ヘッドチップ、ヘッドチップの製造方法、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置
【課題】両端部分に位置するノズル孔における吐出速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な吐出速度で液体を吐出させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置、並びにヘッドチップの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の吐出チャネル１４５のうち、吐出チャネル１４５の矢印Ｌ１方向の両端に位置する吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１が、中央に位置する吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成されていることを特徴とする。
【解決手段】複数の吐出チャネル１４５のうち、吐出チャネル１４５の矢印Ｌ１方向の両端に位置する吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１が、中央に位置する吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成されていることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル孔より液体を吐出して被記録媒体に画像や文字を記録するヘッドチップ、このヘッドチップを有する液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置、並びにヘッドチップの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出して画像や文字等の記録を行うインクジェット方式の記録装置（例えば、プリンタやファックス等）が提供されている。この記録装置は、インクタンクからインク供給管を介してインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）にインクを供給し、インクジェットヘッドに備えられたヘッドチップのノズル孔からインクを被記録媒体に吐出することで記録を行っている。
【０００３】
上述したヘッドチップは、アクチュエータプレートとカバープレートとを貼り合せるとともに、これらの端面にノズルプレートを貼着させた構成からなる。
アクチュエータプレートは、圧電材料で形成されたプレートであり、その表面には、側壁でそれぞれ区切られた複数のチャネルが並列に形成されている。チャネルは、インクが流れ込んで溜まる断面視凹形状の溝であり、チャネルの延在方向一端は、アクチュエータプレートの端面において開放されている。チャネルの両側の側壁には、それぞれ延在方向に沿って延びた板状の駆動電極が斜方蒸着等によって形成されている。これら駆動電極には、制御手段によって駆動電圧が印加される。カバープレートは、チャネルを覆うプレートであり、アクチュエータプレートの表面（チャネルが形成された面）に接着材を介して貼着されている。また、このカバープレートには、チャネルにインクを導入させる導入口が形成され、インクジェットヘッドに供給されたインクは導入口を通ってチャネルに供給される。ノズルプレートは、チャネルに連通するノズル孔が形成されたプレートであり、貼り合わされたアクチュエータプレートとカバープレートとの端面に接着材を介して貼着されている。
【０００４】
上述したヘッドチップでは、アクチュエータプレートに対してカバープレートやノズルプレートを貼着させる接着材の量が少ないと、接着不良を起してインク漏れが生じる虞があるため、接着材を多少多めに塗布する必要がある。このため、接着材を介してアクチュエータプレートにカバープレートやノズルプレートを貼り付けたとき、余剰な接着材がはみ出てチャネル内に流れ込み、この余剰接着材によってチャネルの容量が小さくなる。
【０００５】
チャネルへの余剰接着材の流れ込みの対策として、チャネルの開口縁に切り欠きを形成したヘッドチップが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このヘッドチップでは、アクチュエータプレートとカバープレートとを貼り合せたときにはみ出た余剰接着材が切り欠き内に保持されるため、余剰接着材によってチャネルの容量が小さくなるのを防止できるとされている。
【０００６】
ここで、通常のアクチュエータプレートは、その両端部分（チャネルの配列方向の両端部分）の接着面が中央部分の接着面よりも広くなっているため、両端に近いチャネルほど余剰な接着材が流れ込み易い。
しかしながら、上述した特許文献１記載のヘッドチップでは、複数のチャネルが同一形状を成しているため、余剰接着材によって両端部分のチャネルの容量が中央部分のチャネルに比べて小さくなり、両端部分のチャネルによるインク吐出の吐出速度が遅くなるという問題が生じる。また、上述したヘッドチップでは、チャネルの開口縁に切り欠きを形成しているため、隣り合うチャネルの間に配置された側壁における上面の幅が狭くなり、カバープレートに対して接着される面積が小さくなる。その結果、アクチュエータプレートとカバープレートとの接着性が低下する。また、側壁の上面は応力が集中する箇所であるため、この側壁上面が小さくなると、ヘッドチップの耐久性が低下する。
また、アクチュエータプレートのチャネルを形成する際に、上述した切り欠きを形成しなければならず、製造工程が増加し、生産性が低下するという問題がある。さらに、アクチュエータプレートにノズルプレートを貼着させたときの余剰接着材がチャネルに流れ込み、チャネルの容量が小さくなるという問題がある。
【０００７】
そこで、例えば特許文献２では、複数のチャネルのうち、チャネルの配列方向の両端側に位置するチャネルの容積（幅または深さ）を、配列方向の中央に位置するチャネルの容積よりも大きく形成する構成が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−２３００４５号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４３１１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述したインクジェットヘッドにおいて、インクを吐出するには、まずインクを吐出するチャネルを形成する２つの側壁の駆動電極に対して駆動電圧を印加し、各側壁を、インクを吐出させるチャネルに隣接しているチャネル側へ突出するように変形させる。具体的には、インクを吐出するチャネルを形成する側壁を、高さ方向略半分の位置で屈曲させ、チャネルがあたかも膨らむように変形させる。
これにより、チャネルの容積が増大し、インクが導入口からチャネルに誘導される。その後、駆動電極に印加した駆動電圧をゼロにすることで、側壁の変形が元に戻り、一旦増大したチャネルの容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出するチャネルの内部の圧力が増加し、インクが加圧され、インクがチャネル内から吐出される。
【００１０】
この場合、側壁を高さ方向略半分の位置で効率的に屈曲させるためには、側壁の上端から高さ方向の半分程度の位置まで駆動電極を形成することが好ましい。
しかしながら、上述した特許文献２に示す構成のうち、両端におけるチャネルの深さを深くすると、深くしたチャネルを形成する側壁だけが他の側壁に比べて高くなる。この場合、駆動電極は上述した斜方蒸着等によって各側壁に対して一括して形成するため、一部分（深くしたチャネルを形成する側壁の駆動電極）だけ長く形成することが難しい。したがって、全ての側壁において高さ方向略半分の位置まで駆動電極を形成することが難しい。
そのため、深くしたチャネルを形成する側壁では、側壁の高さに対して駆動電極が短くなる。その結果、側壁を効率的に屈曲させることができず、駆動効率が低下するという課題がある。
【００１１】
また、チャネルの幅を広くした場合には、側壁における上面の幅が狭くなり、上述したようにアクチュエータプレートとカバープレートとの接着性が低下する。
【００１２】
本発明は、上述した従来の問題が考慮されたものであり、両端部分に位置するノズル孔における吐出速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な吐出速度で液体を吐出させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置、並びにヘッドチップの製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係るヘッドチップは、液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップであって、前記複数のチャネルのうち、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さよりも長く形成されていることを特徴としている。
【００１４】
この構成によれば、両端のチャネルの延在方向における長さ（以下、チャネル長）を、中央のチャネルのチャネル長よりも長く形成することで、両端のチャネルの容積を中央のチャネルよりも大きくできる。この場合、上述したように接着時において、両端のチャネル内には中央のチャネル内に比べて大量の余剰な接着剤が流れ込むため、両チャネル間での容積が略均等になる。すなわち、両端のチャネルを中央のチャネルに比べて予め大きく形成しておくことで、余剰接着材の流れ込みによる各チャネル間での容積のバラツキを抑制できる。その結果、両端のチャネルでの液体吐出速度の遅れを抑制して、各噴射孔から噴射される液体の噴射速度のバラツキを抑えることができる。よって、複数の噴射孔から均一な噴射速度で液体を噴射させることができる。
特に、チャネルの深さ方向において、従来のように各チャネル間での深さを変えることがないので、各チャネルを形成する側壁の側面に、同一工程で同一の高さ分（略半分の位置）だけ駆動電極を一括して形成することができる。これにより、全てのチャネルを形成する側壁を効率的に屈曲させることができ、駆動効率を維持できる。
また、従来のように、側壁の幅が狭くなることもないので、アクチュエータプレートとカバープレートとの接着性も維持できる。
【００１５】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端の前記チャネルのみが、他の前記チャネルよりも前記延在方向における長さが長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、最端のチャネルについてだけ他のチャネルと異なる加工を施すので、アクチュエータプレートを容易に作成できる。
【００１６】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端から複数の前記チャネルが、他の前記チャネルよりも前記延在方向における長さが長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、複数のチャネルの容積がより均一となり、複数のチャネルによる液体噴射速度のバラツキを低減できる。
【００１７】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成されていることを特徴としている。
両端に近いチャネルほど余剰接着材が流れ込み易いが、この構成によれば、チャネルの容積が中央から両端に向かって漸次増大することで、余剰接着材の流れ込みが多いチャネルほどその容積が大きくなり、複数のチャネルの容量がより均一となる。
【００１８】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さに対して２％以上長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、余剰な接着剤が流れ込んだ後の、各チャネル間の容積差を確実に縮小できるため、複数のチャネルによる液体噴射速度のバラツキを低減できる。
【００１９】
また、本発明に係るヘッドチップは、液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップであって、前記複数のチャネルのうち、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における前記カバープレートとの接着領域の長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における前記カバープレートとの接着領域の長さよりも長く形成されていることを特徴としている。
【００２０】
この構成によれば、両端のチャネルの延在方向におけるカバープレートとの接着領域の長さ（以下、ポンプ長という）を、中央のチャネルのポンプ長よりも長く形成することで、両端のチャネルの駆動領域を長くできる。すなわち、両端のチャネルのポンプ長を中央のチャネルに比べて予め長くしておくことで、余剰接着材の流れ込みによる各チャネル間での駆動領域のバラツキを抑制できる。これにより、チャネルの容積を変えることなく、剰接着材の流れ込みによる両端のチャネルでの液体噴射速度の遅れを抑制できる。その結果、各噴射孔から噴射される液体の噴射速度のバラツキを抑え、複数の噴射孔から均一な噴射速度で液体を噴射させることができる。
特に、チャネルの深さ方向において、従来のように各チャネル間での深さを変えることがないので、各チャネルを形成する側壁の側面に、同一工程で同一の高さ分（略半分の位置）だけ駆動電極を一括して形成することができる。これにより、全てのチャネルを形成する側壁を効率的に屈曲させることができ、駆動効率を維持できる。
また、従来のように、側壁の幅が狭くなることもないので、アクチュエータプレートとカバープレートとの接着性も維持できる。
【００２１】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端の前記チャネルのみが、他の前記チャネルよりも前記接着領域が長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、最端のチャネルについてだけ他のチャネルと異なる加工を施すので、アクチュエータプレートを容易に作成できる。
【００２２】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端から複数の前記チャネルが、他の前記チャネルよりも前記接着領域の長さが長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、複数のチャネル間での液体噴射速度のバラツキを確実に低減できる。
【００２３】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルの前記接着領域の長さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成されていることを特徴としている。
両端に近いチャネルほど余剰接着材が流れ込み易いが、この構成によれば、チャネルのポンプ長を中央から両端に向かって漸次増大させることで、余剰接着材の流れ込みが多いチャネルほどその駆動領域が長くなる。これにより、複数のチャネル間での液体噴射速度のバラツキを確実に低減できる。
【００２４】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記接着領域の長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記接着領域の長さに対して２％以上長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、余剰な接着剤が流れ込んだ後において、各チャネル間での液体噴射速度のバラツキを低減できる。
【００２５】
また、本発明に係るヘッドチップの製造方法は、液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップの製造方法であって、円板状のダイスカッターを用いて前記アクチュエータプレートに前記チャネルを形成するチャネル形成工程を有し、前記チャネル形成工程では、前記複数のチャネルのうち、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルを、第１ダイスカッターを用いて形成する第１ダイシング工程と、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルを、前記第１ダイスカッターよりも外径が大きい第２ダイスカッターを用いて形成する第２ダイシング工程と、を有していることを特徴としている。
この構成によれば、第１ダイスカッター及び第２ダイスカッターによりチャネルを形成する際に、それぞれ同一の走行量に設定した場合であっても、チャネル長の長さを変更できる。すなわち、ダイシングのプログラムの数値等を変更することなく、ダイスカッターの外径を変更するだけで、簡単に両端のチャネルにおけるチャネル長を長くできる。
【００２６】
また、本発明に係る液体噴射ヘッドは、上記本発明のヘッドチップと、前記液体を前記導入口に供給する供給手段と、前記駆動電極に前記駆動電圧を印加する制御手段と、を備えることを特徴としている。
このような特徴により、供給手段によってヘッドチップの導入口に液体が供給され、制御手段によって駆動電極に駆動電圧を印加することでヘッドチップ内の液体がノズル孔から噴射される。このとき、上述したヘッドチップによって余剰接着材の流れ込みによる両端のチャネルでの液体噴射速度の遅れが抑制されるので、中央のノズル孔と同じ噴射速度で両端のノズル孔から液体を噴射させることができる。
【００２７】
また、本発明に係る液体噴射装置は、被記録媒体を予め決められた搬送方向に搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された前記被記録媒体の表面に対して前記ノズル孔が対向する向きに配置された上記本発明の液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、を備えることを特徴としている。
このような特徴により、搬送手段によって被記録媒体を搬送するとともに、移動手段によって液体噴射ヘッドを往復移動させながらノズル孔から被記録媒体に向けて液体を噴射させることで被記録媒体に画像や文字等が記録される。このとき、中央のノズル孔と同じ噴射速度で両端のノズル孔から液体が噴射されるので、両端のノズル孔から被記録媒体の所定位置に正確に液体を当てることができ、高品質の記録を実現することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置、並びにヘッドチップの製造方法によれば、両端部分に位置するノズル孔における噴射速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な噴射速度で液体を噴射させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】インクジェットプリンタの斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】ヘッドチップの斜視図である。
【図４】ヘッドチップの分解斜視図である。
【図５】ヘッドチップの分解斜視図である。
【図６】図３のＡ−Ａ線に沿うヘッドチップの断面図である。
【図７】（ａ）は図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図８】アクチュエータ基板の平面図である。
【図９】（ａ）は図８のＥ−Ｅ線に沿う断面図、（ｂ）は図８のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図１０】アクチュエータ基板とカバー基板とを接合させた接合体を、カバー基板側から見た平面図である。
【図１１】アクチュエータプレートの他の構成を示す平面図である。
