【課題】半導体装置製造技術を用いて、ジェット積層体を含むプリントヘッドを形成する小型形状の高解像度装置を提供する。
【解決手段】ブランケット金属層１４、ブランケット圧電素子層、及びブランケット導電層を、半導体ウエハ又は半導体ウエハの部分等の半導体基板１０を覆って形成することができる。圧電素子層及びブランケット導電層をパターン化して、複数のトランデューサ圧電素子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃと上部電極４０とをそれぞれ提供することができ、金属層により、複数のトランデューサに関する下部電極１４が形成される。その後、半導体基板をパターン化して、プリントヘッドのジェット積層体に関する本体プレートを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】記録媒体が傾いたとしても記録媒体上に形成された画像に白い筋状の印字むらが生じるのを防止でき、高画質な画像を得られるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に配列された複数のノズル列を有する。各ノズル列は、記録媒体に向けてインクを吐出する複数のノズルを含む。ノズルは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に一定のピッチで並んでいるとともに、ノズル列毎に記録媒体の搬送方向に互いに間隔を存して配置されている。各ノズル列の一端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う上流側に設けられている。各ノズル列の他端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う下流側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの外形形状を小型化し、かつ電極のパターニングを容易にする。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、液体を吐出するためのノズル３を有するノズルプレート４と、その上方に設置され、長手方向の深さが一定である溝５を構成する側壁６と、側壁６の壁面に形成され、側壁６を選択的に変形させる駆動電極７と、側壁６の上面ＵＳに設置され、溝５に液体を供給する供給口８と溝５から液体を排出する排出口９とを備えるカバープレート１０と、溝５と供給口８の間、及び溝５と排出口９の間の各連通部よりも外側の溝５を閉止する封止材とを備える。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップとマニホールド部材との接着面における電極とインクとの接触を防止し、電気信号の漏洩や電極の腐食による断線を低減できるインクジェットヘッド及びその製造方法の提供。
【解決手段】マニホールド部材20は、インクを供給する開口部211を有するマニホールド本体21と、マニホールド本体21の開口部211に設けられる取付け基板部22とで構成される。取付け基板部22は、ヘッドチップ10の後面10aのチャネル列と直交する方向の幅が該ヘッドチップ10の同方向の幅以下であると共に、開口部211と連通し、マニホールド本体21内のインクをヘッドチップ10の複数のチャネル11の入口112に供給する流路開口部221を有する。ヘッドチップ10の後面10aの引き出し電極14の他端は、取付け基板部22の外側にはみ出してヘッドチップ10の表面に露出しており、保護膜Mは、チャネル11の内面から少なくとも流路開口部221の内壁面22aにかけて連続して形成される。 （もっと読む）

【課題】安定性の高い前駆体溶液の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る前駆体溶液の製造方法は、酸とアルコールと金属錯体とを含む、複合酸化物の前駆体溶液の製造方法であって、溶媒に対して２０質量％以上の水を添加する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に形成され、第１のヤング率を有する圧電体層２０と、電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、第１のヤング率より大きい第２のヤング率を有する絶縁体層４０と、を含み、圧電体層２０は、第１電極１０と第２電極３０とに挟まれた部分２２を有し、挟まれた部分２２の外側に、絶縁体層４０が隣接している。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金からなる第１電極６０、第１電極６０上に設けられ少なくともビスマスを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０、及び圧電体層７０上に設けられる第２電極８０を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０の第１電極６０側界面には、ビスマス及び白金を含む酸化物からなる酸化物部６５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】リードタイムの短縮化を図りつつ耐久性の高い薄膜を形成することが可能な成膜方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板を加熱しつつ撥液材料を急加熱によって蒸発させ、前記基板に前記撥液材料の粒子が結合するように、前記基板に前記撥液材料の薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記薄膜形成工程と連続して行われ、前記基板に形成された前記薄膜を洗浄する洗浄工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】両端部分に位置するノズル孔における吐出速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な吐出速度で液体を吐出させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置、並びにヘッドチップの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の吐出チャネル１４５のうち、吐出チャネル１４５の矢印Ｌ１方向の両端に位置する吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１が、中央に位置する吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用に対しても印字品質の劣化が少ない液滴吐出ヘッド用のノズルプレートを製造する。
【解決手段】表面にフッ素を含む撥水層２ｄを有する液滴吐出ヘッド用のノズルプレート３の製造方法において、少なくとも、加水分解性基を有するフッ素含有有機シラン化合物を真空蒸着する工程と、水分子と酸を含む材料ガスを蒸着雰囲気中に導入する工程と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセス中のプラズマや大気中の水分による圧電体の劣化を防止し、圧電素子の変位量を増大させると同時に、個別電極等の配線の制約を無くすことで、高い信頼性（耐湿性）と高い吐出特性を維持しつつ、小型のインクジェットヘッドを実現して提供する。
