酸化物からなり、前記第１電極６０の端部の外側の前記圧電体層７０と前
記流路形成基板１０の前記一方面側との間には、当該第１電極６０の前記圧電体層７０側
の表面と面一となる厚さで設けられて、酸化シリコンを主成分とする充填層７５が設けら
れている。 （もっと読む）

【課題】 細長い液体吐出ヘッド用基板を用いて高速の記録動作を行うと、液体吐出ヘッド用基板の中央部は端部より蓄熱されやすいためエネルギー発生素子ごとに温度ばらつきができ、記録画像の品位に影響を与える可能性がある。
【解決手段】 エネルギー発生素子の液体に接する側の面は、第一の領域と、第一の領域より保護膜の膜厚が厚い第二の領域とに分けられており、素子列の端部に位置する素子は、中央部に位置する素子より第一の領域の面積が大きくなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電特性が向上した圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１電極６０と、第１電極６０上に設けられた圧電体層７０と、圧電体層７０上に設けられたランタンニッケル酸化物からなる金属酸化膜２００と、金属酸化膜２００上に設けられた第２電極８０とを備え、金属酸化膜２００は、ペロブスカイト構造を有し、ニッケルに対するランタンのモル比を１．２〜１．５とする。 （もっと読む）

【課題】製造過程での加熱工程及び製品使用時での薄膜圧電素子を含む振動板の破壊、接合面のはがれに起因する動作不良を解消して安定した滴吐出特性が得られる圧電型アクチュエーターを提供する。
【解決手段】第２絶縁層１９に形成された凹溝部１９ａに積層された圧電体層２２には、前記流れ方向Ａにおいて圧電体層２２の層厚ｄ１より深い段差で段落ちした段差部２２ａがそれぞれ形成されて段分けされている。従って、段分けされた圧電体層２２は、段分けされていない圧電体層２２に比べて流れ方向Ａにおける撓み力は分散され、比較的小さな撓み量となり、圧電体層２２を含む積層振動板２０の剥離やクラック発生、破壊等を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

使用時にインクと接触する少なくとも１つの内部電極を有し、電極表面の領域は、前記電気泳動によって前記領域に析出された電気絶縁有機材料で覆われている、インクジェットプリントヘッド。
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【課題】圧電層と基板とを接着する際に、両者の間にエアが残留するのを防止すること。
【解決手段】圧電層４０〜４２の外周部の振動板３３と接着される領域に凸部を形成してから、圧電層４０〜４２を振動板３３の一表面に押圧して接着する。これにより、圧電層４０〜４２の外周部と振動板３３との間に隙間５９が形成されるため、圧電層４０〜４２と振動板３３とを接着したときに、両者の間に存在するエアを圧電層４０〜４２の外周部から確実に排出することができる。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射するノズル開口に連通する複数の圧力発生室１２が形成された流路形成基板と、流路形成基板の上方に第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０からなる複数の圧電素子３００とを具備し、圧電体層７０は、第１電極６０及び第２電極８０に挟まれた能動部３２０を有し、第１電極６０は、複数の能動部３２０に亘って形成されると共に、第１電極６０の能動部３２０に対応する第１領域６５の端部６６に、薄膜部６９の厚さ及び第１電極６０の能動部３２０間の第２領域６７の厚さよりも厚い厚膜部６８を設ける。 （もっと読む）