【図１２】アクチュエータプレートの他の構成を示す平面図である。
【図１３】第２実施形態におけるヘッドチップの断面図であり、（ａ）は図６のＢ−Ｂ線に相当する断面図、（ｂ）はＣ−Ｃ線に相当する断面図である。
【図１４】第２実施形態におけるヘッドチップの製造方法を説明するための図であり、アクチュエータ基板とカバー基板とを接合させた接合体を、カバー基板側から見た平面図である。
【図１５】図６相当する図であり、第３実施形態におけるヘッドチップの断面図である。
【図１６】ヘッドチップの他の構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態では、液体噴射装置の一例として、インク（液体）Ｗを利用して記録を行うインクジェットプリンタ１を例に挙げて説明する。
【００３１】
（第１実施形態）
（インクジェットプリンタ）
まず、第１実施形態について説明する。図１は、インクジェットプリンタの斜視図である。
本実施形態のインクジェットプリンタ１は、図１に示すように、インクＷを吐出する複数のインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）２と、記録紙（被記録媒体）Ｐを予め決められた矢印Ｌ１方向（搬送方向）に搬送する搬送手段３と、前記搬送方向に直交する矢印Ｌ２方向（走査方向）に複数のインクジェットヘッド２を往復移動させる移動手段４と、を備えている。
【００３２】
つまり、このインクジェットプリンタ１は、記録紙Ｐを矢印Ｌ１方向に搬送しながら、矢印Ｌ１方向に直交する矢印Ｌ２方向にインクジェットヘッド２を移動させて、記録紙Ｐに文字や画像を記録する、いわゆるシャトルタイプのプリンタである。
なお、本実施形態では、それぞれ異なる色（例えば、ブラック、シアン、マゼンタ及びイエロー）のインクＷを吐出する４つのインクジェットヘッド２を備えている場合を例にしている。なお、これら４つのインクジェットヘッド２は、同一構成とされている。
【００３３】
これら４つのインクジェットヘッド２は、略直方体形状の筐体５内に組み込まれたキャリッジ６に搭載されている。
このキャリッジ６は、複数のインクジェットヘッド２を載置する平板状の基台６ａと、この基台６ａから垂直に立ち上げられた壁部６ｂと、で構成されている。そして、キャリッジ６は、矢印Ｌ２方向に沿って配置されたガイドレール７によって往復移動可能に支持されている。また、キャリッジ６は、ガイドレール７に支持された状態で一対のプーリ８に巻回された搬送ベルト９に連結されている。一対のプーリ８のうち、一方のプーリ８はモータ１０の出力軸に連結され、モータ１０からの回転駆動力を受けて回転するようになっている。これにより、キャリッジ６は、矢印Ｌ２方向に向けて往復移動できるようになっている。
すなわち、これら一対のガイドレール７、一対のプーリ８、搬送ベルト９及びモータ１０は、上述した移動手段４として機能する。
【００３４】
また、筐体５には、一対のガイドレール７と同じ矢印Ｌ２方向に沿って一対の搬入ローラ１５と、一対の搬送ローラ１６と、が間隔を空けて並設されている。一対の搬入ローラ１５は、筐体５の背面側に設けられ、一対の搬送ローラ１６は筐体５の前面側に設けられている。そして、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、図示しないモータによって記録紙Ｐを間に挟んだ状態で回転するようになっている。これにより、筐体５の背面側から前面側に向かう矢印Ｌ１方向に沿って記録紙Ｐを搬送することができる。
すなわち、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、上述した搬送手段３として機能する。
【００３５】
図２は、インクジェットヘッドの斜視図である。
図２に示すように、各インクジェットヘッド２は、図１に示すキャリッジ６の基台６ａに図示しないネジを介して取り付けられる矩形状の固定板２０と、この固定板２０の上面に固定されたヘッドチップ２１と、このヘッドチップ２１の後述する共通インク室１７にインクＷを供給する供給手段２２と、後述する駆動電極３７に駆動電圧を印加する制御手段２３と、を主に備えている。これら各インクジェットヘッド２は、搬送手段３によって搬送された記録紙Ｐの表面に対して後述するノズル孔３３ａが対向する向きに配置されている。
【００３６】
図３はヘッドチップの斜視図であり、図４はヘッドチップの分解斜視図である。
図３，図４に示すように、ヘッドチップ２１は、アクチュエータプレート３０、カバープレート３１、支持プレート３２及びノズルプレート３３で主に構成されている。そして、アクチュエータプレート３０に図示せぬ接着材を介してカバープレート３１が重ね合わされているとともに、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の端面に図示せぬ接着材を介してノズルプレート３３が貼着された構成からなる。
【００３７】
図５はヘッドチップの分解斜視図であり、図６は図３のＡ−Ａ線に沿うヘッドチップの断面図である。
アクチュエータプレート３０は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートであり、その分極方向が厚さ方向（矢印Ｌ２方向）に沿って一方向に設定されている。このアクチュエータプレート３０のカバープレート３１側の面（表面）には、図３〜図６に示すように、矢印Ｌ３方向（延在方向）に延びたチャネル３５が矢印Ｌ１方向（配列方向）に一定間隔をあけて並列に複数形成されている。すなわち、複数のチャネル３５は、側壁３６によってそれぞれ区分けされるとともに、カバープレート３１側の面に開口部５０を有する断面凹形状の溝である。また、チャネル３５は、カバープレート３１により閉塞されてインクＷが流入しないように構成されたダミーチャネル４６と、カバープレート３１の後述するスリット（導入孔）１９に連通してインクＷが充填される吐出チャネル４５と、が矢印Ｌ１方向に沿って交互に形成されている。
【００３８】
各チャネル３５のうち、ダミーチャネル４６は、矢印Ｌ３方向に沿って深さが一様に形成され、アクチュエータプレート３０の両端側で開口している。
【００３９】
また、各チャネル３５のうち、吐出チャネル４５は、矢印Ｌ３方向において、矩形チャネル５１と、円弧チャネル５２と、を有している。
矩形チャネル５１は、一端側（先端側）がアクチュエータプレート３０の先端面（ノズルプレート３３側の端面）において開口している。一方で、矩形チャネル５１の他端部（基端部）は、矢印Ｌ３方向に沿ってアクチュエータプレート３０の途中まで延びている。
円弧チャネル５２は、一端（先端）が矩形チャネル５１の内側に向けて開口し、他端（基端）は後述する浅溝部５３の内側に向けて開口している。円弧チャネル５２の底面は、基端側（ノズルプレート３３とは反対側）に向かうにしたがって漸次深さが浅くなるように形成されている。具体的に、円弧チャネル５２の底面は、後述する製造工程で用いるダイスカッター２１５（図９参照）の外径に倣った曲率半径を有する円弧状に形成されている。
【００４０】
円弧チャネル５２の基端側には、矢印Ｌ２方向において矩形チャネル５１よりも浅く形成された浅溝部５３が形成されている。浅溝部５３は、矢印Ｌ３方向に沿って円弧チャネル５２の基端からアクチュエータプレート３０の基端面（ノズルプレート３３側反対側の端面）まで延びている。この浅溝部５３は矩形チャネル５１の延長線上に形成され、その一端（先端）は円弧チャネル５２の内側に向けて開口している。浅溝部５３の他端（基端）はアクチュエータプレート３０の基端面において開口し、図示しない封止手段によって封止されている。
【００４１】
図７における（ａ）は図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
図７に示すように、複数の吐出チャネル４５のうち、チャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の両端に位置する吐出チャネル４５ａの矢印Ｌ３方向における長さ、具体的には矩形チャネル５１及び円弧チャネル５２を合わせた長さ（以下、チャネル長Ｋ１という）が、矢印Ｌ１方向中央に位置する吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長くなっている。すなわち、両端の吐出チャネル４５ａの容積は、中央の吐出チャネル４５ｂの容積よりも大きくなっている。具体的に、矢印Ｌ１方向両側の最端の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１のみが、他の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長くなっており、矢印Ｌ１方向両側の最端の吐出チャネル４５ａの容積のみが他の吐出チャネル４５ｂの容積よりも大きくなっている。
【００４２】
この場合、アクチュエータプレート３０にカバープレート３１やノズルプレート３３を貼着させたときに、最端の吐出チャネル４５ａに流れ込む余剰な接着材の流入量と、他の吐出チャネル４５ｂに流れ込む余剰な接着材の流入量と、の差を算出し、その差の分だけ容積が拡大するように、最端の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１を、他の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長くしている。例えば両側（最端）の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１は、中央（他）の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２と比べて２％〜１０％程度長く形成されている。なお、矢印Ｌ１方向における各チャネル３５（吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６）の幅、及び矢印Ｌ２方向における深さは、各チャネル３５間でそれぞれ同一に形成されている。
【００４３】
また、複数のチャネル３５の側壁３６には、駆動電極３７が形成されている。駆動電極３７は、矢印Ｌ３方向において、側壁３６の全域に亘って形成されている。また、駆動電極３７は、矢印Ｌ２方向において、側壁３６におけるカバープレート３１側の表面から中央部に亘って、側壁３６の略半分程度の領域に形成されている。また、浅溝部５３の底面には接続電極３９が形成されている、そして、上述した駆動電極３７と、後述するフレキシブル基板２７の引き出し電極２７ａと、が接続電極３９を介して電気的に接続されるようになっている。
駆動電極３７は、駆動電圧が印加されたときに、圧電厚み滑り効果により側壁３６を変形させることでチャネル３５内の圧力を高め、充填されたインクＷを吐出チャネル４５内から吐出させる働きをしている。
【００４４】
なお、駆動電極３７と引き出し電極２７ａとの接続について、吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６の両方を対象として、詳細に説明する。
まず、電気的な接続状態は、吐出チャネル４５がＧＮＤ電位（接地電位）に接続され、ダミーチャネル４６に駆動電圧が供給される。吐出チャネル４５をＧＮＤ電位にしたのは、導電性インクを使用した場合に、スリット１９を介して隣り合う吐出チャネル４５の駆動電極３７同士が導通してしまうことを防止するためである。駆動電極３７同士が導通してしまうと、駆動電極３７が電気分解を起こし腐食してしまう問題や、個別に駆動することができなくなる問題がある。
【００４５】
本実施形態では、吐出チャネル４５に関して、図５に示すように、個別に引き出し電極２７ａを形成することが可能である。また、全ての吐出チャネル４５がＧＮＤ電位であるため、フレキシブル基板２７上で、全ての吐出チャネル４５の接続電極３９に対応する引き出し電極２７ａを共通化し、全ての接続電極３９を当該引き出し電極２７ａと接触させ、ＧＮＤ電位とすることも可能である。もしくは、アクチュエータプレート３０の表面（Ｌ２方向の面）で、非導電材を介してダミーチャネル４６の駆動電極３７を跨いで、吐出チャネル４５の接続電極３９同士を共通化し、当該接続電極３９の一部を引き出し電極２７ａと接触させ、ＧＮＤ電位とすることも可能である。
【００４６】
また、ダミーチャネル４６の駆動電極３７は、吐出チャネル４５の駆動電極３７と側壁３６を介して対向する駆動電極３７が二枚一組となっている。この二枚の駆動電極３７に同じ駆動電圧を同時に供給することによって、二枚の側壁３６を同時に変形させている。そのため、図５に示すように、個別に同じ駆動電圧を同時に与えることも可能である。また、フレキシブル基板２７上でこれら二枚の駆動電極３７に対応する引き出し電極２７ａを共通化することも可能である。もしくは、アクチュエータプレート３０の表面（Ｌ２方向の面）で、吐出チャネル４５の駆動電極３７または接続電極３９を跨いで、ダミーチャネル４６の接続電極３９同士を共通化し、当該接続電極３９の一部を引き出し電極２７ａと接触させ、駆動電圧が供給されることも可能である。
【００４７】
なお、図５に図示していないが、ダミーチャネル４６は、矢印Ｌ３方向に沿って深さが一様に形成され、アクチュエータプレート３０の両端側で開口しているため、駆動電極３７と引き出し電極２７ａとの接続が困難である。このため、駆動電極３７をアクチュエータプレート３０の表面（Ｌ２方向の面）まで形成し、その上から被さるように引き出し電極２７ａを配置することが可能である。この場合、アクチュエータプレート３０の表面まで形成された駆動電極３７が接続電極３９としての役割を担う。これによって、駆動電極３７と引き出し電極２７ａとの電気的な接続を高精度に実施することができる。また、矢印Ｌ１方向の両側最端のダミーチャネル４６における外側の壁に形成された駆動電極３７には、電圧が印加されないため、この駆動電極３７に対応する引き出し電極２７ａは形成しても、形成しなくても構わない。
さらに、最端のダミーチャネル４６の駆動電極３７は、吐出チャネル４５と隣り合う駆動電極３７のみ電気的に接続すればよい。つまり、図６に示す全てのチャネル３５のうち、最左の駆動電極３７は電気的に接続されていない。これは、側壁３６を駆動するために使用されないためである。同様に、図６に図示しないが、全てのチャネル３５のうち、最右の駆動電極３７も電気的に接続されていない。
【００４８】
図３，図４に示すように、カバープレート３１は、例えばセラミックス等で形成されたプレートである。カバープレート３１は、各浅溝部５３の基端側、及びダミーチャネル４６の基端側を露出させた状態で、アクチュエータプレート３０の表面に接着材を介して重ね合わせて貼着されている。また、カバープレート３１は、アクチュエータプレート３０とは反対側の表面に形成された凹状の共通インク室１７と、共通インク室１７及び吐出チャネル４５をそれぞれ連通させる複数のスリット（導入孔）１９と、を有している。
【００４９】
共通インク室１７は、チャネル３５の基端側において、チャネル３５の延在方向（矢印Ｌ３方向）に直交するように延在する矢印Ｌ１方向に長い長方形の開口である。共通インク室１７には、供給手段２２から供給されるインクＷが貯留される。
スリット１９は、例えば矢印Ｌ３方向を長軸とする楕円形状の孔であり、共通インク室１７から各吐出チャネル４５に向けてインクＷが流通するように構成されている。
【００５０】
そして、アクチュエータプレート３０にカバープレート３１が接着された状態では、チャネル３５の開口部５０がカバープレート３１によって閉塞される。これにより、独立した複数のチャネル３５（吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６）が形成されている。
【００５１】
支持プレート３２は、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持しているとともに、ノズルプレート３３を支持している。支持プレート３２には、矢印Ｌ１方向に延在する嵌合孔３２ａが形成されている。そして、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１が、支持プレート３２の嵌合孔３２ａ内に嵌め込まれた状態で支持プレート３２に支持されている。この際、支持プレート３２の先端側の表面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と面一となっている。
【００５２】
ノズルプレート３３は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状のプレートである。ノズルプレート３３は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持プレート３２の先端側の表面と、に接着材を介して貼着されている。つまり、ノズルプレート３３の一方の面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持プレート３２の先端側の表面と、に接着される接着面となっている。一方で、ノズルプレート３３の他方の面は、図１に示す記録紙Ｐに対向する対向面となっている。なお、ノズルプレート３３の対向面には、インクＷの付着等を防止するための撥水性を有する撥水膜がコーティングされている。
【００５３】
また、このノズルプレート３３には、矢印Ｌ１方向に間隔を空けて複数のノズル孔３３ａが形成されている。これら複数のノズル孔３３ａは、少なくとも吐出チャネル４５に対向する位置にそれぞれ形成されており、この吐出チャネル４５内に連通するようになっている。具体的に説明すると、図６に示すように、ノズル孔３３ａの中心は、吐出チャネル４５の中心に配置され、吐出チャネル４５のピッチと同間隔で形成されている。
また、各ノズル孔３３ａは、外形輪郭線が円形を描くように円状に形成されている。しかも、ノズル孔３３ａは、接着面側から対向面側に向かうに従い漸次縮径されたテーパ孔であり、接着面側の入口径（ノズル孔３３ａの外形輪郭線の直径）が対向面側の出口径よりも大きくなっている。なお、ノズル孔３３ａは、エキシマレーザ装置等を用いて形成されている。
さらに、図６において、ノズル孔３３ａは各吐出チャネル４５だけでなく、ダミーチャネル４６にも設けられるように示した。もちろん、ノズル孔３３ａは、少なくとも吐出チャネル４５に設けられていればよく、ダミーチャネル４６に設けられていなくてもよい。
【００５４】
上述した構成のヘッドチップ２１は、図２に示すように、上述したように固定板２０の上面に固定されている。この固定板２０の上面には、アルミニウム等で形成された矩形状のベースプレート２４が垂直に立ち上がった状態で固定されているとともに、ヘッドチップ２１の共通インク室１７にインクＷを供給する流路部材２２ａが固定されている。この流路部材２２ａの上方には、インクＷを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器（ダンパ）２２ｂがベースプレート２４に支持された状態で配置されている。この圧力緩衝器２２ｂと流路部材２２ａとは、インク連結管２２ｃを介して連結されている。また、圧力緩衝器２２ｂの上部には、インクＷが供給されてくる供給チューブ４０が取り付けられている。
このように構成されているので、供給チューブ４０を介して圧力緩衝器２２ｂにインクＷが供給されると、このインクＷは圧力緩衝器２２ｂ内の貯留室に一旦貯留される。そして、圧力緩衝器２２ｂは、貯留されたインクＷのうち、所定量のインクＷをインク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１の共通インク室１７に供給するようになっている。
すなわち、流路部材２２ａ、圧力緩衝器２２ｂ及びインク連結管２２ｃは、上述した供給手段２２として機能する。
【００５５】
なお、供給チューブ４０は、図１に示すように、筐体５内に組み込まれたインクタンク４１に連結されている。これにより、インクタンク４１に貯留されている色の異なるインクＷが、４つのインクジェットヘッド２にそれぞれ供給されるようになっている。
【００５６】
