【課題】焼成反りが小さく、駆動電極を高密度に配列した場合でも、不要な圧電振動を抑制し、変位のばらつきを低減した圧電アクチュエータ及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】振動板２上に設けられた複数のコモン電極４ａと、４ａを覆うように該振動板２の上に設けられた圧電セラミック層５と、５の上に、コモン電極４ａの各々と対向するように５の上に設けた複数の駆動電極６ａと、５の表面に、６ａの各々にそれぞれ隣接するように設けられた複数の接地端子４ｄ及び電圧端子６ｄと、を具備し、各接地端子４ｄと各コモン電極４ａとをビア電極４ｃを介し電気的接続し、各電圧端子６ｄと各駆動電極６ａとをそれぞれ電気的接続して、コモン電極４ａと駆動電極６ａの間に電圧印加させて、コモン電極４ａ、駆動電極６ａ及びこれらに挟持される圧電セラミック層５によって構成される変位素子７が、変位することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を得ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１０は，
基板１と、
基板１の上方に形成された第１導電層４と、
第１導電層４の上方に形成された、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層５と、
圧電体層５に電気的に接続された第２導電層６と、を含み、
第１導電層４は、（００１）に優先配向しているニッケル酸ランタンからなる導電性酸化層４２を含み、
ニッケル酸ランタンは，酸素が欠損している。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータ部の配線接続部における上電極と下電極の高低差を低減し、配線基板との接続不良を防ぐ。
【解決手段】流路基板１に形成された圧力発生室２を覆うように配設された振動板４上に、下電極５、圧電層６、上電極７を順次積層して圧電アクチュエータ部８を形成し、上電極７および下電極５を配線接続部９まで引き出して、駆動信号を供給する配線基板に接続する。圧電層６は、その膜厚を漸減しながら下電極５の積層領域を越えて延在する膜厚漸減部６ａを有し、上電極７は、膜厚漸減部６ａに沿って下電極５と同一平面に引き出される。 （もっと読む）

【課題】 インク等の液滴を吐出する場合に、そのノズル数に対して駆動用の制御回路の出力数を少なくすることができ、制御回路のコストダウンを図る。
【解決手段】 圧電アクチュエータ２の活性部２０の変位により、キャビティユニット１にて液体が充填された圧力室５の容積を変化させて、キャビティユニット１のノズル４から液滴を吐出させる液滴吐出装置において、圧電アクチュエータ２は、ｍ行×ｎ列（ｍ、ｎは２以上の整数）に配置された各圧力室５と対応する位置で、複数の列に渡って連続し各行毎に独立した複数の第１の電極３２を有する層と、前記各圧力室５と対応する位置で複数の行に渡って連続し各列毎に独立した複数の第２の電極３５を有する層とを備え、第１の電極３２の任意の行と第２の電極３５の任意の列とに選択的に印加する電圧を制御し、該行と列とに対応する前記活性部２０を圧力室５に対して変位させる制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータとキャビティユニットとの位置合わせを高精度に行うために、キャビティユニットに設けられた検出部を正確に把握することのできるインクジェットヘッド及びその組立方法の提供を目的とする。
【解決手段】 ノズル１１ａ及びそれに対応した圧力室２３を有するキャビティユニット１０と、その背面に積層され、圧力室２３を選択的に駆動可能なアクチュエータ１２とが備えられるインクジェットヘッド１において、キャビティユニット１０には、アクチュエータ１２との位置合わせ用に、圧力室を形成したキャビティプレート２１に検出部６０としての開口部６２が設けられ、この検出部６０は、キャビティユニット１０をその積層方向に貫通した貫通孔６１の上端開口部６２として設けられている。ノズルプレート１１側から照射した光が貫通孔６１を透過し、受像装置８２で開口部６２が撮像される。その撮像に基づいてキャビティユニット１０の重心位置が求められ、アクチュエータと正確に重ねられる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子と振動板の密着性、振動板の信頼性を向上させるとともに、吐出安定化を図る。
【解決手段】液体を吐出するノズルと連通する圧力室を加圧する振動板を変形する積層圧電素子を、薄膜形成技術によって、前記振動板上に形成する際、前記振動板と前記積層圧電素子の接合部の面積より、前記圧力室の一つの内壁面を形成する振動板の有効振動板面積の方が大きく、さらに、前記有効振動板面積よりも積層圧電素子の活性部の面積の方が大きく、かつ、積層圧電素子の積層方向に垂直な断面積が、積層方向に進むに従って小さくなるように、前記積層圧電素子を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰＣとアクチュエータユニットとの加熱接合時にＦＰＣが下垂してアクチュエータユニットの圧力室対向領域に接触しないようにする。
【解決手段】 圧力室１０が形成された流路ユニットには、アクチュエータユニット２１が接着されている。個別電極３５は、ランド３６及び導電性接着剤層３７を介してＦＰＣ５０に形成されたコンタクト５４と電気的に接続されている。圧電シート４１上において個別電極３５の中心に対してランド３６と点対称の位置には、下スペーサ層６１が形成されている。下スペーサ層６１上には中スペーサ層６２及び上スペーサ層６３が順次形成されている。下スペーサ層６１、中スペーサ層６２及び上スペーサ層６３から構成されたスペーサ６５は、１つの個別電極３５に対して１つずつ形成されている。 （もっと読む）