【解決手段】個別電極配線７と下部電極４との間に、絶縁膜９と絶縁膜１０とが形成されており、駆動信号入力部２０を除く個別電極配線７の形成領域を含む領域に、絶縁膜１１と絶縁膜１２とが積層されており、個別液室１の形成領域の一部に、絶縁膜１０と絶縁膜１１または絶縁膜９〜１１が開口する領域があり、圧電素子１５の形成部を含む領域であって、絶縁膜１０と絶縁膜１１との開口領域に絶縁膜９と絶縁膜１２とが形成されているか、または絶縁膜９〜１１の開口領域に、絶縁膜１２が形成されているインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電アクチュエーター等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電アクチュエーターは、基面を有する振動板と、前記振動板の前記基面の上に形成された第１電極と、前記振動板の前記基面の上および前記第１電極の上に形成された圧電体層層と、前記圧電体層層の上において、第１の方向に延びるように形成された第２電極と、を含み、前記第２電極は、第１の幅を有する第１の部分と、前記第１の幅よりも小さい第２の幅を有する第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分とを接続する第３の部分と、を有し、前記第１電極は、前記基面の法線方向から見た平面図において前記第１電極の外周をなし、第１の方向と直交する第２の方向に延びる、第１の辺を有し、前記第２電極の前記第３の部分は、前記第１電極の前記第１の辺の上方に配置され、前記第３の部分の第３の幅は、前記第１の部分から前記第２の部分へ向かうほど狭くなる。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＯ₂被膜とフッ素系撥水被膜との密着性を高めて耐ワイピング性能を向上できるノズルプレート、このノズルプレートを有する液滴吐出ヘッド、及び、この液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル板４３は、ノズルプレート１２１と、被膜積層体１２５と、を有している。この被膜積層体１２５は、ＳｉＯ₂薄膜層１２２とフッ素系撥水層１２３とを順次重ねて形成されており、さらに、当該被膜積層体１２５に内包されるとともにＳｉＯ₂薄膜層１２２とフッ素系撥水層１２３とにまたがるように配置された多数のＳｉＯ₂粒子１２４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】より高い放熱性を有するインクジェット記録ヘッド、および該インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、は、インクに熱を加えて該インクが吐出するための圧力をインクに付与するインク吐出部２と、インク吐出部２を第一面３ａに備え、第一面３ａとは反対側の第二面３ｂに少なくとも一つの凹部９を有する基板３と、インク吐出部２から基板３へ伝えられた熱を外部へ放出する放熱部材８であって、凹部９の形状に合わせて形成された凸部１０を有し、凸部１０が凹部９に埋め込まれた状態で第二面３ｂに接合された放熱部材８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく、クラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及びその製造
方法、液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電体層７０は、ＣＳＤ法（Chemical Solution Deposition）により形成
され、Ａサイトにカリウム及びナトリウムを含み、Ｂサイトにニオブを含むペロブスカイ
ト構造の複合酸化物を含む圧電材料からなる第１圧電体層７３及び第２圧電体層７９と、
第１圧電体層７３と第２圧電体層７９との間に設けられ、気相成長法により形成された中
間層７６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】保護膜の中抜き部をエッチングする際に、上部電極のオーバーエッチングが減少して断線の危険性が少なくなり、上部電極の薄膜化によりコストの低減した圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、第１電極２０を形成する工程と、第１電極２０の上方に圧電体層３０を形成する工程と、圧電体層３０の上方に第２電極４０を形成する工程と、第２電極４０の上方に第３電極５０を形成する工程と、少なくとも圧電体層３０の側面を覆う保護膜６０を形成する工程と、第３電極５０をストッパー層として保護膜６０を第３電極５０が露出するまでエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧力室を高密度および高精度に配置するとともに、高粘度のインクを吐出することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の側面から第２の側面まで連通し、第１の側面側の開口から液体を吐出する複数の圧力室３０７が第１の側面の長手方向に間隔をとって配置された平板状の圧電部材を形成する工程と、複数の圧力室３０７の内壁面に第１の電極３０９を形成する工程と、平板状の圧電部材の、一対の主面の一方に、段差６０９を形成する工程と、段差６０９を形成した圧電部材における圧力室３０７同士の間を、第１の側面から段差６０９まで切断することによって、互いに独立した複数の圧力室３０７が段差６０９から延びた櫛状の圧電部材を形成する工程と、複数の櫛状の圧電部材を互いに積層し、第２の領域で接合する工程と、第２の領域で接合した複数の櫛状の圧電部材の外表面に第２の電極３１０を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッド１から吐出された液滴やその飛沫がクーロン斥力により飛散し、記録品質が低下することを防止する。
【解決手段】液体吐出ヘッド１を、吐出用の液体を充填するチャンネル２と、充填された液体に圧力を加える圧電素子３と、チャンネル２に連通しその液体を吐出するノズル４と、ノズル４の近傍に設置され、液体に接触する内部電極５と、この内部電極５の電圧を設定する電圧設定部６とにより構成し、被記録媒体の帯電状況に応じて電圧設定部６が内部電極５に対して電圧及び極性を設定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】接着剤によって圧電素子にノズルプレートを接着したとき、この接着剤が圧力室内に、想定以上にはみ出さないインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルを有するノズルプレートと、ノズルに対応する複数の圧力室と、この圧力室に隣接して設けられるとともに圧力室を加圧してノズルから液を吐出させる駆動素子と成る側壁と、を有する圧電素子と、圧電素子が接着される基板と、圧電素子を囲むように基板に載置される枠体と、を具備し、圧電素子の一端面側には溝部が形成され、ノズルプレートは、側壁の上端部に塗布するとともに溝部に充填させた接着剤で圧電素子に接着されたインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】印刷品位の低下を抑制することが可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】インク圧力室を形成する圧電部材と、前記圧電部材の側面に配置された電極と、前記圧電部材に接着されるとともに前記インク圧力室に連通するノズル穴を有するノズルプレートと、前記ノズルプレートの表面、前記圧電部材と前記ノズルプレートとの接着部、及び、前記電極を覆う保護膜と、を備え、前記ノズルプレートの上面における前記ノズル穴の周囲においては、前記保護膜の少なくとも一部が欠落していることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）