また、図２に示すように、ベースプレート２４には、ヘッドチップ２１を駆動するための集積回路等の駆動回路２５が搭載されたＩＣ基板２６が固定されている。この駆動回路２５とヘッドチップ２１の駆動電極３７とは、フレキシブル基板２７を介して電気的に接続されている。
フレキシブル基板２７は、図５に示すように、カバープレート３１の基端側に露出された浅溝部５３の基端側部分に嵌合される複数の引き出し電極２７ａがプリント配線されている。引き出し電極２７ａは、接続電極３９（上述したアクチュエータプレート３０の表面まで形成された場合のダミーチャネル４６の駆動電極３７を含む）に接触して電気的に接続されることで、接続電極３９を介して駆動電極３７に接続されている。そして、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して駆動電極３７に駆動電圧を印加して、インクＷの吐出を行わせている。
すなわち、駆動回路２５及びフレキシブル基板２７は、上述した制御手段２３として機能する。
【００５７】
（ヘッドチップの製造方法）
ここで、上述した構成のヘッドチップ２１の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、圧電材料からなるアクチュエータ基板２００と、セラミックス等からなるカバー基板２０１と、を接合した後、接合した接合体２０２をヘッドチップ２１の形成領域ごとに切断線Ｍに沿って切断することで、複数のヘッドチップ２１を同時に製造する方法について説明する。図８はアクチュエータ基板の平面図であり、図９の（ａ）は図８のＥ−Ｅ線に沿う断面図、（ｂ）は図８のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。なお、図８においては図面を分かり易くするため、浅溝部５３の記載を省略する。
【００５８】
まず、図８，図９に示すように、アクチュエータ基板２００を用意する。アクチュエータ基板２００は、複数のアクチュエータプレート３０（図３参照）が矢印Ｌ３方向に沿って連なって形成されたものである。そして、このアクチュエータ基板２００を切削し、アクチュエータ基板２００に複数のチャネル３５（吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６）及び浅溝部５３を、矢印Ｌ１方向に沿って並列に形成する（チャネル形成工程）。
【００５９】
以下の説明では、上述したチャネル形成工程において、各チャネル３５のうち、吐出チャネル４５及び浅溝部５３を形成する場合について説明する（吐出チャネル形成工程）。吐出チャネル形成工程では、円板状のダイスカッター２１５を矢印Ｌ３方向に沿って走行させて行う。この際、浅溝部５３の形成領域においては、加工深さ（矢印Ｌ２方向の深さ）を浅くした状態でダイスカッター２１５を矢印Ｌ３方向に沿って走行させる。これにより、浅溝部５３の形成領域に第１ダイシングライン２１０（図９参照）が形成される。
その後、ダイスカッター２１５が吐出チャネル４５の形成領域に差し掛かった時点で、矢印Ｌ２方向に沿って加工深さを深くし、この状態でダイスカッター２１５を矢印Ｌ３方向に沿って走行させる（図９中矢印参照）。これにより、吐出チャネル４５の形成領域には、第１ダイシングライン２１０よりも矢印Ｌ２方向に深い第２ダイシングライン２１１が形成される。
そして、この動作を矢印Ｌ３方向に沿って繰り返し、アクチュエータ基板２００上に第１ダイシングライン２１０及び第２ダイシングライン２１１を交互に形成していく。これにより、第１ダイシングライン２１０及び第２ダイシングライン２１１が、矢印Ｌ３方向に沿って連続的に延在する第３ダイシングライン２１３が形成される。そして、この第３ダイシングライン２１３を、矢印Ｌ１方向で間隔を空けて複数形成していく。
【００６０】
この場合、第２ダイシングライン２１１の両端部（浅溝部５３の形成領域との境界部分）には、円弧チャネル５２となる部分がダイスカッター２１５の外径に倣った曲率半径に形成される。すなわち、第２ダイシングライン２１１は、隣接するアクチュエータプレート３０のチャネル３５の２つ分の長さに形成されている。また、各第１ダイシングライン２１０は、浅溝部５３の２つ分の長さに形成されている。
【００６１】
ここで、本実施形態では、吐出チャネル形成工程において、各第３ダイシングライン２１３のうち、配列方向中央部に位置する第３ダイシングライン２１３は、外径φ１の第１ダイスカッター２１５ａを用いて形成する（第１ダイシング工程）。
一方で、各第３ダイシングライン２１３のうち、配列方向両端に位置する第３ダイシングライン２１３は、第１ダイスカッター２１５ａよりも外径が大きい第２ダイスカッター２１５ｂ（外径φ２（φ２＞φ１））を用いて形成する（第２ダイシング工程）。
【００６２】
これにより、第１ダイスカッター２１５ａ及び第２ダイスカッター２１５ｂにより第２ダイシングライン２１１を形成する際に、それぞれ同一の走行量に場合した状態であっても、両端の第２ダイシングライン２１１の長さ（チャネル長）を長くできる。すなわち、ダイシングのプログラムの数値を変更することなく、ダイスカッター２１５の外径を変更するだけで、簡単に第２ダイシングライン２１１の長さを変更できる。なお、第２ダイスカッター２１５ｂで形成した第２ダイシングライン２１１の両端部における底面の曲率半径は、第１ダイスカッター２１５ａで形成した第２ダイシングライン２１１の両端部における底面の曲率半径に比べて大きく形成される。
【００６３】
次に、各チャネル３５のうち、ダミーチャネル４６を形成する場合について説明する（ダミーチャネル形成工程）。ダミーチャネル形成工程では、アクチュエータ基板２００上の矢印Ｌ３方向に沿って円板状のダイスカッター（不図示）を走行させる。この際、アクチュエータ基板２００における矢印Ｌ３方向の全域に亘って、加工深さ（矢印Ｌ２方向の深さ）を一定にした状態でダイスカッターを走行させる。これにより、アクチュエータ基板２００上には、矢印Ｌ３方向の両端で開口する第４ダイシングライン２１６が形成される。すなわち、アクチュエータ基板２００上には、吐出チャネル４５及び浅溝部５３に相当する第３ダイシングライン２１３と、ダミーチャネル４６に相当する第４ダイシングライン２１６と、が矢印Ｌ１方向に沿って交互に形成される。
【００６４】
なお、第３ダイシングライン２１３及び第４ダイシングライン２１６は、矢印Ｌ１方向に沿って順に形成していってもよく、第３ダイシングライン２１３（または第４ダイシングライン２１６）の形成後、隣接する第３ダイシングライン２１３（または第４ダイシングライン２１６）間に第４ダイシングライン２１６（または第３ダイシングライン２１３）を形成しても構わない。
【００６５】
次に、アクチュエータ基板２００に駆動電極３７及び接続電極３９をそれぞれパターン形成する（電極形成工程）。具体的には、公知の斜方蒸着等により、アクチュエータ基板２００の表面に対して斜め方向から蒸着材料（例えば、アルミ等）を飛散させる。これにより、第１ダイシングライン２１０（浅溝部５３）内に接続電極３９を形成する。また、第２ダイシングライン２１１の側壁３６の側面上に駆動電極３７を形成する。この時、第２ダイシングライン２１１の底面から側壁３６の矢印Ｌ２方向中途部までは駆動電極３７は形成されない。
【００６６】
また、本実施形態において、上述した電極の共通化など、アクチュエータ基板２００の表面（Ｌ２方向の面）に所望の電極部材を形成する場合は、リフトオフ法などを用いるのが一般的である。リフトオフ法では、吐出チャネル形成工程及びダミーチャネル形成工程の後にドライフィルムから、感光性樹脂膜をアクチュエータ基板２００の表面（Ｌ２方向の面）に形成する。次に、露光及び現像工程を通して感光性樹脂膜を選択的に除去し、図示しない樹脂膜のパターンを形成する。樹脂膜のパターンは、アクチュエータ基板２００の表面に、所望の電極部材等の電極パターンをリフトオフ法により形成するために設けており、電極を形成する領域からは樹脂膜を除去し、電極を形成しない領域には樹脂膜を残す。
【００６７】
図１０はアクチュエータ基板とカバー基板とを接合させた接合体を、カバー基板側から見た平面図である。
一方、図１０に示すように、カバー基板２０１に共通インク室１７及びスリット１９を形成する（カバー基板形成工程）。具体的には、サンドブラスト等により、カバー基板２０１に共通インク室１７を形成した後、上述したアクチュエータ基板２００上における吐出チャネル４５（図６参照）に対応する位置にスリット１９を形成する。
【００６８】
次に、アクチュエータ基板２００にカバー基板２０１を貼着する。具体的には、アクチュエータ基板２００またはカバー基板２０１に接着材を塗布し、その後、アクチュエータ基板２００とカバー基板２０１とを重ね合わせる。これにより、アクチュエータ基板２００とカバー基板２０１とが接着材を介して接合される。
【００６９】
次に、アクチュエータ基板２００とカバー基板２０１とが接合されてなる接合体２０２を、ヘッドチップ２１毎（図１０中切断線Ｍ参照）に切断する。具体的には、矢印Ｌ３方向において、第１ダイシングライン２１０における中間位置、及び第２ダイシングライン２１１における中間位置からそれぞれ矢印Ｌ１方向に沿ってダイスカッター（不図示）を走行させ、接合体２０２を切断する。これにより、一枚の接合体２０２から複数のアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１が貼り合わされた状態で切り出される。
【００７０】
次に、貼り合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持プレート３２に取り付ける。具体的には、貼り合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持プレート３２の嵌合孔３２ａの内側に挿入する。この状態で、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面を、支持プレート３２の先端側の表面と面一にして固定する。
【００７１】
次に、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面に、ノズルプレート３３を貼着する。具体的には、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面及び支持プレート３２の先端側の表面、またはノズルプレート３３の裏面に接着材を塗布する。その後、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面、及び支持プレート３２の先端側の表面にノズルプレート３３を重ね合わせる。これにより、ノズルプレート３３が、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面に接着材を介して貼着される。
【００７２】
上述したようにアクチュエータプレート３０に接着材を介してカバープレート３１やノズルプレート３３を貼着させたとき、両側最端の吐出チャネル４５ａには中央の吐出チャネル４５ｂよりも多量の余剰な接着材が流れ込む。ところが、本実施形態では、両側最端の吐出チャネル４５ａは、中央の吐出チャネル４５ｂよりもチャネル長が長くなっているため（Ｋ１＞Ｋ２）、インクＷが充填される両側最端の吐出チャネル４５ａの容量が確保される。すなわち、両側最端の吐出チャネル４５ａの容量は、余剰な接着材が流れ込むことで中央の吐出チャネル４５ｂの容量と略均等になる。
【００７３】
次に、上述したように構成されたインクジェットプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、４つのインクタンク４１にはそれぞれ異なる色のインクＷが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４１内のインクＷが供給チューブ４０を介して圧力緩衝器２２ｂに供給された状態となっている。そのため、所定量のインクＷが、インク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１の共通インク室１７に供給され、共通インク室１７からスリット１９を介して吐出チャネル４５内に充填された状態となっている。
【００７４】
このような初期状態のもと、インクジェットプリンタ１を作動させると、一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６が回転して記録紙Ｐを搬送方向（矢印Ｌ１方向）に向けて搬送する。また、これと同時にモータ１０がプーリ８を回転させて搬送ベルト９を動かす。これにより、キャリッジ６がガイドレール７でガイドされながら走査方向（矢印Ｌ２方向）に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド２のヘッドチップ２１より４色のインクＷを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。特に、シャトル方式であるので、記録紙Ｐの所望する範囲に対して正確に記録を行うことができる。
【００７５】
ここで、各インクジェットヘッド２の動きについて、以下に詳細に説明する。
キャリッジ６によって往復移動が開始されると、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して駆動電極３７に駆動電圧を印加する。より詳しくは、インクＷを吐出する吐出チャネル４５の両側の２つの側壁３６にそれぞれ設けられている駆動電極３７に駆動電圧を印加し、この２つの側壁３６を、吐出チャネル４５に隣接しているダミーチャネル４６側へ突出するように変形させる。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート３０は分極方向が一方向であり、駆動電極３７が側壁３６の側面の矢印Ｌ２方向における中間位置までしか形成されていないため、駆動電圧を印加することで、側壁３６の矢印Ｌ２方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル４５があたかも膨らむように変形する。
【００７６】
このように、２つの側壁３６の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル４５の容積が増大する。そして、吐出チャネル４５の容積が増大したことにより、共通インク室１７内に貯留されたインクＷがスリット１９から吐出チャネル４５内に誘導される。そして、吐出チャネル４５の内部に誘導されたインクＷは圧力波となって吐出チャネル４５の内部を通過し、この圧力波がノズル孔３３ａに到達したタイミングで、駆動電極３７に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、側壁３６の変形が元に戻り、一旦増大した吐出チャネル４５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル４５の内部の圧力が増加し、インクＷが加圧される。その結果、インクＷが吐出チャネル４５内から吐出される。
【００７７】
吐出されたインクＷは、ノズル孔３３ａを通って外部に吐出される。しかもノズル孔３３ａを通過する際に、インクＷは液滴状、すなわちインク滴となって吐出される。その結果、上述したように、記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
特に、本実施形態のノズル孔３３ａは、断面テーパ状であるので、インク滴を速い速度で真っ直ぐに直進性良く吐出することができる。よって、高画質に記録を行うことができる。
【００７８】
このように、本実施形態では、複数の吐出チャネル４５のうち、矢印Ｌ１方向の両端に位置する吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１（矢印Ｌ３方向における長さ）を、中央に位置する吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長く形成する構成とした。
この構成によれば、両端の吐出チャネル４５ａは中央の吐出チャネル４５ｂよりもチャネル長が長く形成されているため、両端の吐出チャネル４５ａの容積を中央の吐出チャネル４５ｂよりも大きくできる。この場合、上述したように接着時において、両端の吐出チャネル４５ａ内には中央の吐出チャネル４５ｂ内に比べて大量の余剰な接着剤が流れ込むことで、両吐出チャネル４５ａ，４５ｂ間での容積が略均等になる。
【００７９】
すなわち、両端の吐出チャネル４５ａを中央の吐出チャネル４５ｂに比べて予め大きく形成しておくことで、余剰接着材の流れ込みによる各吐出チャネル４５間での容積のバラツキを抑制できる。その結果、両端の吐出チャネル４５ａでの液体吐出速度の遅れを抑制して、複数のノズル孔３３ａから均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができる。この際、両側（最端）の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１を、中央（他）の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２に対して２％以上長く形成することで、余剰接着剤が流れ込んだ後の、各吐出チャネル４５間の容積差を確実に縮小できるため、複数の吐出チャネル４５によるインクＷの吐出速度のバラツキを低減できる。
したがって、上述したインクジェットヘッド２を備えるインクジェットプリンタ１によれば、両端のノズル孔３３ａから記録紙Ｐの所定位置に正確にインクＷが当てることができ、高品質の記録を実現することができる。
【００８０】
特に、従来のように各吐出チャネル４５間において矢印Ｌ２方向での深さを変えることがないので、各吐出チャネル４５を形成する側壁３６の側面に、同一工程で同一の高さ分（略半分の位置）だけ駆動電極３７を一括して形成することができる。これにより、全ての吐出チャネル４５を形成する側壁３６を効率的に屈曲させることができ、駆動効率を維持できる。
また、各吐出チャネル４５間において、矢印Ｌ１方向での幅を変えることもないので、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１との接着性も維持できる。
【００８１】
しかも、上述したヘッドチップ２１では、両端の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１を、中央の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長くするだけなので、従来の製作工程と略同一の工程でアクチュエータプレート３０を作成することが可能である。具体的に、本実施形態では、両端の吐出チャネル４５ａと、中央の吐出チャネル４５ｂと、でダイスカッター２１５の外径を変更するだけで、ダイスカッター２１５の走行量を変更させずに、簡単にチャネル長の長さを変化させることができる。そのため、生産性を低下させることなく、アクチュエータプレート３０にチャネル長の異なる吐出チャネル４５ａ，４５ｂを形成することができる。
【００８２】
この場合、上述したヘッドチップ２１では、複数の吐出チャネル４５のうち、両側最端の吐出チャネル４５ａのみが他の吐出チャネル４５ｂよりもチャネル長が長くなっているので、両側最端の吐出チャネル４５ａを切削するときだけダイスカッター２１５の外径を変更すればよい。そのため、アクチュエータプレート３０を容易に作成することができ、生産性の低下を更に抑えることができる。
【００８３】
ところで、上述した実施形態では、チャネル３５のうち、矢印Ｌ１方向の両側最端のチャネル３５をダミーチャネル４６に設定し、この両側最端のダミーチャネル４６を基準に吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６を矢印Ｌ１方向に沿って交互に形成する構成について説明した。
