【課題】フレキシブル配線材４０とアクチュエータの熱圧着による接続において、フレキシブル配線材４０における熱膨張差にもとづくゆがみを低減し、接続部の信頼性向上を図る。
【解決手段】フレキシブル配線材４０は、一端部をアクチュエータに熱圧着によって接合され、その表面と平行でかつインクを吐出するノズル列と直交する方向に引き出され、アクチュエータの各電極端子に対応して、各電極ランド６０、６１が形成されている。各電極ランド６０、６１は、熱圧着によるフレキシブル配線材４０の熱膨張を予め補正した位置に設置されている。また、フレキシブル配線材４０の幅方向の両側縁には、アクチュエータと接合された境界Ｃ−Ｃ近傍に、略台形形状の切欠部４０ａが形成され、上記熱圧着される部分と引き出されたフレキシブル配線材４０の部分との熱膨張さによるゆがみを緩和している。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータを運搬するための吸着ハンドスペースを設けながら、電気的に安定した配線材の接続構造を提供することを目的とする。
【解決手段】アクチュエータ３０の複数のエネルギー発生部に共通に接続されたコモン表面電極３４が、アクチュエータ３０の両端の外周に沿って帯状に設けられ、そのコモン表面電極３４の略中央部にスペース３４ａをおいて、その上にコモン電極端子３５が形成されている。フレキシブル配線材４０は、各コモン電極端子３５に対応する位置と、個別表面電極３６の略中央部のスペース３４ａに対応する位置とにコモン電極ランド６１を形成し、その上にバンプ電極を設け、各コモン電極端子３５と、コモン表面電極３４の略中央部３４ａとが、対応するバンプ電極と接続されている。スペース３４ａは、アクチュエータを運搬するための吸着ハンドスペースとして利用される。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子を用いた記録ヘッド及び記録ヘッドの製造方法に関し、製造工程の簡略化を図ると同時に、スリット加工精度のバラツキを抑制して安定した吐出性能、小型化を実現する。
【解決手段】 圧電材料と内部電極とが積層された積層体に対して、第１のスリットを形成する工程と、電極を蒸着する工程と、第２のスリットを形成する工程と、切断分離する工程とを有し、第１のスリット加工においては、切り込み量H1及びH2のスリットを交互に形成し、さらに前記第２のスリット加工においては、第１のスリットに直交する方向に切り込み量H3のスリットを形成し、個別圧電素子を形成する。
この際、各切り込み量についてH1>H3>H2を満たすよう設定する。 （もっと読む）

【課題】 ピエゾ方式のインクジェットヘッドのノズル径を、高解像度画像の形成に対応できるように微少化した場合にも、吐出不良を生じず、安定してインクを噴射できるようにする。
【解決手段】
インク室（共通インク室）７、該インク室７と接続流路４０で連通している圧力室３６、該圧力室３６に連通し、インクを噴射するためのノズル４、及び該圧力室３６中のインクに吐出圧力を印加するための圧電アクチュエータ２を有し、該インク室７の先から該ノズル４の先端までの間でインク流路を構成しているインクジェットヘッドにおいて、該ノズル４の先端の開口径を１５〜２５μｍとし、該インク流路に粘度２．５〜３．０ｍＰａ・ｓのインクを通過させたときの該インク流路の流路抵抗値が５０〜１００ｋＰａ・ｓ／ｍｍ^３となるように構成する。好ましくは、接続流路４０の少なくとも１部に絞り部を設ける。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットプリンタヘッドにおける圧電アクチュエータ１２をキャビティユニット１１に接合するときの不良を無くする。
【解決手段】 圧電アクチュエータ１２におけトップシート３５の上面には、各個別電極３６から内部導通電極を介して導通され、且つフラットケーブル１３に電気的に接合するための個別用表面電極６６を前記ノズルの列方向に沿って適宜間隔にて列状に形成する。そのとき、各個別用表面電極６６は隣接する圧力室２３，２３の間の隔壁７０の上方に配置する。これにより、圧電アクチュエータ１２をキャビティユニット１１に接合するとき、隔壁７０に対し圧電アクチュエータ１２を確実に接着でき、圧力室間のインク漏れを少なくできる。また、空洞である各圧力室２３上に直接押圧力が作用しないから、当該各圧力室２３が変形したり、圧電アクチュエータ１２がひび割れすることがない。
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【課題】ノズルを高い集積度で配置するのに伴って、圧力室の平面積が小さくなっても、圧電アクチエータの駆動電圧を増加させることなく、所定の吐出速度を得る。
【解決手段】圧電アクチュエータ２の活性部５４の変位により、キャビティユニット１の圧力室３６の容積を変化させて、圧力室３６の液体をノズルから吐出するように構成された液滴吐出装置において、圧力室３６及び活性部５４には、キャビティユニット１と圧電アクチエータ２との積層方向からの平面視で細長形状に形成され、前記積層方向からの平面視における活性５４の長手方向の寸法Ｌ１を、１．５ｍｍ以下とし、前記積層方向に平行な圧力室３６の高さ寸法Ｔ１を、４０〜６０μｍとし、圧力室３６にて、圧電アクチュエータ２と対向する側の面を構成する部材の厚み寸法Ｔ２を、１００〜１５０μｍとする。 （もっと読む）

