【課題】独立チャネル、ハーモニカ型の複数チャネル列のヘッドチップ後面の端部に、各インクチャネルから引き出した各接続電極を並設させ、ＦＰＣ等との電気的接続時の容易化を図る。
【解決手段】インクチャネル12と空気チャネル13を交互に配置したチャネル列を複数有するヘッドチップ1の端部側のいずれかのチャネル列をＡ列、該Ａ列に隣接するチャネル列をＢ列とするとき、ヘッドチップ1の後面に、Ａ列の空気チャネル13の駆動電極14と導通する共通電極15AをＢ列側に引き出し、Ｂ列の空気チャネル13の駆動電極14と導通する共通電極15BをＡ列側又は該Ａ列の反対側に引き出し、Ａ列のインクチャネル12の駆動電極14と導通する接続電極16Aを、ヘッドチップ1の端部に向けて引き出し、Ｂ列のインクチャネル12の駆動電極14と導通する接続電極161B,162BをＡ列側に引き出し、且つ該Ａ列の共通電極15A及び該Ａ列を跨いで、該Ａ列の接続電極16Aと並列するように配線する。 （もっと読む）

【課題】樹脂層を金属部材に接着剤を介することなく接合した振動板部材にあって、振動板領域を形成する樹脂層単層部分で皺が発生して、ノズル間での滴吐出特性にバラツキが生じることを防止する。
【解決手段】振動板部材２は、ＳＵＳ基板などの金属部材に、この金属部材の熱膨張係数よりも大きな線膨張係数を有する樹脂、例えば金属部材の熱膨張係数よりも大きな線膨張係数に調製したポリイミド前駆体を直接塗布（塗工）し、この塗工膜を加熱してイミド化して固化させることで、金属部材上に直接接着剤を介することなく樹脂層を接合形成して、振動板領域２Ａを樹脂層の単層構成とした。 （もっと読む）

【課題】 従来以上の高画質高速印字を可能にする、高密度・多数のヒータを基板内に配置し小型化を実現した電力効率の良い記録用基板及び該基板を備えた記録ヘッド及び記録装置記録を提供する。
【解決手段】 電源配線がトランジスタ上に絶縁層を挟んで複数の配線層で形成され、接地配線が駆動回路上に絶縁層を挟んで複数の配線層で形成され、長い配線は厚い配線層を用い、短い配線は薄い配線層を用いている個別多層配線。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッド構成で、（a）基板もしくは配線部材の電極上に金属バンプを設けて、そのバンプを介して電極間を接続する場合、電気接続部のインクからの封止が極めて困難であり、（b）異方導電性接着剤を介して電極間を接続する場合、隣接する電極の間隔が狭いため、対向する電極同士の高精度な位置合わせが要求され、基板の平坦性または電極自体の高さにばらつきがある場合、異方導電性部材中の導電性材料同士が接触しない、もしくは電極から離れてしまい、接続不良を起こす可能性があるため、歩留まりが低下する。
【解決手段】 裏面実装において、基板裏面に配置した接続部と配線支持体に配置した接続部をＡＣＦを介して、磁場付与しながら接続工程を行うことである。 （もっと読む）

【課題】リフィル周波数を上げ、チップコスト及び駆動電源による製造コストを増加させることなく、高画質を実現する。
【解決手段】インク供給口５００の短辺方向の少なくとも一方側に、インク供給口５００からの距離が相対的に小さい第１の吐出口１００ａと、インク供給口５００からの距離が相対的に大きい第２の吐出口１００ｂとがインク供給口５００の短辺方向に対して千鳥状に交互にずらして配置される。さらに、複数のヒータは、第１及び第２の吐出口１００ａ，１００ｂにそれぞれ対応する第１のヒータ４００ａ及び第２のヒータ４００ｂを含んで構成されている。また、第１のヒータ４００ａは、インク供給口５００の短辺方向を長手方向とする長方形に形成された１つの発熱抵抗体からなる。そして、第２のヒータ４００ｂは、長方形に形成された複数の発熱抵抗体を有し、各発熱抵抗体の長辺側で隣り合って配置されている。 （もっと読む）

【課題】 分極工程が煩雑とならず、しかクロストークのない圧電トランスデューサの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電材料板３１が複数の液室５にわたって連続して配置されている。圧電材料板３１の内部には、各液室５の中央と液室５間の隔壁５１に対応する位置にそれぞれ分極用電極１１，１２が形成され、その分極用電極１１，１２は、スルーホール構造１１ａ、１２ｂを介して圧電材料板３１の表面に引き出されている。スルーホール構造１１ａ、１２ｂを介して印加された電圧により、圧電材料板３１は面方向および厚さ方向に傾斜して分極されている。圧電材料板３１の表面には、各液室５に対応する駆動用電極２，３が形成され、駆動用電極２，３に電圧が印加されることで、分極方向にほぼ直交する電界が生じ、圧電材料板３１がシェアーモード変形され液室５内の液体が噴射される。 （もっと読む）