このようにした理由は、矢印Ｌ１方向における両側最端のチャネル３５の吐出効率の悪さに起因する。すなわち、両側最端のチャネル３５は一方（矢印Ｌ１方向内側）が側壁３６によって仕切られており、他方（矢印Ｌ１方向外側）が側壁３６ではなくアクチュエータプレート３０によって形成される外壁である。この場合、上述した斜方蒸着により外壁にも駆動電極３７は形成されるものの、外壁は側壁３６よりも矢印Ｌ１方向における幅が広いため、屈曲変形するものではない。そのため、両側最端のチャネル３５は一方の側壁３６のみが駆動する片壁駆動となる。このような片壁駆動には、使用可能（吐出できる）なインクと、使用不可能（吐出しない）なインクと、が存在する。
【００８４】
これに対して、本実施形態では、矢印Ｌ１方向の両側最端のチャネル３５を、ダミーチャネル４５として設定しているため、吐出チャネル４５のうち、最端の吐出チャネル４５ａであっても、両側は側壁３６で囲まれることになる。そのため、インクＷの種類を問わず、上述の効果を奏することができる。
【００８５】
なお、上述した実施形態では、複数の吐出チャネル４５のうちの両側最端の吐出チャネル４５ａだけが他の吐出チャネル４５ｂよりもチャネル長が長くなっていたが、これに限らず、図１１に示すように、複数の吐出チャネル４５のうち、配列方向両側の最端から複数の吐出チャネル４５ａのチャネル長が他の吐出チャネル４５ｂよりも長くなっていてもよい。
通常、両端に近い吐出チャネル４５ほど余剰な接着材が流れ込み易い。ここで、上述した構成にすることにより、複数の吐出チャネル４５の容量がより均一となり、複数の吐出チャネル４５による液体吐出速度のバラツキが低減される。これにより、より均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができ、さらに高品質の記録を実現することができる。
【００８６】
また、図１２に示すように、複数の吐出チャネル４５ａのチャネル長が矢印Ｌ１方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成しても構わない。
上述したように両端に近い吐出チャネル４５ほど余剰な接着材が流れ込み易い。ここで、上述した構成では、吐出チャネル４５のチャネル長が中央から両端に向かって漸次増大されていることで、余剰接着材の流れ込みが多い吐出チャネル４５ほどその容積が大きくなり、複数の吐出チャネル４５の容量がより均一となり、複数の吐出チャネル４５による液体吐出速度のバラツキが低減される。これにより、より均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができ、さらに高品質の記録を実現することができる。なお、図１１，図１２はアクチュエータプレートの平面図であるが、図中では説明を分かり易くするために浅溝部の記載を省略している。
【００８７】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図１３の（ａ）は図６のＢ−Ｂ線に相当する断面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ線に相当する断面図である。なお、以下の説明では、第１実施形態の構成と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００８８】
図１３に示すように、本実施形態では複数の吐出チャネル１４５のうち、吐出チャネル１４５の矢印Ｌ１方向の両端に位置する吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１（図１３（ａ）参照）が、中央に位置する吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成されている。ポンプ長とは、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１との接着領域の長さであり、矢印Ｌ３方向における吐出チャネル１４５の駆動領域の長さである。すなわち、本実施形態におけるポンプ長とは、矢印Ｌ３方向においてヘッドチップ２１の先端からスリット１９までの長さを示している。
【００８９】
本実施形態では、最端の吐出チャネル１４５ａに流れ込む余剰な接着材の流入量と、他の吐出チャネル１４５ｂに流れ込む余剰な接着材の流入量と、の差の分だけ駆動領域の容積が拡大するように、両側最端の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を他の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成する。例えば両側（最端）の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１は、中央（他）の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２と比べて２％〜１０％程度長く形成されている。なお、矢印Ｌ１方向における各吐出チャネル１４５の幅、矢印Ｌ２方向における長さ、及び矢印Ｌ３方向におけるチャネル長は、各吐出チャネル１４５間でそれぞれ同一に形成されている。
【００９０】
ここで、両側の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を、中央の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２と比べて長く形成するためには、図１４に示すように、ヘッドチップ２１の製造工程において、カバー基板２０１に形成するスリット１１９のうち、両側の吐出チャネル１４５ａに対応するスリット１１９ａを、中央の吐出チャネル１４５ｂに対応するスリット１１９ｂに比べて小さく形成する。さらに、両側の吐出チャネル１４５ａに対応するスリット１１９ａを、中央の吐出チャネル１４５ｂに対応するスリット１１９ｂに比べて第２ダイシングライン２１１の矢印Ｌ３方向における外側に形成する。これにより、両側最端の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１が、中央の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成される。
【００９１】
なお、両側の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を中央の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２に比べて長く形成するためには、上述した方法のうち、何れか一方のみを採用しても構わない。例えば、各スリット１１９のうち、両側の吐出チャネル１４５ａに対応するスリット１１９ａを、中央の吐出チャネル１４５ｂに対応するスリット１１９ｂに比べて、矢印Ｌ３方向における内側（ノズル孔３１側）から小さく形成してもよい。
また、スリット１１９ａ，１１９ｂの大きさは変えず、両側の吐出チャネル１４５ａに対応するスリット１１９ａを、中央の吐出チャネル１４５ｂに対応するスリット１１９ｂに比べて矢印Ｌ３方向における外側に配置してもよい。
【００９２】
本実施形態によれば、吐出チャネル１４５の矢印Ｌ１方向の両端に位置する吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を、中央に位置する吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成することで、矢印Ｌ３方向における吐出チャネル１４５の駆動領域を長くできる。すなわち、両端の吐出チャネル１４５ａの駆動領域を、中央の吐出チャネル１４５ｂに比べて予め長く形成しておくことで、余剰接着材の流れ込みによる各吐出チャネル１４５間での駆動領域のバラツキを抑制できる。これにより、吐出チャネル１４５の容積を変えることなく、余剰接着材の流れ込みによる両側最端の吐出チャネル１４５ａによる液体吐出速度の遅れを抑制できる。その結果、複数のノズル孔３３ａから均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができる。この際、両側（最端）の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を、中央（他）の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２に対して２％以上長く形成することで、余剰接着剤が流れ込んだ後の、各吐出チャネル１４５間の駆動領域差を確実に縮小できるため、複数の吐出チャネル１４５によるインクＷの吐出速度のバラツキを低減できる。
【００９３】
なお、上述した実施形態では、複数の吐出チャネル１４５のうちの両側最端の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１だけが、他の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長くなっているが、これに限らず、配列方向両側の最端から複数の吐出チャネル１４５ａが他の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長よりも長くなっていてもよい。
また、複数の吐出チャネル１４５のポンプ長が配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなっていてもよい。
【００９４】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図１５は図６に相当する図であり、第３実施形態におけるヘッドチップの断面図である。なお、以下の説明では、第１及び第２実施形態の構成と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態では、図１５に示すように、矢印Ｌ１方向に沿って配列されたチャネル２３５のうち、矢印Ｌ１方向両側から複数のチャネル２３５を吐出チャネル２４５としない（ダミーチャネル２４６とする）点で、上述した第１実施形態と相違している。
【００９５】
具体的には、各チャネル２３５のうち、矢印Ｌ１方向両側の最端のチャネル２３５から中央に向かって並んだ複数（例えば、３つ）のチャネル２３５は、カバープレート３１により閉塞されている。すなわち、アクチュエータプレート３０の矢印Ｌ１方向両側は、複数のダミーチャネル２４６が並んだダミー領域Ｒ１を構成している。
一方、矢印Ｌ１方向中央部（ダミー領域Ｒ間）では、インクＷが充填される吐出チャネル２４５と、インクＷが流入しないように構成されたダミーチャネル２４６と、が矢印Ｌ１方向に沿って交互に配列された吐出領域Ｒ２を構成している。
【００９６】
そして、吐出チャネル２４５のうち、吐出領域Ｒ２において矢印Ｌ１方向両側に位置する吐出チャネル２４５ａのチャネル長Ｋ１やポンプ長Ｐ１を、矢印Ｌ１方向中央部に位置する吐出チャネル２４５ｂよりも長くすることで、両端の吐出チャネル２４５ａでの液体吐出速度の遅れをより一層抑制できる。なお、ダミー領域Ｒ１におけるダミーチャネル２４６の数は、３つに限らず、適宜設計変更が可能である。また、図１５においては、ノズル孔３３ａが各チャネル２３５に対応して設けられている場合について説明したが、これに限らず、少なくとも吐出チャネル２４５に対応して設けられていればよい。
【００９７】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した各実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【００９８】
また、上述した各実施形態では、複数のノズル孔３３ａが配列方向に直線状に一列に配列されているが、本発明は、複数のノズル孔３３ａが直線状に配列されてなく、縦方向（矢印Ｌ２方向）にずらして配列されていてもよい。例えば、複数のノズル孔３３ａが斜めに配列されていてもよく、或いは、千鳥状に配列されていてもよい。
また、ノズル孔３３ａの形状に関しても、円形に限定されるものではない。例えば、三角等の多角形状や、楕円形状や星型形状でも構わない。
【００９９】
さらに、上述した実施形態では、チャネル長及びポンプ長の何れかを調整する場合について説明したが、これに限らず、チャネル長及びポンプ長の双方を調整しても構わない。
【０１００】
また、上述した実施形態では、スリット１９を介してインクＷが供給される吐出チャネル４５と、インクＷが供給されないダミーチャネル４６とを交互に形成した場合について説明したが、これに限られない。すなわち、例えば非水性のインクＷを利用する場合等は、スリット１９を設けずに、各吐出チャネル３４５と共通インク室１７とを連通させても構わない。例えば図１６に示すように、矢印Ｌ１方向に沿って配列されたチャネル３３５のうち、矢印Ｌ１方向の最端のチャネル３３５を、カバープレート３１により閉塞してダミーチャネル３４６とする。そして、ダミーチャネル３４６よりも矢印Ｌ１方向で内側に配列されたチャネル３３５を、共通インク室１７に連通する吐出チャネル３４５とする。
この場合、各吐出チャネル３４５のうち、矢印Ｌ１方向の最端の吐出チャネル３４５ａに連通する部分の共通インク室１７を、矢印Ｌ３方向で狭く、かつ基端側に形成することで、最端の吐出チャネル３４５ａのポンプ長を中央の吐出チャネル３４５ｂのポンプ長に比べて長く形成できる。なお、ダミーチャネル３４６に相当する部分にノズル孔３３ａを形成しなければ、仮にダミーチャネル３４６と共通インク室１７とが連通したとしても、ダミーチャネル３４６からインクが吐出されることはない。
【０１０１】
その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【０１０２】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置） ２…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド） ３…搬送手段 ４…移動手段 １９…スリット（導入孔） ２１…ヘッドチップ ２２…供給手段 ２３…制御手段 ３０，１３０…アクチュエータプレート ３１，１３１…カバープレート ３３…ノズルプレート ３３ａ…ノズル孔 ３５，２３５，３３５…チャネル ３６…側壁 ３７…駆動電極 ４５，４５ａ，４５ｂ，１４５，１４５ａ，１４５ｂ，２４５，２４５ａ，２４５ｂ，３４５ａ，３４５ｂ…吐出チャネル（チャネル） ４６，１４６，２４６，３４６…ダミーチャネル Ｐ…記録紙（被記録媒体） Ｗ…インク（液体）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル孔より液体を吐出して被記録媒体に画像や文字を記録するヘッドチップ、このヘッドチップを有する液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置、並びにヘッドチップの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出して画像や文字等の記録を行うインクジェット方式の記録装置（例えば、プリンタやファックス等）が提供されている。この記録装置は、インクタンクからインク供給管を介してインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）にインクを供給し、インクジェットヘッドに備えられたヘッドチップのノズル孔からインクを被記録媒体に吐出することで記録を行っている。
【０００３】
上述したヘッドチップは、アクチュエータプレートとカバープレートとを貼り合せるとともに、これらの端面にノズルプレートを貼着させた構成からなる。
アクチュエータプレートは、圧電材料で形成されたプレートであり、その表面には、側壁でそれぞれ区切られた複数のチャネルが並列に形成されている。チャネルは、インクが流れ込んで溜まる断面視凹形状の溝であり、チャネルの延在方向一端は、アクチュエータプレートの端面において開放されている。チャネルの両側の側壁には、それぞれ延在方向に沿って延びた板状の駆動電極が斜方蒸着等によって形成されている。これら駆動電極には、制御手段によって駆動電圧が印加される。カバープレートは、チャネルを覆うプレートであり、アクチュエータプレートの表面（チャネルが形成された面）に接着材を介して貼着されている。また、このカバープレートには、チャネルにインクを導入させる導入口が形成され、インクジェットヘッドに供給されたインクは導入口を通ってチャネルに供給される。ノズルプレートは、チャネルに連通するノズル孔が形成されたプレートであり、貼り合わされたアクチュエータプレートとカバープレートとの端面に接着材を介して貼着されている。
【０００４】
上述したヘッドチップでは、アクチュエータプレートに対してカバープレートやノズルプレートを貼着させる接着材の量が少ないと、接着不良を起してインク漏れが生じる虞があるため、接着材を多少多めに塗布する必要がある。このため、接着材を介してアクチュエータプレートにカバープレートやノズルプレートを貼り付けたとき、余剰な接着材がはみ出てチャネル内に流れ込み、この余剰接着材によってチャネルの容量が小さくなる。
【０００５】
チャネルへの余剰接着材の流れ込みの対策として、チャネルの開口縁に切り欠きを形成したヘッドチップが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このヘッドチップでは、アクチュエータプレートとカバープレートとを貼り合せたときにはみ出た余剰接着材が切り欠き内に保持されるため、余剰接着材によってチャネルの容量が小さくなるのを防止できるとされている。
【０００６】
ここで、通常のアクチュエータプレートは、その両端部分（チャネルの配列方向の両端部分）の接着面が中央部分の接着面よりも広くなっているため、両端に近いチャネルほど余剰な接着材が流れ込み易い。
しかしながら、上述した特許文献１記載のヘッドチップでは、複数のチャネルが同一形状を成しているため、余剰接着材によって両端部分のチャネルの容量が中央部分のチャネルに比べて小さくなり、両端部分のチャネルによるインク吐出の吐出速度が遅くなるという問題が生じる。また、上述したヘッドチップでは、チャネルの開口縁に切り欠きを形成しているため、隣り合うチャネルの間に配置された側壁における上面の幅が狭くなり、カバープレートに対して接着される面積が小さくなる。その結果、アクチュエータプレートとカバープレートとの接着性が低下する。また、側壁の上面は応力が集中する箇所であるため、この側壁上面が小さくなると、ヘッドチップの耐久性が低下する。
また、アクチュエータプレートのチャネルを形成する際に、上述した切り欠きを形成しなければならず、製造工程が増加し、生産性が低下するという問題がある。さらに、アクチュエータプレートにノズルプレートを貼着させたときの余剰接着材がチャネルに流れ込み、チャネルの容量が小さくなるという問題がある。
【０００７】
そこで、例えば特許文献２では、複数のチャネルのうち、チャネルの配列方向の両端側に位置するチャネルの容積（幅または深さ）を、配列方向の中央に位置するチャネルの容積よりも大きく形成する構成が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−２３００４５号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４３１１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述したインクジェットヘッドにおいて、インクを吐出するには、まずインクを吐出するチャネルを形成する２つの側壁の駆動電極に対して駆動電圧を印加し、各側壁を、インクを吐出させるチャネルに隣接しているチャネル側へ突出するように変形させる。具体的には、インクを吐出するチャネルを形成する側壁を、高さ方向略半分の位置で屈曲させ、チャネルがあたかも膨らむように変形させる。
これにより、チャネルの容積が増大し、インクが導入口からチャネルに誘導される。その後、駆動電極に印加した駆動電圧をゼロにすることで、側壁の変形が元に戻り、一旦増大したチャネルの容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出するチャネルの内部の圧力が増加し、インクが加圧され、インクがチャネル内から吐出される。
【００１０】