【課題】ノズルからのインクの吐出特性のばらつきを小さくする。
【解決手段】インクジェットヘッドにおいては、予め所定の電位が与えられている個別電極を一旦グランド電位にし、時間Ａ経過後、再び個別電極に所定の電位を与え、さらに、時間Ｂ経過後、個別電極をグランド電位にし、時間Ｃ経過後、再び個別電極に所定の電圧を与えることによって、印字周期の間にノズルから２つのインク滴を連続して吐出することによって印字を行う。時間Ａ、Ｂ、Ｃは、圧力室１０の容積を増加させたときに発生する圧力波が反射して圧力室１０に戻ってくるのにかかる時間の半分の時間ＡＬに対して、４．５ＡＬ≦Ａ＋Ｂ＋Ｃ≦５．４ＡＬ、２．６０ＡＬ≦Ｂ≦３．３５ＡＬ及び０．９２ＡＬ≦Ｃ≦１．０３ＡＬの関係を全て満たすように設定されている。 （もっと読む）

【課題】マニホールド流路において効率よく圧力波を減衰させる。
【解決手段】インクジェットヘッド３において、複数の圧力室１０にインクを供給するマニホールド流路１１には、突起１７を挟んで、複数の圧力室１０に連通する第１領域１１ａと、ダミーノズルに連通する第２領域１１ｂとが形成されている。第２領域１１ｂの上部には空気Ａが存在し、空気Ａはマニホールド流路１１内のインクと接している。圧電アクチュエータ３２により圧力室１０内のインクに圧力を付与し、ノズルからインクを噴射するとき、圧力室１０内には圧力波が発生し、この圧力波がマニホールド流路１１に伝播する。そして、第２領域１１ｂにおいてマニホールド流路１１内のインクと接している空気Ａによりマニホールド流路１１内に伝播した圧力波を減衰させる。 （もっと読む）