【課題】多層構造の圧電素子の製造効率を高めつつ、信頼性の向上を図る。
【解決手段】圧力室１２とは反対側の振動板表面に形成された圧電素子１７は、互いに積層された上層圧電体３４及び下層圧電体３５からなる圧電体層３１と、この圧電体層３１に付与される電場を発生する電極層３３，３６，３７とを備える。そして、振動板１４側から、共通下電極３７、下層圧電体３５、駆動電極３３、上層圧電体３４、共通上電極３６の順にそれぞれ積層して形成する。さらに、上層圧電体を下層圧電体よりも幅広に構成する。 （もっと読む）

【課題】複数の液体供給口を有する液体吐出基板の当該液体供給口列のインクの温度の上昇を防止し、高デューティな連続印刷においても印刷品位を維持する。
【解決手段】液体吐出基板２の隣接するインク供給口の間の領域に放熱バンプ２３が設けられ、アルミナ積層配線構造の支持部材１の当該領域に対向する面に導体１３が形成されている。そして、支持部材１上に液体吐出基板２を支持させた際に、放熱バンプ２３が導体１３に接触する。 （もっと読む）

【課題】圧電体の変位の変動やバラツキを抑制する。
【解決手段】基板５２上に結晶化下地である共通電極４６を形成する。共通電極４６の一部を覆うように非晶質下地である第１の層間絶縁層５４を形成し、第１の層間絶縁層５４に圧電体動作領域４８Ａを規定するための開口を設ける。さらに、共通電極４６及び第１の層間絶縁層５４の上に圧電体４８を積層し、圧電体４８の上に信号電極５０を形成する。共通電極４６上に堆積された圧電体４８はペロブスカイト結晶相からなり、圧電体４８が変位する圧電体動作領域４８Ａとなる。第１の層間絶縁層５４上に堆積された圧電体４８は非晶質相又はパイロクロア相を含んでおり、圧電体４８が変位しない圧電体非動作領域４８Ｂとなる。 （もっと読む）

【課題】向きの間違いに気を遣う必要がなく取り扱いの容易なマスプレート、また、キャビティプレートの生産性の向上を図ることができるマスプレートを提供し、更に、このようなマスプレートを用いた液滴吐出装置用の流路ユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】例えばマスプレート４０についていえば、該マスプレート４０は、単一種類の圧力室プレート８が複数個配設されており、各圧力室プレート８がマスプレート４０上の所定の中心点４７を基準にして向き及び位置が対称となるように配設されている。絞りプレート、マニホールドプレートなども同様に複数個を対称に配置してマスプレートに形成されており、これら各種のマスプレートを積層し接着することにより、複数の流路ユニットが形成される。 （もっと読む）

【課題】電気配線の引き回し自由度を上げられ、ヘッドサイズの大型化を防止できる液滴吐出ヘッドと液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】圧電体６２と圧電体６２の一方の側に設けられる第１電極６４と圧電体６２の他方の側に設けられる第２電極５８とを有する圧電素子６０と、一方の側に圧電素子６０の第２電極５８が設けられる第１の層５４と、第１の層５４の他方の側に設けられる第２の層４４と、第１の層５４と第２の層４４との間に形成される第１の電気配線５２と、第１の電気配線５２と第２電極５８とを接続する第２の電気配線５６と、を有する液滴吐出ヘッド３２とする。そして、それを備えた液滴吐出装置１０とする。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドを小型化、高密度化するとともに部品点数を削減し、コストダウンを可能とする。
【解決手段】液体を吐出するノズル、前記ノズルに連通し前記液体が充填される圧力室、及び前記圧力室内の液体を加圧する圧電素子を含む液体吐出部１００と、前記液体吐出部の前記ノズル側とは反対側に配置され、前記圧力室に供給するための液体が貯留される共通液室に相当する孔部が貫通形成される枠基板１０２と、前記枠基板の前記液体吐出部側とは反対側に配置される蓋板と、前記枠基板の側壁に前記液体吐出部側及び前記蓋板側に露出するように貫通形成される貫通電極１３２と、を備え、前記圧電素子に対する駆動信号が前記貫通電極を介して供給される。 （もっと読む）