この場合、側壁を高さ方向略半分の位置で効率的に屈曲させるためには、側壁の上端から高さ方向の半分程度の位置まで駆動電極を形成することが好ましい。
しかしながら、上述した特許文献２に示す構成のうち、両端におけるチャネルの深さを深くすると、深くしたチャネルを形成する側壁だけが他の側壁に比べて高くなる。この場合、駆動電極は上述した斜方蒸着等によって各側壁に対して一括して形成するため、一部分（深くしたチャネルを形成する側壁の駆動電極）だけ長く形成することが難しい。したがって、全ての側壁において高さ方向略半分の位置まで駆動電極を形成することが難しい。
そのため、深くしたチャネルを形成する側壁では、側壁の高さに対して駆動電極が短くなる。その結果、側壁を効率的に屈曲させることができず、駆動効率が低下するという課題がある。
【００１１】
また、チャネルの幅を広くした場合には、側壁における上面の幅が狭くなり、上述したようにアクチュエータプレートとカバープレートとの接着性が低下する。
【００１２】
本発明は、上述した従来の問題が考慮されたものであり、両端部分に位置するノズル孔における吐出速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な吐出速度で液体を吐出させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置、並びにヘッドチップの製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係るヘッドチップは、液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップであって、前記複数のチャネルのうち、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さよりも長く形成されていることを特徴としている。
【００１４】
この構成によれば、両端のチャネルの延在方向における長さ（以下、チャネル長）を、中央のチャネルのチャネル長よりも長く形成することで、両端のチャネルの容積を中央のチャネルよりも大きくできる。この場合、上述したように接着時において、両端のチャネル内には中央のチャネル内に比べて大量の余剰な接着剤が流れ込むため、両チャネル間での容積が略均等になる。すなわち、両端のチャネルを中央のチャネルに比べて予め大きく形成しておくことで、余剰接着材の流れ込みによる各チャネル間での容積のバラツキを抑制できる。その結果、両端のチャネルでの液体吐出速度の遅れを抑制して、各噴射孔から噴射される液体の噴射速度のバラツキを抑えることができる。よって、複数の噴射孔から均一な噴射速度で液体を噴射させることができる。
特に、チャネルの深さ方向において、従来のように各チャネル間での深さを変えることがないので、各チャネルを形成する側壁の側面に、同一工程で同一の高さ分（略半分の位置）だけ駆動電極を一括して形成することができる。これにより、全てのチャネルを形成する側壁を効率的に屈曲させることができ、駆動効率を維持できる。
また、従来のように、側壁の幅が狭くなることもないので、アクチュエータプレートとカバープレートとの接着性も維持できる。
【００１５】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端の前記チャネルのみが、他の前記チャネルよりも前記延在方向における長さが長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、最端のチャネルについてだけ他のチャネルと異なる加工を施すので、アクチュエータプレートを容易に作成できる。
【００１６】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端から複数の前記チャネルが、他の前記チャネルよりも前記延在方向における長さが長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、複数のチャネルの容積がより均一となり、複数のチャネルによる液体噴射速度のバラツキを低減できる。
【００１７】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成されていることを特徴としている。
両端に近いチャネルほど余剰接着材が流れ込み易いが、この構成によれば、チャネルの容積が中央から両端に向かって漸次増大することで、余剰接着材の流れ込みが多いチャネルほどその容積が大きくなり、複数のチャネルの容量がより均一となる。
【００１８】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さに対して２％以上長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、余剰な接着剤が流れ込んだ後の、各チャネル間の容積差を確実に縮小できるため、複数のチャネルによる液体噴射速度のバラツキを低減できる。
【００１９】
また、本発明に係るヘッドチップは、液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップであって、前記複数のチャネルのうち、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における前記カバープレートとの接着領域の長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における前記カバープレートとの接着領域の長さよりも長く形成されていることを特徴としている。
【００２０】
この構成によれば、両端のチャネルの延在方向におけるカバープレートとの接着領域の長さ（以下、ポンプ長という）を、中央のチャネルのポンプ長よりも長く形成することで、両端のチャネルの駆動領域を長くできる。すなわち、両端のチャネルのポンプ長を中央のチャネルに比べて予め長くしておくことで、余剰接着材の流れ込みによる各チャネル間での駆動領域のバラツキを抑制できる。これにより、チャネルの容積を変えることなく、剰接着材の流れ込みによる両端のチャネルでの液体噴射速度の遅れを抑制できる。その結果、各噴射孔から噴射される液体の噴射速度のバラツキを抑え、複数の噴射孔から均一な噴射速度で液体を噴射させることができる。
特に、チャネルの深さ方向において、従来のように各チャネル間での深さを変えることがないので、各チャネルを形成する側壁の側面に、同一工程で同一の高さ分（略半分の位置）だけ駆動電極を一括して形成することができる。これにより、全てのチャネルを形成する側壁を効率的に屈曲させることができ、駆動効率を維持できる。
また、従来のように、側壁の幅が狭くなることもないので、アクチュエータプレートとカバープレートとの接着性も維持できる。
【００２１】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端の前記チャネルのみが、他の前記チャネルよりも前記接着領域が長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、最端のチャネルについてだけ他のチャネルと異なる加工を施すので、アクチュエータプレートを容易に作成できる。
【００２２】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端から複数の前記チャネルが、他の前記チャネルよりも前記接着領域の長さが長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、複数のチャネル間での液体噴射速度のバラツキを確実に低減できる。
【００２３】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記複数のチャネルの前記接着領域の長さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成されていることを特徴としている。
両端に近いチャネルほど余剰接着材が流れ込み易いが、この構成によれば、チャネルのポンプ長を中央から両端に向かって漸次増大させることで、余剰接着材の流れ込みが多いチャネルほどその駆動領域が長くなる。これにより、複数のチャネル間での液体噴射速度のバラツキを確実に低減できる。
【００２４】
また、本発明に係るヘッドチップは、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記接着領域の長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記接着領域の長さに対して２％以上長く形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、余剰な接着剤が流れ込んだ後において、各チャネル間での液体噴射速度のバラツキを低減できる。
【００２５】
また、本発明に係るヘッドチップの製造方法は、液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップの製造方法であって、円板状のダイスカッターを用いて前記アクチュエータプレートに前記チャネルを形成するチャネル形成工程を有し、前記チャネル形成工程では、前記複数のチャネルのうち、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルを、第１ダイスカッターを用いて形成する第１ダイシング工程と、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルを、前記第１ダイスカッターよりも外径が大きい第２ダイスカッターを用いて形成する第２ダイシング工程と、を有していることを特徴としている。
この構成によれば、第１ダイスカッター及び第２ダイスカッターによりチャネルを形成する際に、それぞれ同一の走行量に設定した場合であっても、チャネル長の長さを変更できる。すなわち、ダイシングのプログラムの数値等を変更することなく、ダイスカッターの外径を変更するだけで、簡単に両端のチャネルにおけるチャネル長を長くできる。
【００２６】
また、本発明に係る液体噴射ヘッドは、上記本発明のヘッドチップと、前記液体を前記導入口に供給する供給手段と、前記駆動電極に前記駆動電圧を印加する制御手段と、を備えることを特徴としている。
このような特徴により、供給手段によってヘッドチップの導入口に液体が供給され、制御手段によって駆動電極に駆動電圧を印加することでヘッドチップ内の液体がノズル孔から噴射される。このとき、上述したヘッドチップによって余剰接着材の流れ込みによる両端のチャネルでの液体噴射速度の遅れが抑制されるので、中央のノズル孔と同じ噴射速度で両端のノズル孔から液体を噴射させることができる。
【００２７】
また、本発明に係る液体噴射装置は、被記録媒体を予め決められた搬送方向に搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された前記被記録媒体の表面に対して前記ノズル孔が対向する向きに配置された上記本発明の液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、を備えることを特徴としている。
このような特徴により、搬送手段によって被記録媒体を搬送するとともに、移動手段によって液体噴射ヘッドを往復移動させながらノズル孔から被記録媒体に向けて液体を噴射させることで被記録媒体に画像や文字等が記録される。このとき、中央のノズル孔と同じ噴射速度で両端のノズル孔から液体が噴射されるので、両端のノズル孔から被記録媒体の所定位置に正確に液体を当てることができ、高品質の記録を実現することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置、並びにヘッドチップの製造方法によれば、両端部分に位置するノズル孔における噴射速度の遅れを抑制し、複数のノズル孔から均一な噴射速度で液体を噴射させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】インクジェットプリンタの斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】ヘッドチップの斜視図である。
【図４】ヘッドチップの分解斜視図である。
【図５】ヘッドチップの分解斜視図である。
【図６】図３のＡ−Ａ線に沿うヘッドチップの断面図である。
【図７】（ａ）は図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図８】アクチュエータ基板の平面図である。
【図９】（ａ）は図８のＥ−Ｅ線に沿う断面図、（ｂ）は図８のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図１０】アクチュエータ基板とカバー基板とを接合させた接合体を、カバー基板側から見た平面図である。
【図１１】アクチュエータプレートの他の構成を示す平面図である。
【図１２】アクチュエータプレートの他の構成を示す平面図である。
【図１３】第２実施形態におけるヘッドチップの断面図であり、（ａ）は図６のＢ−Ｂ線に相当する断面図、（ｂ）はＣ−Ｃ線に相当する断面図である。
【図１４】第２実施形態におけるヘッドチップの製造方法を説明するための図であり、アクチュエータ基板とカバー基板とを接合させた接合体を、カバー基板側から見た平面図である。
【図１５】図６相当する図であり、第３実施形態におけるヘッドチップの断面図である。
【図１６】ヘッドチップの他の構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態では、液体噴射装置の一例として、インク（液体）Ｗを利用して記録を行うインクジェットプリンタ１を例に挙げて説明する。
【００３１】
（第１実施形態）
（インクジェットプリンタ）
まず、第１実施形態について説明する。図１は、インクジェットプリンタの斜視図である。
本実施形態のインクジェットプリンタ１は、図１に示すように、インクＷを吐出する複数のインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）２と、記録紙（被記録媒体）Ｐを予め決められた矢印Ｌ１方向（搬送方向）に搬送する搬送手段３と、前記搬送方向に直交する矢印Ｌ２方向（走査方向）に複数のインクジェットヘッド２を往復移動させる移動手段４と、を備えている。
【００３２】
つまり、このインクジェットプリンタ１は、記録紙Ｐを矢印Ｌ１方向に搬送しながら、矢印Ｌ１方向に直交する矢印Ｌ２方向にインクジェットヘッド２を移動させて、記録紙Ｐに文字や画像を記録する、いわゆるシャトルタイプのプリンタである。
なお、本実施形態では、それぞれ異なる色（例えば、ブラック、シアン、マゼンタ及びイエロー）のインクＷを吐出する４つのインクジェットヘッド２を備えている場合を例にしている。なお、これら４つのインクジェットヘッド２は、同一構成とされている。
【００３３】
これら４つのインクジェットヘッド２は、略直方体形状の筐体５内に組み込まれたキャリッジ６に搭載されている。
このキャリッジ６は、複数のインクジェットヘッド２を載置する平板状の基台６ａと、この基台６ａから垂直に立ち上げられた壁部６ｂと、で構成されている。そして、キャリッジ６は、矢印Ｌ２方向に沿って配置されたガイドレール７によって往復移動可能に支持されている。また、キャリッジ６は、ガイドレール７に支持された状態で一対のプーリ８に巻回された搬送ベルト９に連結されている。一対のプーリ８のうち、一方のプーリ８はモータ１０の出力軸に連結され、モータ１０からの回転駆動力を受けて回転するようになっている。これにより、キャリッジ６は、矢印Ｌ２方向に向けて往復移動できるようになっている。
すなわち、これら一対のガイドレール７、一対のプーリ８、搬送ベルト９及びモータ１０は、上述した移動手段４として機能する。
【００３４】
また、筐体５には、一対のガイドレール７と同じ矢印Ｌ２方向に沿って一対の搬入ローラ１５と、一対の搬送ローラ１６と、が間隔を空けて並設されている。一対の搬入ローラ１５は、筐体５の背面側に設けられ、一対の搬送ローラ１６は筐体５の前面側に設けられている。そして、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、図示しないモータによって記録紙Ｐを間に挟んだ状態で回転するようになっている。これにより、筐体５の背面側から前面側に向かう矢印Ｌ１方向に沿って記録紙Ｐを搬送することができる。
すなわち、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、上述した搬送手段３として機能する。
【００３５】
図２は、インクジェットヘッドの斜視図である。
図２に示すように、各インクジェットヘッド２は、図１に示すキャリッジ６の基台６ａに図示しないネジを介して取り付けられる矩形状の固定板２０と、この固定板２０の上面に固定されたヘッドチップ２１と、このヘッドチップ２１の後述する共通インク室１７にインクＷを供給する供給手段２２と、後述する駆動電極３７に駆動電圧を印加する制御手段２３と、を主に備えている。これら各インクジェットヘッド２は、搬送手段３によって搬送された記録紙Ｐの表面に対して後述するノズル孔３３ａが対向する向きに配置されている。
【００３６】
図３はヘッドチップの斜視図であり、図４はヘッドチップの分解斜視図である。
図３，図４に示すように、ヘッドチップ２１は、アクチュエータプレート３０、カバープレート３１、支持プレート３２及びノズルプレート３３で主に構成されている。そして、アクチュエータプレート３０に図示せぬ接着材を介してカバープレート３１が重ね合わされているとともに、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の端面に図示せぬ接着材を介してノズルプレート３３が貼着された構成からなる。
【００３７】
図５はヘッドチップの分解斜視図であり、図６は図３のＡ−Ａ線に沿うヘッドチップの断面図である。
アクチュエータプレート３０は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートであり、その分極方向が厚さ方向（矢印Ｌ２方向）に沿って一方向に設定されている。このアクチュエータプレート３０のカバープレート３１側の面（表面）には、図３〜図６に示すように、矢印Ｌ３方向（延在方向）に延びたチャネル３５が矢印Ｌ１方向（配列方向）に一定間隔をあけて並列に複数形成されている。すなわち、複数のチャネル３５は、側壁３６によってそれぞれ区分けされるとともに、カバープレート３１側の面に開口部５０を有する断面凹形状の溝である。また、チャネル３５は、カバープレート３１により閉塞されてインクＷが流入しないように構成されたダミーチャネル４６と、カバープレート３１の後述するスリット（導入孔）１９に連通してインクＷが充填される吐出チャネル４５と、が矢印Ｌ１方向に沿って交互に形成されている。
【００３８】
各チャネル３５のうち、ダミーチャネル４６は、矢印Ｌ３方向に沿って深さが一様に形成され、アクチュエータプレート３０の両端側で開口している。
【００３９】
また、各チャネル３５のうち、吐出チャネル４５は、矢印Ｌ３方向において、矩形チャネル５１と、円弧チャネル５２と、を有している。
矩形チャネル５１は、一端側（先端側）がアクチュエータプレート３０の先端面（ノズルプレート３３側の端面）において開口している。一方で、矩形チャネル５１の他端部（基端部）は、矢印Ｌ３方向に沿ってアクチュエータプレート３０の途中まで延びている。
円弧チャネル５２は、一端（先端）が矩形チャネル５１の内側に向けて開口し、他端（基端）は後述する浅溝部５３の内側に向けて開口している。円弧チャネル５２の底面は、基端側（ノズルプレート３３とは反対側）に向かうにしたがって漸次深さが浅くなるように形成されている。具体的に、円弧チャネル５２の底面は、後述する製造工程で用いるダイスカッター２１５（図９参照）の外径に倣った曲率半径を有する円弧状に形成されている。
【００４０】