【課題】優れた圧電特性を得ることができる圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１０上に下電極６０を形成する工程と、前記下電極６０上に圧電材料からなる圧電体前駆体膜７１を形成して、該圧電体前駆体膜７１を焼成して結晶化させた圧電体膜７２からなる圧電体層７０を形成する工程と、前記圧電体層７０上に上電極を形成する工程とを具備し、前記下電極６０を形成する工程では、最下層に密着層６１を形成する工程と、白金からなる白金層６２をＸ線回折広角法による（１１１）面半価幅が０．４６度以上で形成する工程と、最上層に拡散防止層６３を形成する工程とを有し、且つ前記圧電体層７０を形成する工程では、前記圧電体前駆体膜７１を昇温レート５０℃／ｓｅｃ以上で焼成する。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の特性を向上でき且つ圧電体層の特性を均一化できる圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１０上に下電極６０を形成する工程と、前記下電極６０上に厚さが３．５〜５．５ｎｍの種チタン層６４を形成する工程と、前記種チタン層６４上に圧電材料からなる圧電体前駆体膜７１を形成すると共に該圧電体前駆体膜７１を昇温レートが５０℃／ｓｅｃ以上で焼成して結晶化させた圧電体膜７２からなる圧電体層７０を形成する工程と、前記圧電体層７０上に上電極を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】駆動回路及び配線の高密度化を実現するとともに、高い信頼性が確保される液体吐出ヘッド及び画像形成装置並びに液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ヘッドを構成する各ヘッドユニット１２は、ノズル形成面と略直交する面に配設された圧電素子３２と圧電素子３２に駆動信号を与える駆動回路３４とを有する振動板５０と、振動板５０の圧電素子３２と反対側に接合され、ノズルと連通するように形成される圧力室を有する流路基板５２と、圧電素子３２の変位空間を確保するとともに、駆動回路３４が収容される隔壁プレート５４を積層して構成される。各ヘッドユニット１２の駆動回路３４からヘッドの外部に引き出される配線は、各ヘッドユニット貫通するように形成されるビアを介してヘッドの最表面に引き出され、該最表面でフレキシブル基板と接合される。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドのノズル数を支障なく増加させる。
【解決手段】本発明は電極層と圧電材料層とが交互に積層され、両層の積層方向に振動する複数の圧電振動子３３を備えた圧電アクチュエータユニット２９である。複数の圧電振動子３３は、積層方向に直交する振動子配列方向に沿って一列に並設されている。各圧電振動子３３は、積層方向及び振動子配列方向の両方に直交する振動子幅方向の一側の領域と他側の領域とを含み、一側の領域と他側の領域のいずれか一方が圧電変形可能な活性部を形成すると共にいずれか他方が圧電変形不能な非活性部を形成しており、隣り合う圧電振動子同士では活性部及び非活性部の配置が逆である。 （もっと読む）

【課題】微細な電気配線の密着性を高めることができ、電気接続の信頼性の高い配線基板及びその製造方法、並びに液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】基板１２上にアンダーカット部１４Ａを有する配線溝１４を形成し、その配線溝１４のアンダーカット部１４Ａに導電性材料１６をメッキ処理して、電気配線を形成する。導電性材料１６は、アンダーカット部１４Ａのアンカー効果で抜け落ちが防止され、高い密着性をもって配線溝１４内に配置することができる。 （もっと読む）

【課題】ランドパターンの面積を拡大して半田付不良を確実に防止できると共に、インク圧力室の実装密度の向上を図ることができるインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】第１圧電層２１の上面部には、各インク圧力室１９Ａに対応する位置に該インク圧力室１９Ａの投影形状よりも少し小さいほぼ相似形の略菱形の駆動電極２０Ａと、該駆動電極２０Ａの鋭角部から連続して形成される矢印形状のランドパターン２０Ｂが形成されている。また、各ランドパターン２０Ｂの略中央部には、貫通孔２０Ｃが穿設されている。また、第３圧電層２３の上面部には、前記各駆動電極２０Ａ及びランドパターン２０Ｂに対応する位置に、該駆動電極２０Ａ及びランドパターン２０Ｂとほぼ同じ形状の内部電極２３Ａが多数形成されている。そして、ランドパターン２０Ｂと内部電極２３Ａとは、スルーホール３０により電気的に接合される。 （もっと読む）

【課題】インク吐出用アクチュエータと外部回路との電気的接続経路を簡略化して、記録ヘッドの製造を容易にするとともに、記録ヘッド全体でのコストダウンを図り、電力配線のインピーダンスを低減させ、インク吐出口面と記録媒体との間隔を短縮して、インク弾道のずれによる画質低下を防止し、前記電気的接続経路の構造を平坦化して、インク吐出面に付着したインクを拭き取りやすくする。
【解決手段】インクジェットプリンタのヘッドにおいて、インクを吐出させるアクチュエータに無線通信手段を搭載して、アクチュエータとアクチュエータ制御回路との信号線接続を無線通信で行うことにより、有線通信路を削除または削減する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドの電気配線部材の電気信号入力端子部の腐食を防ぐ。
【解決手段】インク供給部材１１０に固定された流路プレート１２０に図示しないインク吐出部材を固定する。インク吐出部材に電気信号を送信するための電気配線部材１４０は、インク吐出部材の実装面を形成するベースフィルムを有し、ベースフィルム上に配線パターンを形成し、金メッキ等のメッキ処理を施してカバーフィルムで保護した積層構造を有する。電気信号入力端子部１４１は、カバーフィルムに形成した開口部から露出する配線パターンによって形成される。電気配線部材１４０を第１の屈曲部Ｆ₁ で折り曲げた後、第２の屈曲部Ｆ₂ で２重に折り重ねて、カバーフィルム側の電気信号入力端子部１４１を表側にしてインク供給部材１１０に固定する。 （もっと読む）