【解決手段】 感光性樹脂（３８）の構造層内に作られているチャンバ（４２）と、それぞれの対応するインク供給管（５６）は、タンタルと金の保護層（３４、３６）で作られた平坦な底壁（３６）と、少なくとも１つの射出ノズル（４６）を含み、連続する外周線（５２）に沿って底壁に連結されている、実質的に凸状の表面で構成された上壁（４４）と、によって境界が定められており、各チャンバ（４２）と各供給管（５６）の内側形状は、金属の、制御された非包囲式の金属の成長から得られ、タンタルの層（３４）の上に載っている金の層（３６）の寸法から始めて堆積した犠牲層（５７）の外側形状の相補形の印象なっている。
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【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、発熱部を精度高く形成できるようにして発熱部の小面積化を可能とするとともに、電極配線の腐食ないしその進行を抑制する。
【解決手段】 基体上に耐腐食性金属でなる薄膜の第１電極１０１を配置し、その上にＡｌでなる第２電極１０３を重畳させ、さらに発熱抵抗層１０７を配置し、発熱部を第１電極の間隙で形成する。これにより大きな寸法ばらつきを生じることなく発熱部が形成される。発熱部上または近傍に保護膜の欠陥が生じても、発熱抵抗体層の材料はＡｌより侵食に強くかつ第１電極は耐腐食性であるので、腐食の進行を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 液体に変位を伝達する場合でも、積層型圧電素子の絶縁劣化を抑止することが可能な圧電装置を提供すること。
【解決手段】 液室３１は、積層型圧電素子（積層体１）の一方の端面に隣接して配置されると共に、一方の端面である圧電体層９によりその一部が画成される。液室３１には、当該液室３１に蓄えられる液体に接するように電極３５が配置されている。電極３５は、外部電極１７，１８と同様に、リード線等を通して制御ユニットＣＵに接続される。電極３５には、制御ユニットＣＵにより外部電極１８に負の駆動電圧が印加される際に、外部電極１８と同じく負の駆動電圧が印加される。これにより、電極３５は、圧電体層９に隣接するコモン電極１９と極性が同じとされ、液室３１に蓄えられる液体の極性も圧電体層９に隣接するコモン電極１９の極性と同じとされる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルからのインク吐出量を増加させ且つ電極間ショートなどの圧電アクチュエータの故障が生じにくくなるようにする。
【解決手段】 キャビティプレート１５においてベースプレート１４に接する面には凹部５１が形成されている。凹部５１の底面５１ａとアクチュエータユニット２０との間には、キャビティプレート１５の一部である壁体１６が存在している。壁体１６は、個別電極２４に対向する領域１６ａと対向しない領域１６ｂとからなる。アクチュエータユニット２０において圧力室３６に面する面の領域１６ａに接する領域には、インクが直接触れることがないので、アクチュエータユニット２０の故障が生じにくい。また、領域１６ｂには長孔５２が形成されているため、壁体１６によるアクチュエータユニット２０の変形阻害が抑制されてインク吐出量が増加する。 （もっと読む）

【課題】液体を吐出する駆動素子の連続的遅延変位駆動を可能とし、吐出効率を向上させる。
【解決手段】液体を吐出する液体吐出口及び液体供給口を有する圧力室と、前記圧力室の隔壁に形成された薄膜状の圧電体と、前記圧電体を駆動する電極とを備えた液体吐出ヘッドであって、前記電極に駆動信号を供給する電極接続部が前記供給口側に配置され、前記電極が、一つの面内で、前記液体供給口側から前記液体吐出口側へ向かって複数に枝分かれした電極となっていることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 不必要な静電容量の発生及びクロストークの発生を抑制可能なインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータユニット２１は、複数の圧力室１０に跨るように延在した圧電シート４１〜４４と、それぞれが圧電シート４１〜４４上において各圧力室１０に対向する位置に配置された複数の個別電極３５と、複数の個別電極３５と共に圧電シート４１〜４４を挟む共通電極３４とを有し、このアクチュエータユニット２１の表面には、誘電率が圧電シート４１〜４４よりも小さい誘電膜６０が形成され、さらに、この誘電膜６０の表面には実質的に同じ方向に延在する複数の配線６３が形成されている。そして、個別電極３５とこれに対応する配線６３とが、誘電膜６０に形成されたスルーホール６０ａ内に配置された配線６２により接続されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子３００を第１リード電極９０及び第２リード電極９１との接続部を除いて耐湿性を有する材料からなる保護膜１００によって覆い、且つ、第１リード電極９０及び第２リード電極９１を保護膜１００上に延設し、第１リード電極９０と上電極膜８０とのそれぞれの接続部及び第２リード電極９１と下電極膜６０との接続部を含む領域をポリイミド製の絶縁膜１１０で覆い、防湿性を持たせると共に結露による接続部での上電極膜８０と下電極膜６０との短絡を防止する。 （もっと読む）