円弧チャネル５２の基端側には、矢印Ｌ２方向において矩形チャネル５１よりも浅く形成された浅溝部５３が形成されている。浅溝部５３は、矢印Ｌ３方向に沿って円弧チャネル５２の基端からアクチュエータプレート３０の基端面（ノズルプレート３３側反対側の端面）まで延びている。この浅溝部５３は矩形チャネル５１の延長線上に形成され、その一端（先端）は円弧チャネル５２の内側に向けて開口している。浅溝部５３の他端（基端）はアクチュエータプレート３０の基端面において開口し、図示しない封止手段によって封止されている。
【００４１】
図７における（ａ）は図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
図７に示すように、複数の吐出チャネル４５のうち、チャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の両端に位置する吐出チャネル４５ａの矢印Ｌ３方向における長さ、具体的には矩形チャネル５１及び円弧チャネル５２を合わせた長さ（以下、チャネル長Ｋ１という）が、矢印Ｌ１方向中央に位置する吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長くなっている。すなわち、両端の吐出チャネル４５ａの容積は、中央の吐出チャネル４５ｂの容積よりも大きくなっている。具体的に、矢印Ｌ１方向両側の最端の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１のみが、他の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長くなっており、矢印Ｌ１方向両側の最端の吐出チャネル４５ａの容積のみが他の吐出チャネル４５ｂの容積よりも大きくなっている。
【００４２】
この場合、アクチュエータプレート３０にカバープレート３１やノズルプレート３３を貼着させたときに、最端の吐出チャネル４５ａに流れ込む余剰な接着材の流入量と、他の吐出チャネル４５ｂに流れ込む余剰な接着材の流入量と、の差を算出し、その差の分だけ容積が拡大するように、最端の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１を、他の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長くしている。例えば両側（最端）の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１は、中央（他）の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２と比べて２％〜１０％程度長く形成されている。なお、矢印Ｌ１方向における各チャネル３５（吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６）の幅、及び矢印Ｌ２方向における深さは、各チャネル３５間でそれぞれ同一に形成されている。
【００４３】
また、複数のチャネル３５の側壁３６には、駆動電極３７が形成されている。駆動電極３７は、矢印Ｌ３方向において、側壁３６の全域に亘って形成されている。また、駆動電極３７は、矢印Ｌ２方向において、側壁３６におけるカバープレート３１側の表面から中央部に亘って、側壁３６の略半分程度の領域に形成されている。また、浅溝部５３の底面には接続電極３９が形成されている、そして、上述した駆動電極３７と、後述するフレキシブル基板２７の引き出し電極２７ａと、が接続電極３９を介して電気的に接続されるようになっている。
駆動電極３７は、駆動電圧が印加されたときに、圧電厚み滑り効果により側壁３６を変形させることでチャネル３５内の圧力を高め、充填されたインクＷを吐出チャネル４５内から吐出させる働きをしている。
【００４４】
なお、駆動電極３７と引き出し電極２７ａとの接続について、吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６の両方を対象として、詳細に説明する。
まず、電気的な接続状態は、吐出チャネル４５がＧＮＤ電位（接地電位）に接続され、ダミーチャネル４６に駆動電圧が供給される。吐出チャネル４５をＧＮＤ電位にしたのは、導電性インクを使用した場合に、スリット１９を介して隣り合う吐出チャネル４５の駆動電極３７同士が導通してしまうことを防止するためである。駆動電極３７同士が導通してしまうと、駆動電極３７が電気分解を起こし腐食してしまう問題や、個別に駆動することができなくなる問題がある。
【００４５】
本実施形態では、吐出チャネル４５に関して、図５に示すように、個別に引き出し電極２７ａを形成することが可能である。また、全ての吐出チャネル４５がＧＮＤ電位であるため、フレキシブル基板２７上で、全ての吐出チャネル４５の接続電極３９に対応する引き出し電極２７ａを共通化し、全ての接続電極３９を当該引き出し電極２７ａと接触させ、ＧＮＤ電位とすることも可能である。もしくは、アクチュエータプレート３０の表面（Ｌ２方向の面）で、非導電材を介してダミーチャネル４６の駆動電極３７を跨いで、吐出チャネル４５の接続電極３９同士を共通化し、当該接続電極３９の一部を引き出し電極２７ａと接触させ、ＧＮＤ電位とすることも可能である。
【００４６】
また、ダミーチャネル４６の駆動電極３７は、吐出チャネル４５の駆動電極３７と側壁３６を介して対向する駆動電極３７が二枚一組となっている。この二枚の駆動電極３７に同じ駆動電圧を同時に供給することによって、二枚の側壁３６を同時に変形させている。そのため、図５に示すように、個別に同じ駆動電圧を同時に与えることも可能である。また、フレキシブル基板２７上でこれら二枚の駆動電極３７に対応する引き出し電極２７ａを共通化することも可能である。もしくは、アクチュエータプレート３０の表面（Ｌ２方向の面）で、吐出チャネル４５の駆動電極３７または接続電極３９を跨いで、ダミーチャネル４６の接続電極３９同士を共通化し、当該接続電極３９の一部を引き出し電極２７ａと接触させ、駆動電圧が供給されることも可能である。
【００４７】
なお、図５に図示していないが、ダミーチャネル４６は、矢印Ｌ３方向に沿って深さが一様に形成され、アクチュエータプレート３０の両端側で開口しているため、駆動電極３７と引き出し電極２７ａとの接続が困難である。このため、駆動電極３７をアクチュエータプレート３０の表面（Ｌ２方向の面）まで形成し、その上から被さるように引き出し電極２７ａを配置することが可能である。この場合、アクチュエータプレート３０の表面まで形成された駆動電極３７が接続電極３９としての役割を担う。これによって、駆動電極３７と引き出し電極２７ａとの電気的な接続を高精度に実施することができる。また、矢印Ｌ１方向の両側最端のダミーチャネル４６における外側の壁に形成された駆動電極３７には、電圧が印加されないため、この駆動電極３７に対応する引き出し電極２７ａは形成しても、形成しなくても構わない。
さらに、最端のダミーチャネル４６の駆動電極３７は、吐出チャネル４５と隣り合う駆動電極３７のみ電気的に接続すればよい。つまり、図６に示す全てのチャネル３５のうち、最左の駆動電極３７は電気的に接続されていない。これは、側壁３６を駆動するために使用されないためである。同様に、図６に図示しないが、全てのチャネル３５のうち、最右の駆動電極３７も電気的に接続されていない。
【００４８】
図３，図４に示すように、カバープレート３１は、例えばセラミックス等で形成されたプレートである。カバープレート３１は、各浅溝部５３の基端側、及びダミーチャネル４６の基端側を露出させた状態で、アクチュエータプレート３０の表面に接着材を介して重ね合わせて貼着されている。また、カバープレート３１は、アクチュエータプレート３０とは反対側の表面に形成された凹状の共通インク室１７と、共通インク室１７及び吐出チャネル４５をそれぞれ連通させる複数のスリット（導入孔）１９と、を有している。
【００４９】
共通インク室１７は、チャネル３５の基端側において、チャネル３５の延在方向（矢印Ｌ３方向）に直交するように延在する矢印Ｌ１方向に長い長方形の開口である。共通インク室１７には、供給手段２２から供給されるインクＷが貯留される。
スリット１９は、例えば矢印Ｌ３方向を長軸とする楕円形状の孔であり、共通インク室１７から各吐出チャネル４５に向けてインクＷが流通するように構成されている。
【００５０】
そして、アクチュエータプレート３０にカバープレート３１が接着された状態では、チャネル３５の開口部５０がカバープレート３１によって閉塞される。これにより、独立した複数のチャネル３５（吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６）が形成されている。
【００５１】
支持プレート３２は、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持しているとともに、ノズルプレート３３を支持している。支持プレート３２には、矢印Ｌ１方向に延在する嵌合孔３２ａが形成されている。そして、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１が、支持プレート３２の嵌合孔３２ａ内に嵌め込まれた状態で支持プレート３２に支持されている。この際、支持プレート３２の先端側の表面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と面一となっている。
【００５２】
ノズルプレート３３は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状のプレートである。ノズルプレート３３は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持プレート３２の先端側の表面と、に接着材を介して貼着されている。つまり、ノズルプレート３３の一方の面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持プレート３２の先端側の表面と、に接着される接着面となっている。一方で、ノズルプレート３３の他方の面は、図１に示す記録紙Ｐに対向する対向面となっている。なお、ノズルプレート３３の対向面には、インクＷの付着等を防止するための撥水性を有する撥水膜がコーティングされている。
【００５３】
また、このノズルプレート３３には、矢印Ｌ１方向に間隔を空けて複数のノズル孔３３ａが形成されている。これら複数のノズル孔３３ａは、少なくとも吐出チャネル４５に対向する位置にそれぞれ形成されており、この吐出チャネル４５内に連通するようになっている。具体的に説明すると、図６に示すように、ノズル孔３３ａの中心は、吐出チャネル４５の中心に配置され、吐出チャネル４５のピッチと同間隔で形成されている。
また、各ノズル孔３３ａは、外形輪郭線が円形を描くように円状に形成されている。しかも、ノズル孔３３ａは、接着面側から対向面側に向かうに従い漸次縮径されたテーパ孔であり、接着面側の入口径（ノズル孔３３ａの外形輪郭線の直径）が対向面側の出口径よりも大きくなっている。なお、ノズル孔３３ａは、エキシマレーザ装置等を用いて形成されている。
さらに、図６において、ノズル孔３３ａは各吐出チャネル４５だけでなく、ダミーチャネル４６にも設けられるように示した。もちろん、ノズル孔３３ａは、少なくとも吐出チャネル４５に設けられていればよく、ダミーチャネル４６に設けられていなくてもよい。
【００５４】
上述した構成のヘッドチップ２１は、図２に示すように、上述したように固定板２０の上面に固定されている。この固定板２０の上面には、アルミニウム等で形成された矩形状のベースプレート２４が垂直に立ち上がった状態で固定されているとともに、ヘッドチップ２１の共通インク室１７にインクＷを供給する流路部材２２ａが固定されている。この流路部材２２ａの上方には、インクＷを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器（ダンパ）２２ｂがベースプレート２４に支持された状態で配置されている。この圧力緩衝器２２ｂと流路部材２２ａとは、インク連結管２２ｃを介して連結されている。また、圧力緩衝器２２ｂの上部には、インクＷが供給されてくる供給チューブ４０が取り付けられている。
このように構成されているので、供給チューブ４０を介して圧力緩衝器２２ｂにインクＷが供給されると、このインクＷは圧力緩衝器２２ｂ内の貯留室に一旦貯留される。そして、圧力緩衝器２２ｂは、貯留されたインクＷのうち、所定量のインクＷをインク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１の共通インク室１７に供給するようになっている。
すなわち、流路部材２２ａ、圧力緩衝器２２ｂ及びインク連結管２２ｃは、上述した供給手段２２として機能する。
【００５５】
なお、供給チューブ４０は、図１に示すように、筐体５内に組み込まれたインクタンク４１に連結されている。これにより、インクタンク４１に貯留されている色の異なるインクＷが、４つのインクジェットヘッド２にそれぞれ供給されるようになっている。
【００５６】
また、図２に示すように、ベースプレート２４には、ヘッドチップ２１を駆動するための集積回路等の駆動回路２５が搭載されたＩＣ基板２６が固定されている。この駆動回路２５とヘッドチップ２１の駆動電極３７とは、フレキシブル基板２７を介して電気的に接続されている。
フレキシブル基板２７は、図５に示すように、カバープレート３１の基端側に露出された浅溝部５３の基端側部分に嵌合される複数の引き出し電極２７ａがプリント配線されている。引き出し電極２７ａは、接続電極３９（上述したアクチュエータプレート３０の表面まで形成された場合のダミーチャネル４６の駆動電極３７を含む）に接触して電気的に接続されることで、接続電極３９を介して駆動電極３７に接続されている。そして、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して駆動電極３７に駆動電圧を印加して、インクＷの吐出を行わせている。
すなわち、駆動回路２５及びフレキシブル基板２７は、上述した制御手段２３として機能する。
【００５７】
（ヘッドチップの製造方法）
ここで、上述した構成のヘッドチップ２１の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、圧電材料からなるアクチュエータ基板２００と、セラミックス等からなるカバー基板２０１と、を接合した後、接合した接合体２０２をヘッドチップ２１の形成領域ごとに切断線Ｍに沿って切断することで、複数のヘッドチップ２１を同時に製造する方法について説明する。図８はアクチュエータ基板の平面図であり、図９の（ａ）は図８のＥ−Ｅ線に沿う断面図、（ｂ）は図８のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。なお、図８においては図面を分かり易くするため、浅溝部５３の記載を省略する。
【００５８】
まず、図８，図９に示すように、アクチュエータ基板２００を用意する。アクチュエータ基板２００は、複数のアクチュエータプレート３０（図３参照）が矢印Ｌ３方向に沿って連なって形成されたものである。そして、このアクチュエータ基板２００を切削し、アクチュエータ基板２００に複数のチャネル３５（吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６）及び浅溝部５３を、矢印Ｌ１方向に沿って並列に形成する（チャネル形成工程）。
【００５９】
以下の説明では、上述したチャネル形成工程において、各チャネル３５のうち、吐出チャネル４５及び浅溝部５３を形成する場合について説明する（吐出チャネル形成工程）。吐出チャネル形成工程では、円板状のダイスカッター２１５を矢印Ｌ３方向に沿って走行させて行う。この際、浅溝部５３の形成領域においては、加工深さ（矢印Ｌ２方向の深さ）を浅くした状態でダイスカッター２１５を矢印Ｌ３方向に沿って走行させる。これにより、浅溝部５３の形成領域に第１ダイシングライン２１０（図９参照）が形成される。
その後、ダイスカッター２１５が吐出チャネル４５の形成領域に差し掛かった時点で、矢印Ｌ２方向に沿って加工深さを深くし、この状態でダイスカッター２１５を矢印Ｌ３方向に沿って走行させる（図９中矢印参照）。これにより、吐出チャネル４５の形成領域には、第１ダイシングライン２１０よりも矢印Ｌ２方向に深い第２ダイシングライン２１１が形成される。
そして、この動作を矢印Ｌ３方向に沿って繰り返し、アクチュエータ基板２００上に第１ダイシングライン２１０及び第２ダイシングライン２１１を交互に形成していく。これにより、第１ダイシングライン２１０及び第２ダイシングライン２１１が、矢印Ｌ３方向に沿って連続的に延在する第３ダイシングライン２１３が形成される。そして、この第３ダイシングライン２１３を、矢印Ｌ１方向で間隔を空けて複数形成していく。
【００６０】
この場合、第２ダイシングライン２１１の両端部（浅溝部５３の形成領域との境界部分）には、円弧チャネル５２となる部分がダイスカッター２１５の外径に倣った曲率半径に形成される。すなわち、第２ダイシングライン２１１は、隣接するアクチュエータプレート３０のチャネル３５の２つ分の長さに形成されている。また、各第１ダイシングライン２１０は、浅溝部５３の２つ分の長さに形成されている。
【００６１】
ここで、本実施形態では、吐出チャネル形成工程において、各第３ダイシングライン２１３のうち、配列方向中央部に位置する第３ダイシングライン２１３は、外径φ１の第１ダイスカッター２１５ａを用いて形成する（第１ダイシング工程）。
一方で、各第３ダイシングライン２１３のうち、配列方向両端に位置する第３ダイシングライン２１３は、第１ダイスカッター２１５ａよりも外径が大きい第２ダイスカッター２１５ｂ（外径φ２（φ２＞φ１））を用いて形成する（第２ダイシング工程）。
【００６２】
これにより、第１ダイスカッター２１５ａ及び第２ダイスカッター２１５ｂにより第２ダイシングライン２１１を形成する際に、それぞれ同一の走行量に場合した状態であっても、両端の第２ダイシングライン２１１の長さ（チャネル長）を長くできる。すなわち、ダイシングのプログラムの数値を変更することなく、ダイスカッター２１５の外径を変更するだけで、簡単に第２ダイシングライン２１１の長さを変更できる。なお、第２ダイスカッター２１５ｂで形成した第２ダイシングライン２１１の両端部における底面の曲率半径は、第１ダイスカッター２１５ａで形成した第２ダイシングライン２１１の両端部における底面の曲率半径に比べて大きく形成される。
【００６３】
次に、各チャネル３５のうち、ダミーチャネル４６を形成する場合について説明する（ダミーチャネル形成工程）。ダミーチャネル形成工程では、アクチュエータ基板２００上の矢印Ｌ３方向に沿って円板状のダイスカッター（不図示）を走行させる。この際、アクチュエータ基板２００における矢印Ｌ３方向の全域に亘って、加工深さ（矢印Ｌ２方向の深さ）を一定にした状態でダイスカッターを走行させる。これにより、アクチュエータ基板２００上には、矢印Ｌ３方向の両端で開口する第４ダイシングライン２１６が形成される。すなわち、アクチュエータ基板２００上には、吐出チャネル４５及び浅溝部５３に相当する第３ダイシングライン２１３と、ダミーチャネル４６に相当する第４ダイシングライン２１６と、が矢印Ｌ１方向に沿って交互に形成される。
【００６４】
なお、第３ダイシングライン２１３及び第４ダイシングライン２１６は、矢印Ｌ１方向に沿って順に形成していってもよく、第３ダイシングライン２１３（または第４ダイシングライン２１６）の形成後、隣接する第３ダイシングライン２１３（または第４ダイシングライン２１６）間に第４ダイシングライン２１６（または第３ダイシングライン２１３）を形成しても構わない。
【００６５】
次に、アクチュエータ基板２００に駆動電極３７及び接続電極３９をそれぞれパターン形成する（電極形成工程）。具体的には、公知の斜方蒸着等により、アクチュエータ基板２００の表面に対して斜め方向から蒸着材料（例えば、アルミ等）を飛散させる。これにより、第１ダイシングライン２１０（浅溝部５３）内に接続電極３９を形成する。また、第２ダイシングライン２１１の側壁３６の側面上に駆動電極３７を形成する。この時、第２ダイシングライン２１１の底面から側壁３６の矢印Ｌ２方向中途部までは駆動電極３７は形成されない。
【００６６】