【課題】クロストークによる障害なしにインク流路を接近可能とし、インクジェットプリンタヘッドを低コストで小形化することを可能にする圧電基板の製造方法を提供する。
【解決手段】内部に圧電駆動電極を有する圧電基板の製造に際し、所定部に整列する複数の第１のスルーホール（62）を形成した少なくとも１枚の第１のグリーンシート（61-1）を、該第１のスルーホール（62）のそれぞれに連通する複数の第２のスルーホールと該第２のスルーホールの形成部から延在し該圧電駆動電極の電極パターン(63-1,63-2)を形成した複数枚の第２のグリーンシート(61-2,61-3)に重ね、該複数枚の第２のグリーンシートを複数枚の第３のグリーンシート(61-4)に重ねた焼成処理で、一体化された焼成体を形成する工程と、連通する該第１のスルーホールと第２のスルーホールの内壁に導電層を形成する工程と、該複数のスルーホールの整列方向に該焼成体を分割する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 選択的に個別電極に電圧を印加したとき、キャビティユニットへの電圧漏れによって、帯電したインクがアクチュエータのセラミックス層に浸透することから保護し、安定したインクの吐出を実現する。
【解決手段】 キャビティユニット２０は、インクを吐出する複数のノズル１５とそのノズル１５に連通する複数の圧力室１６を有する。アクチュエータ３０は、複数の圧力室１６を覆う最下層のセラミックス層３１ａ１を含んだセラミックス層３１が積層し、少なくとも１つのセラミックス層３１を挟んで個別電極３３とコモン電極３２が対向して位置し、コモン電極３２はグランドに接続し、個別電極３３に正の電圧を印加する。第２の外部電源から出力された負の電圧が、キャビティユニット２０に接続された負の電源導線４２ａを流れ、キャビティユニット２０の電位をコモン電極３２よりも低い電位にする。 （もっと読む）

【課題】電極間で高い接続信頼性を確保することができ、２次元マトリクス構造で配列される多数の電極群の接続への適用も可能な電気接続構造を提供し、併せてその電気接続構造を用いた液体吐出ヘッド及びその製造方法並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】本発明による電気接続構造は、第１の電極部(42)が設けられた第１の基板(26)と、第１の電極部(42)に対向する第２の電極部(46-1)及び第２の電極部(46-1)に繋がる配線パターンが設けられた第２の基板(30-1)と、第１の基板(26)と第２の基板(30-1)の間に配置され、第１の電極部(42)に対応する位置に、第１の電極部(42)及び第２の電極部(46-1)の高さの合計(h1＋h2)よりも深く、且つ第１の電極部(42)の領域(SL)以上の開口面積(Sc)を有する貫通穴(28Ａ)が形成された絶縁性のキャビティ基板(28)と、貫通穴(28Ａ)に充填された導電性材料(44)と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 積層型圧電素子の不活性部が活性部によって変位することで液室やノズル板の支持効果が得られなくなる。
【解決手段】 記録液の液滴を吐出するノズル４と、このノズル４が連通する液室６と、この液室６の壁面を形成する振動板２と、この振動板２を変位させる積層型圧電素子１２とを備え、積層型圧電素子１２は、電圧印加で変位を生じる活性部３１と変位を生じない不活性部３２とを有し、不活性部３２を接続部２Ａを介して振動板２に接続したとき、不活性部３２の長さＬｕを活性部３１が変位したときでも液室支持効果が失われない長さとした。 （もっと読む）