【課題】駆動耐久性を維持して液体噴射特性を向上したアクチュエータ装置及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】基板１０の一方面に設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる複数の圧電素子３００を有すると共に、前記下電極６０が複数の前記圧電素子３００に亘って形成されており、前記下電極６０の互いに隣接する前記圧電素子３００の間の領域に、前記圧電素子３００に設けられた領域よりも厚さが薄い薄肉部６１を設けると共に、前記薄肉部６１の前記圧電素子３００との境界部分に凹部６２を設け、該凹部６２の内面及び当該凹部６２の前記圧電素子３００とは反対側の開口縁部を曲面状にする。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の結晶の整合性を良好に保ち、圧電素子の性能が低下することを抑えることができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、まず、シリコンウエハ１１０上に下電極膜６０を形成し、下電極膜６０上に第１強誘電体膜７１ａを形成する。次に、レジスト膜２００をマスクとして、下電極膜６０及び第１強誘電体膜７１ａをパターニングする。そのあと、このレジスト膜２００を残した状態で、シリコンウエハ１１０上にスパッタによって結晶種６５Ａを形成する。そして、レジスト膜２００を除去することにより、結晶種６５Ａを形成した際のダメージが加えられていない第１強誘電体膜７１ａが露出する。そのあと、この第１強誘電体膜７１ａ上に第２強誘電体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 （１）ノズル型剤の塗布分布均一性向上により、吐出特性の安定した均一なヘッドを歩溜り良く得る。（２）メッキレジストとノズル型材を兼用することによりヘッドの製造コストを削減する。
【解決手段】 ＩＣ実装用のメッキバンプを有するインクジェットヘッドに於いて、ポジ型感光性レジストより成るノズル型材を塗布した後、ＩＣ実装用バンプ部に第１の露光、現像、メッキを行ない、次いで、ノズル部に第２の露光、現像を行なうことを特徴とするＣＲ製法によるインクジェットの製造方法。 （もっと読む）

インクジェットプリンタのためのプリントヘッド制御回路内のＥＰＲＯＭセル(270)である。前記プリントヘッド制御回路が、唯一のポリシリコン層(256)と、該ポリシリコン層上に配置された導電層(260)とを有し、前記ＥＰＲＯＭセル(270)が、制御トランジスタ(272)とＥＰＲＯＭトランジスタ(274)とを備える。前記制御トランジスタと前記ＥＰＲＯＭトランジスタとが、それぞれ、前記ポリシリコン層(256)の一部を含むフローティングゲート(280、282)を有し、前記導電層(260)の一部を含む電気的相互接続部が、前記制御トランジスタ(272)のフローティングゲート(280)と、前記ＥＰＲＯＭトランジスタ(274)のフローティングゲート(282)とを相互接続する。
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【課題】環境温度が変化しても撓み変形領域の撓み変形量が低減せず、撓み変形を繰り返しても撓み変形量の減少量が小さい長期信頼性の高い液体吐出装置と、当該液体吐出装置を駆動させる駆動方法とを提供する。
【解決手段】振動板２４の上に、内部電極層２５と圧電セラミック層２６とをこの順に積層し、該圧電セラミック層２６の上に複数の表面電極層２７を設けてなる平板状の圧電アクチュエータ２を、基板１の上に積層してなり、前記内部電極層２５と前記表面電極層２７とを短絡する回路と、前記内部電極層２５をグランドに接続し、且つ前記表面電極層２７を電源回路に接続する回路とを切り替える手段を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板へのエッチング残りを確実に防止することができる金属積層体の形成方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に第１金属層を形成した後、基板の一部に対向する領域の第１金属層上に第２金属層を形成し、第２金属層で覆われていない第１金属層をウェットエッチングにより除去する第１エッチング処理を行うと共に第２金属層上に形成される所定形状のレジスト膜を介して第２金属層をウェットエッチングにより除去する第２エッチング処理を行った後、第２金属層によって覆われていない第１金属層をウェットエッチングにより除去する第３エッチング処理を行って基板上に金属積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＲ製法において、ＣＲ材露光時のスルーホール壁面からの反射による吐出口ヒサシの発生を抑制し、印字品位の向上、歩留まり向上を計る。
【解決手段】 吐出口近傍にテーパーエッチされたスルーホールを有するＣＲＢＪヘッドにおいて、（１）スルーホール部に反射防止膜を設ける。（２）前記反射防止膜が樹脂に顔料または、染料を添加して遮光性を付与した有機絶縁膜（３）前記顔料または、染料の濃度が、０．１％〜５．０％である。（４）前記反射防止膜が、ポリエーテルアミド樹脂である。 （もっと読む）

【課題】活性部が複数の吐出グループに分けられている液滴吐出装置において、活性部に印加する駆動電圧をすべての吐出グループでほぼ同じにする。
【解決手段】圧電アクチュエータ２の活性部５４の変位により、キャビティユニット１の圧力室３６の容積を変化させて、圧力室３６の液体をノズルから吐出するように構成された液滴吐出装置において、活性部５４は長さ寸法が相違する（Ｐｂ＞Ｐｃ）複数の吐出グループに分けられ、複数の吐出グループの活性部５４に印加する駆動電圧をすべての吐出グループで実質的に同じにするべく、活性部５４の長さ寸法の長い吐出グループは当該活性部５４の幅寸法を広く、活性部５４の長さ寸法の短い吐出グループは当該活性部５４の幅寸法を狭くする（ｗｂ＞ｗｃ）。 （もっと読む）