また、本実施形態において、上述した電極の共通化など、アクチュエータ基板２００の表面（Ｌ２方向の面）に所望の電極部材を形成する場合は、リフトオフ法などを用いるのが一般的である。リフトオフ法では、吐出チャネル形成工程及びダミーチャネル形成工程の後にドライフィルムから、感光性樹脂膜をアクチュエータ基板２００の表面（Ｌ２方向の面）に形成する。次に、露光及び現像工程を通して感光性樹脂膜を選択的に除去し、図示しない樹脂膜のパターンを形成する。樹脂膜のパターンは、アクチュエータ基板２００の表面に、所望の電極部材等の電極パターンをリフトオフ法により形成するために設けており、電極を形成する領域からは樹脂膜を除去し、電極を形成しない領域には樹脂膜を残す。
【００６７】
図１０はアクチュエータ基板とカバー基板とを接合させた接合体を、カバー基板側から見た平面図である。
一方、図１０に示すように、カバー基板２０１に共通インク室１７及びスリット１９を形成する（カバー基板形成工程）。具体的には、サンドブラスト等により、カバー基板２０１に共通インク室１７を形成した後、上述したアクチュエータ基板２００上における吐出チャネル４５（図６参照）に対応する位置にスリット１９を形成する。
【００６８】
次に、アクチュエータ基板２００にカバー基板２０１を貼着する。具体的には、アクチュエータ基板２００またはカバー基板２０１に接着材を塗布し、その後、アクチュエータ基板２００とカバー基板２０１とを重ね合わせる。これにより、アクチュエータ基板２００とカバー基板２０１とが接着材を介して接合される。
【００６９】
次に、アクチュエータ基板２００とカバー基板２０１とが接合されてなる接合体２０２を、ヘッドチップ２１毎（図１０中切断線Ｍ参照）に切断する。具体的には、矢印Ｌ３方向において、第１ダイシングライン２１０における中間位置、及び第２ダイシングライン２１１における中間位置からそれぞれ矢印Ｌ１方向に沿ってダイスカッター（不図示）を走行させ、接合体２０２を切断する。これにより、一枚の接合体２０２から複数のアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１が貼り合わされた状態で切り出される。
【００７０】
次に、貼り合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持プレート３２に取り付ける。具体的には、貼り合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持プレート３２の嵌合孔３２ａの内側に挿入する。この状態で、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面を、支持プレート３２の先端側の表面と面一にして固定する。
【００７１】
次に、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面に、ノズルプレート３３を貼着する。具体的には、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面及び支持プレート３２の先端側の表面、またはノズルプレート３３の裏面に接着材を塗布する。その後、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面、及び支持プレート３２の先端側の表面にノズルプレート３３を重ね合わせる。これにより、ノズルプレート３３が、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面に接着材を介して貼着される。
【００７２】
上述したようにアクチュエータプレート３０に接着材を介してカバープレート３１やノズルプレート３３を貼着させたとき、両側最端の吐出チャネル４５ａには中央の吐出チャネル４５ｂよりも多量の余剰な接着材が流れ込む。ところが、本実施形態では、両側最端の吐出チャネル４５ａは、中央の吐出チャネル４５ｂよりもチャネル長が長くなっているため（Ｋ１＞Ｋ２）、インクＷが充填される両側最端の吐出チャネル４５ａの容量が確保される。すなわち、両側最端の吐出チャネル４５ａの容量は、余剰な接着材が流れ込むことで中央の吐出チャネル４５ｂの容量と略均等になる。
【００７３】
次に、上述したように構成されたインクジェットプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、４つのインクタンク４１にはそれぞれ異なる色のインクＷが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４１内のインクＷが供給チューブ４０を介して圧力緩衝器２２ｂに供給された状態となっている。そのため、所定量のインクＷが、インク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１の共通インク室１７に供給され、共通インク室１７からスリット１９を介して吐出チャネル４５内に充填された状態となっている。
【００７４】
このような初期状態のもと、インクジェットプリンタ１を作動させると、一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６が回転して記録紙Ｐを搬送方向（矢印Ｌ１方向）に向けて搬送する。また、これと同時にモータ１０がプーリ８を回転させて搬送ベルト９を動かす。これにより、キャリッジ６がガイドレール７でガイドされながら走査方向（矢印Ｌ２方向）に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド２のヘッドチップ２１より４色のインクＷを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。特に、シャトル方式であるので、記録紙Ｐの所望する範囲に対して正確に記録を行うことができる。
【００７５】
ここで、各インクジェットヘッド２の動きについて、以下に詳細に説明する。
キャリッジ６によって往復移動が開始されると、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して駆動電極３７に駆動電圧を印加する。より詳しくは、インクＷを吐出する吐出チャネル４５の両側の２つの側壁３６にそれぞれ設けられている駆動電極３７に駆動電圧を印加し、この２つの側壁３６を、吐出チャネル４５に隣接しているダミーチャネル４６側へ突出するように変形させる。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート３０は分極方向が一方向であり、駆動電極３７が側壁３６の側面の矢印Ｌ２方向における中間位置までしか形成されていないため、駆動電圧を印加することで、側壁３６の矢印Ｌ２方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル４５があたかも膨らむように変形する。
【００７６】
このように、２つの側壁３６の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル４５の容積が増大する。そして、吐出チャネル４５の容積が増大したことにより、共通インク室１７内に貯留されたインクＷがスリット１９から吐出チャネル４５内に誘導される。そして、吐出チャネル４５の内部に誘導されたインクＷは圧力波となって吐出チャネル４５の内部を通過し、この圧力波がノズル孔３３ａに到達したタイミングで、駆動電極３７に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、側壁３６の変形が元に戻り、一旦増大した吐出チャネル４５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル４５の内部の圧力が増加し、インクＷが加圧される。その結果、インクＷが吐出チャネル４５内から吐出される。
【００７７】
吐出されたインクＷは、ノズル孔３３ａを通って外部に吐出される。しかもノズル孔３３ａを通過する際に、インクＷは液滴状、すなわちインク滴となって吐出される。その結果、上述したように、記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
特に、本実施形態のノズル孔３３ａは、断面テーパ状であるので、インク滴を速い速度で真っ直ぐに直進性良く吐出することができる。よって、高画質に記録を行うことができる。
【００７８】
このように、本実施形態では、複数の吐出チャネル４５のうち、矢印Ｌ１方向の両端に位置する吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１（矢印Ｌ３方向における長さ）を、中央に位置する吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長く形成する構成とした。
この構成によれば、両端の吐出チャネル４５ａは中央の吐出チャネル４５ｂよりもチャネル長が長く形成されているため、両端の吐出チャネル４５ａの容積を中央の吐出チャネル４５ｂよりも大きくできる。この場合、上述したように接着時において、両端の吐出チャネル４５ａ内には中央の吐出チャネル４５ｂ内に比べて大量の余剰な接着剤が流れ込むことで、両吐出チャネル４５ａ，４５ｂ間での容積が略均等になる。
【００７９】
すなわち、両端の吐出チャネル４５ａを中央の吐出チャネル４５ｂに比べて予め大きく形成しておくことで、余剰接着材の流れ込みによる各吐出チャネル４５間での容積のバラツキを抑制できる。その結果、両端の吐出チャネル４５ａでの液体吐出速度の遅れを抑制して、複数のノズル孔３３ａから均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができる。この際、両側（最端）の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１を、中央（他）の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２に対して２％以上長く形成することで、余剰接着剤が流れ込んだ後の、各吐出チャネル４５間の容積差を確実に縮小できるため、複数の吐出チャネル４５によるインクＷの吐出速度のバラツキを低減できる。
したがって、上述したインクジェットヘッド２を備えるインクジェットプリンタ１によれば、両端のノズル孔３３ａから記録紙Ｐの所定位置に正確にインクＷが当てることができ、高品質の記録を実現することができる。
【００８０】
特に、従来のように各吐出チャネル４５間において矢印Ｌ２方向での深さを変えることがないので、各吐出チャネル４５を形成する側壁３６の側面に、同一工程で同一の高さ分（略半分の位置）だけ駆動電極３７を一括して形成することができる。これにより、全ての吐出チャネル４５を形成する側壁３６を効率的に屈曲させることができ、駆動効率を維持できる。
また、各吐出チャネル４５間において、矢印Ｌ１方向での幅を変えることもないので、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１との接着性も維持できる。
【００８１】
しかも、上述したヘッドチップ２１では、両端の吐出チャネル４５ａのチャネル長Ｋ１を、中央の吐出チャネル４５ｂのチャネル長Ｋ２よりも長くするだけなので、従来の製作工程と略同一の工程でアクチュエータプレート３０を作成することが可能である。具体的に、本実施形態では、両端の吐出チャネル４５ａと、中央の吐出チャネル４５ｂと、でダイスカッター２１５の外径を変更するだけで、ダイスカッター２１５の走行量を変更させずに、簡単にチャネル長の長さを変化させることができる。そのため、生産性を低下させることなく、アクチュエータプレート３０にチャネル長の異なる吐出チャネル４５ａ，４５ｂを形成することができる。
【００８２】
この場合、上述したヘッドチップ２１では、複数の吐出チャネル４５のうち、両側最端の吐出チャネル４５ａのみが他の吐出チャネル４５ｂよりもチャネル長が長くなっているので、両側最端の吐出チャネル４５ａを切削するときだけダイスカッター２１５の外径を変更すればよい。そのため、アクチュエータプレート３０を容易に作成することができ、生産性の低下を更に抑えることができる。
【００８３】
ところで、上述した実施形態では、チャネル３５のうち、矢印Ｌ１方向の両側最端のチャネル３５をダミーチャネル４６に設定し、この両側最端のダミーチャネル４６を基準に吐出チャネル４５及びダミーチャネル４６を矢印Ｌ１方向に沿って交互に形成する構成について説明した。
このようにした理由は、矢印Ｌ１方向における両側最端のチャネル３５の吐出効率の悪さに起因する。すなわち、両側最端のチャネル３５は一方（矢印Ｌ１方向内側）が側壁３６によって仕切られており、他方（矢印Ｌ１方向外側）が側壁３６ではなくアクチュエータプレート３０によって形成される外壁である。この場合、上述した斜方蒸着により外壁にも駆動電極３７は形成されるものの、外壁は側壁３６よりも矢印Ｌ１方向における幅が広いため、屈曲変形するものではない。そのため、両側最端のチャネル３５は一方の側壁３６のみが駆動する片壁駆動となる。このような片壁駆動には、使用可能（吐出できる）なインクと、使用不可能（吐出しない）なインクと、が存在する。
【００８４】
これに対して、本実施形態では、矢印Ｌ１方向の両側最端のチャネル３５を、ダミーチャネル４５として設定しているため、吐出チャネル４５のうち、最端の吐出チャネル４５ａであっても、両側は側壁３６で囲まれることになる。そのため、インクＷの種類を問わず、上述の効果を奏することができる。
【００８５】
なお、上述した実施形態では、複数の吐出チャネル４５のうちの両側最端の吐出チャネル４５ａだけが他の吐出チャネル４５ｂよりもチャネル長が長くなっていたが、これに限らず、図１１に示すように、複数の吐出チャネル４５のうち、配列方向両側の最端から複数の吐出チャネル４５ａのチャネル長が他の吐出チャネル４５ｂよりも長くなっていてもよい。
通常、両端に近い吐出チャネル４５ほど余剰な接着材が流れ込み易い。ここで、上述した構成にすることにより、複数の吐出チャネル４５の容量がより均一となり、複数の吐出チャネル４５による液体吐出速度のバラツキが低減される。これにより、より均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができ、さらに高品質の記録を実現することができる。
【００８６】
また、図１２に示すように、複数の吐出チャネル４５ａのチャネル長が矢印Ｌ１方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成しても構わない。
上述したように両端に近い吐出チャネル４５ほど余剰な接着材が流れ込み易い。ここで、上述した構成では、吐出チャネル４５のチャネル長が中央から両端に向かって漸次増大されていることで、余剰接着材の流れ込みが多い吐出チャネル４５ほどその容積が大きくなり、複数の吐出チャネル４５の容量がより均一となり、複数の吐出チャネル４５による液体吐出速度のバラツキが低減される。これにより、より均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができ、さらに高品質の記録を実現することができる。なお、図１１，図１２はアクチュエータプレートの平面図であるが、図中では説明を分かり易くするために浅溝部の記載を省略している。
【００８７】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図１３の（ａ）は図６のＢ−Ｂ線に相当する断面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ線に相当する断面図である。なお、以下の説明では、第１実施形態の構成と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００８８】
図１３に示すように、本実施形態では複数の吐出チャネル１４５のうち、吐出チャネル１４５の矢印Ｌ１方向の両端に位置する吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１（図１３（ａ）参照）が、中央に位置する吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成されている。ポンプ長とは、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１との接着領域の長さであり、矢印Ｌ３方向における吐出チャネル１４５の駆動領域の長さである。すなわち、本実施形態におけるポンプ長とは、矢印Ｌ３方向においてヘッドチップ２１の先端からスリット１９までの長さを示している。
【００８９】
本実施形態では、最端の吐出チャネル１４５ａに流れ込む余剰な接着材の流入量と、他の吐出チャネル１４５ｂに流れ込む余剰な接着材の流入量と、の差の分だけ駆動領域の容積が拡大するように、両側最端の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を他の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成する。例えば両側（最端）の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１は、中央（他）の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２と比べて２％〜１０％程度長く形成されている。なお、矢印Ｌ１方向における各吐出チャネル１４５の幅、矢印Ｌ２方向における長さ、及び矢印Ｌ３方向におけるチャネル長は、各吐出チャネル１４５間でそれぞれ同一に形成されている。
【００９０】
ここで、両側の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を、中央の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２と比べて長く形成するためには、図１４に示すように、ヘッドチップ２１の製造工程において、カバー基板２０１に形成するスリット１１９のうち、両側の吐出チャネル１４５ａに対応するスリット１１９ａを、中央の吐出チャネル１４５ｂに対応するスリット１１９ｂに比べて小さく形成する。さらに、両側の吐出チャネル１４５ａに対応するスリット１１９ａを、中央の吐出チャネル１４５ｂに対応するスリット１１９ｂに比べて第２ダイシングライン２１１の矢印Ｌ３方向における外側に形成する。これにより、両側最端の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１が、中央の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成される。
【００９１】
なお、両側の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を中央の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２に比べて長く形成するためには、上述した方法のうち、何れか一方のみを採用しても構わない。例えば、各スリット１１９のうち、両側の吐出チャネル１４５ａに対応するスリット１１９ａを、中央の吐出チャネル１４５ｂに対応するスリット１１９ｂに比べて、矢印Ｌ３方向における内側（ノズル孔３１側）から小さく形成してもよい。
また、スリット１１９ａ，１１９ｂの大きさは変えず、両側の吐出チャネル１４５ａに対応するスリット１１９ａを、中央の吐出チャネル１４５ｂに対応するスリット１１９ｂに比べて矢印Ｌ３方向における外側に配置してもよい。
【００９２】
本実施形態によれば、吐出チャネル１４５の矢印Ｌ１方向の両端に位置する吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を、中央に位置する吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長く形成することで、矢印Ｌ３方向における吐出チャネル１４５の駆動領域を長くできる。すなわち、両端の吐出チャネル１４５ａの駆動領域を、中央の吐出チャネル１４５ｂに比べて予め長く形成しておくことで、余剰接着材の流れ込みによる各吐出チャネル１４５間での駆動領域のバラツキを抑制できる。これにより、吐出チャネル１４５の容積を変えることなく、余剰接着材の流れ込みによる両側最端の吐出チャネル１４５ａによる液体吐出速度の遅れを抑制できる。その結果、複数のノズル孔３３ａから均一な吐出速度でインクＷを吐出させることができる。この際、両側（最端）の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１を、中央（他）の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２に対して２％以上長く形成することで、余剰接着剤が流れ込んだ後の、各吐出チャネル１４５間の駆動領域差を確実に縮小できるため、複数の吐出チャネル１４５によるインクＷの吐出速度のバラツキを低減できる。
【００９３】
なお、上述した実施形態では、複数の吐出チャネル１４５のうちの両側最端の吐出チャネル１４５ａのポンプ長Ｐ１だけが、他の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長Ｐ２よりも長くなっているが、これに限らず、配列方向両側の最端から複数の吐出チャネル１４５ａが他の吐出チャネル１４５ｂのポンプ長よりも長くなっていてもよい。
また、複数の吐出チャネル１４５のポンプ長が配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなっていてもよい。
【００９４】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図１５は図６に相当する図であり、第３実施形態におけるヘッドチップの断面図である。なお、以下の説明では、第１及び第２実施形態の構成と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態では、図１５に示すように、矢印Ｌ１方向に沿って配列されたチャネル２３５のうち、矢印Ｌ１方向両側から複数のチャネル２３５を吐出チャネル２４５としない（ダミーチャネル２４６とする）点で、上述した第１実施形態と相違している。
【００９５】
具体的には、各チャネル２３５のうち、矢印Ｌ１方向両側の最端のチャネル２３５から中央に向かって並んだ複数（例えば、３つ）のチャネル２３５は、カバープレート３１により閉塞されている。すなわち、アクチュエータプレート３０の矢印Ｌ１方向両側は、複数のダミーチャネル２４６が並んだダミー領域Ｒ１を構成している。
一方、矢印Ｌ１方向中央部（ダミー領域Ｒ間）では、インクＷが充填される吐出チャネル２４５と、インクＷが流入しないように構成されたダミーチャネル２４６と、が矢印Ｌ１方向に沿って交互に配列された吐出領域Ｒ２を構成している。
【００９６】
そして、吐出チャネル２４５のうち、吐出領域Ｒ２において矢印Ｌ１方向両側に位置する吐出チャネル２４５ａのチャネル長Ｋ１やポンプ長Ｐ１を、矢印Ｌ１方向中央部に位置する吐出チャネル２４５ｂよりも長くすることで、両端の吐出チャネル２４５ａでの液体吐出速度の遅れをより一層抑制できる。なお、ダミー領域Ｒ１におけるダミーチャネル２４６の数は、３つに限らず、適宜設計変更が可能である。また、図１５においては、ノズル孔３３ａが各チャネル２３５に対応して設けられている場合について説明したが、これに限らず、少なくとも吐出チャネル２４５に対応して設けられていればよい。
【００９７】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した各実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【００９８】
また、上述した各実施形態では、複数のノズル孔３３ａが配列方向に直線状に一列に配列されているが、本発明は、複数のノズル孔３３ａが直線状に配列されてなく、縦方向（矢印Ｌ２方向）にずらして配列されていてもよい。例えば、複数のノズル孔３３ａが斜めに配列されていてもよく、或いは、千鳥状に配列されていてもよい。
また、ノズル孔３３ａの形状に関しても、円形に限定されるものではない。例えば、三角等の多角形状や、楕円形状や星型形状でも構わない。
【００９９】
さらに、上述した実施形態では、チャネル長及びポンプ長の何れかを調整する場合について説明したが、これに限らず、チャネル長及びポンプ長の双方を調整しても構わない。
【０１００】
また、上述した実施形態では、スリット１９を介してインクＷが供給される吐出チャネル４５と、インクＷが供給されないダミーチャネル４６とを交互に形成した場合について説明したが、これに限られない。すなわち、例えば非水性のインクＷを利用する場合等は、スリット１９を設けずに、各吐出チャネル３４５と共通インク室１７とを連通させても構わない。例えば図１６に示すように、矢印Ｌ１方向に沿って配列されたチャネル３３５のうち、矢印Ｌ１方向の最端のチャネル３３５を、カバープレート３１により閉塞してダミーチャネル３４６とする。そして、ダミーチャネル３４６よりも矢印Ｌ１方向で内側に配列されたチャネル３３５を、共通インク室１７に連通する吐出チャネル３４５とする。
この場合、各吐出チャネル３４５のうち、矢印Ｌ１方向の最端の吐出チャネル３４５ａに連通する部分の共通インク室１７を、矢印Ｌ３方向で狭く、かつ基端側に形成することで、最端の吐出チャネル３４５ａのポンプ長を中央の吐出チャネル３４５ｂのポンプ長に比べて長く形成できる。なお、ダミーチャネル３４６に相当する部分にノズル孔３３ａを形成しなければ、仮にダミーチャネル３４６と共通インク室１７とが連通したとしても、ダミーチャネル３４６からインクが吐出されることはない。
【０１０１】
その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【０１０２】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置） ２…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド） ３…搬送手段 ４…移動手段 １９…スリット（導入孔） ２１…ヘッドチップ ２２…供給手段 ２３…制御手段 ３０，１３０…アクチュエータプレート ３１，１３１…カバープレート ３３…ノズルプレート ３３ａ…ノズル孔 ３５，２３５，３３５…チャネル ３６…側壁 ３７…駆動電極 ４５，４５ａ，４５ｂ，１４５，１４５ａ，１４５ｂ，２４５，２４５ａ，２４５ｂ，３４５ａ，３４５ｂ…吐出チャネル（チャネル） ４６，１４６，２４６，３４６…ダミーチャネル Ｐ…記録紙（被記録媒体） Ｗ…インク（液体）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、
前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、
前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、
前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、
前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップであって、
前記複数のチャネルのうち、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さよりも長く形成されていることを特徴とするヘッドチップ。
【請求項２】
前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端の前記チャネルのみが、他の前記チャネルよりも前記延在方向における長さが長く形成されていることを特徴とする請求項１記載のヘッドチップ。
【請求項３】
前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端から複数の前記チャネルが、他の前記チャネルよりも前記延在方向における長さが長く形成されていることを特徴とする請求項１記載のヘッドチップ。
【請求項４】
前記複数のチャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成されていることを特徴とする請求項３記載のヘッドチップ。
【請求項５】
前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さに対して２％以上長く形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項６】
液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、
前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、
前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、
前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、
前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップであって、
前記複数のチャネルのうち、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における前記カバープレートとの接着領域の長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における前記カバープレートとの接着領域の長さよりも長く形成されていることを特徴とするヘッドチップ。
【請求項７】
前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端の前記チャネルのみが、他の前記チャネルよりも前記接着領域が長く形成されていることを特徴とする請求項６記載のヘッドチップ。
【請求項８】
前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端から複数の前記チャネルが、他の前記チャネルよりも前記接着領域の長さが長く形成されていることを特徴とする請求項６記載のヘッドチップ。
【請求項９】
前記複数のチャネルの前記接着領域の長さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成されていることを特徴とする請求項６記載のヘッドチップ。
【請求項１０】
前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記接着領域の長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記接着領域の長さに対して２％以上長く形成されていることを特徴とする請求項６から請求項９の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項１１】
液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、
前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、
前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、
前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、
前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップの製造方法であって、
円板状のダイスカッターを用いて前記アクチュエータプレートに前記チャネルを形成するチャネル形成工程を有し、
前記チャネル形成工程は、
前記複数のチャネルのうち、配列方向の中央に位置する前記チャネルを、第１ダイスカッターを用いて形成する第１ダイシング工程と、
前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルを、前記第１ダイスカッターよりも外径が大きい第２ダイスカッターを用いて形成する第２ダイシング工程と、を有していることを特徴とするヘッドチップの製造方法。
【請求項１２】
請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のヘッドチップと、
前記液体を前記導入孔に供給する供給手段と、
前記駆動電極に前記駆動電圧を印加する制御手段と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１３】
被記録媒体を予め決められた搬送方向に沿って搬送する搬送手段と、
前記搬送手段によって搬送された前記被記録媒体の表面に対して前記噴射孔が対向する向きに配置された請求項１２に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項１】
液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、
前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、
前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、
前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、
前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップであって、
前記複数のチャネルのうち、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さよりも長く形成されていることを特徴とするヘッドチップ。
【請求項２】
前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端の前記チャネルのみが、他の前記チャネルよりも前記延在方向における長さが長く形成されていることを特徴とする請求項１記載のヘッドチップ。
【請求項３】
前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端から複数の前記チャネルが、他の前記チャネルよりも前記延在方向における長さが長く形成されていることを特徴とする請求項１記載のヘッドチップ。
【請求項４】
前記複数のチャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成されていることを特徴とする請求項３記載のヘッドチップ。
【請求項５】
前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における長さに対して２％以上長く形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項６】
液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、
前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、
前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、
前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、
前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップであって、
前記複数のチャネルのうち、前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記延在方向における前記カバープレートとの接着領域の長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記延在方向における前記カバープレートとの接着領域の長さよりも長く形成されていることを特徴とするヘッドチップ。
【請求項７】
前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端の前記チャネルのみが、他の前記チャネルよりも前記接着領域が長く形成されていることを特徴とする請求項６記載のヘッドチップ。
【請求項８】
前記複数のチャネルのうち、配列方向両側の最端から複数の前記チャネルが、他の前記チャネルよりも前記接着領域の長さが長く形成されていることを特徴とする請求項６記載のヘッドチップ。
【請求項９】
前記複数のチャネルの前記接着領域の長さが、前記配列方向の中央から両端に向かって漸次長くなるように形成されていることを特徴とする請求項６記載のヘッドチップ。
【請求項１０】
前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルの前記接着領域の長さが、前記配列方向の中央に位置する前記チャネルの前記接着領域の長さに対して２％以上長く形成されていることを特徴とする請求項６から請求項９の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項１１】
液体が充填されるチャネルが間隔をあけて並列に複数形成されるとともに、前記チャネルの延在方向における一端側が端面において開放されたアクチュエータプレートと、
前記チャネルの側壁に形成された駆動電極と、
前記チャネルが形成された前記アクチュエータプレートの表面に接着材を介して貼着されて前記チャネルを覆うとともに、前記チャネル内に前記液体を導入する導入孔を有するカバープレートと、
前記アクチュエータプレートにおける前記端面に接着材を介して貼着され、前記チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、
前記駆動電極に駆動電圧を印加することで、前記側壁を変形させて前記チャネル内の圧力を高め、前記チャネル内の前記液体を前記噴射孔から噴射させるヘッドチップの製造方法であって、
円板状のダイスカッターを用いて前記アクチュエータプレートに前記チャネルを形成するチャネル形成工程を有し、
前記チャネル形成工程は、
前記複数のチャネルのうち、配列方向の中央に位置する前記チャネルを、第１ダイスカッターを用いて形成する第１ダイシング工程と、
前記チャネルの配列方向の両端に位置する前記チャネルを、前記第１ダイスカッターよりも外径が大きい第２ダイスカッターを用いて形成する第２ダイシング工程と、を有していることを特徴とするヘッドチップの製造方法。
【請求項１２】
請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のヘッドチップと、
前記液体を前記導入孔に供給する供給手段と、
前記駆動電極に前記駆動電圧を印加する制御手段と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１３】
被記録媒体を予め決められた搬送方向に沿って搬送する搬送手段と、
前記搬送手段によって搬送された前記被記録媒体の表面に対して前記噴射孔が対向する向きに配置された請求項１２に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする液体噴射装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１２−２１８１８２（Ｐ２０１２−２１８１８２Ａ）
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８３０５３（Ｐ２０１１−８３０５３）
【出願日】平成２３年４月４日（２０１１．４．４）
【出願人】（５０１１６７７２５）エスアイアイ・プリンテック株式会社 (198)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月４日（２０１１．４．４）
【出願人】（５０１１６７７２５）エスアイアイ・プリンテック株式会社 (198)
【Ｆターム（参考）】
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