【課題】圧電特性のよい圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、前記圧電体層が、厚さが５μｍ以下で且つペロブスカイト型結晶からなると共に、前記圧電体層を、前記流路形成基板の（２２０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ａと、前記圧電体層の（１１０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ｂとの間隔が、２θ＝１６．２６２±０．１度の範囲内となるようにする。 （もっと読む）

【課題】印刷効率の向上を図るとともに印字性能を長期的に維持することを可能とし、製品性能の高い液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッドは、流路形成基板２２と、流路形成基板２２上に設けられた複数の圧電素子２３と、流路形成基板２２の複数の圧電素子２３側に設けられたリザーバ形成基板２５と、リザーバ形成基板２５上に設けられた複数のドライバＩＣ２６と、リザーバ形成基板２５の開口部６０に露出している圧電素子２３のリード電極４７の各々に対して、少なくとも２つのドライバＩＣ２６を接続するフレキシブル基板２７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＯＬＢ部の高精度な実装と駆動回路部のシリコン基板上への固定を確実なものにした液滴吐出ヘッド、さらに作業性や生産性を高めることが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法、および信頼性に優れた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッド１は、流路形成基板２２と、該流路形成基板２２上に設けられた複数の圧電素子２３と、流路形成基板２２の複数の圧電素子２３側に設けられたリザーバ形成基板２５と、該リザーバ形成基板２５上に設けられた複数のドライバＩＣ２６と、リザーバ形成基板２５の開口部６０に露出している圧電素子２３の端子部７３とドライバＩＣ２６とを接続するフレキシブル基板２７とを備え、端子部７３と、フレキシブル基板２７の端子部７３に対する接続部２７ｂとを接続する第１接着材８３と、リザーバ形成基板２５とドライバＩＣ２６とを固定する第２接着材８０とが、同一成分を含む材料からなるものである。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るとともに誤作動を防止して信頼性に優れた液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッド１は、リザーバ形成基板２５の開口部に露出している駆動素子２３のリード電極４７とドライバＩＣ２６とを接続する第１フレキシブル基板２７および第２フレキシブル基板２８と、を備え、第１フレキシブル基板２７および第２フレキシブル基板２８は、リード電極４７に接続する接続部２７ｂと、ドライバＩＣ２６に信号を供給する複数の第１配線パターン７２が形成された配線部２７ｃ、２８ｃとをそれぞれ有してなり、第１フレキシブル基板２７に実装されたドライバＩＣ２６上に第２フレキシブル基板２８の配線部２８ｃが重なっており、第１フレキシブル基板２７と第２フレキシブル基板２８との間に、導電膜パターンを有するシールド部２７ｄが配置されている。 （もっと読む）

【課題】配線基板を圧電ユニットから剥がれにくくする。
【解決手段】配線基板３の端子部形成領域Ｂを露出させるよう配線基板３に被覆層４４を形成する工程と、端子部形成領域Ｂと被覆層４４の端部４４ａとを覆って未硬化の合成樹脂層５２を形成する工程と、配線基板３を圧電ユニット５に重ね、圧電ユニット５の駆動電極６上に設けられたバンプ５１を未硬化の合成樹脂層５２を貫通させて端子部４３ａと接触させ、且つ、被覆層４４の端部４４ａに塗布された未硬化の合成樹脂層５２を圧電ユニット５の表面に接触させる工程と、未硬化の合成樹脂層５２を硬化させる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子から引き出された個別リード電極に、検査用プローブを押し当てて検査を行っても、個別リード電極に断線が生じにくい液体噴射ヘッドを提供すること。
【解決手段】個別リード電極９０が導電層からなるので、個別リード電極９０と個別リード電極９０の配線と幅の異なる検査用領域９３とをパターンとして、エッチングで容易に形成できる。また、個別リード電極９０の配線と比較して検査用領域９３の幅が広いので、検査用プローブが当って検査用領域９３が傷ついても、導電領域を確保でき、より個別リード電極９０の断線が低減したインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 ＦＭヘッド用に供給口寸法・位置精度の良いベースプレートを供給する。
【解決手段】 供給口が形成されたサブプレートと、複数の開口が形成されたメインプレートでベースプレートを構成し、メインプレートの開口部にサブプレートを配置固定する。 （もっと読む）

【課題】圧電層にクラックを発生させたり、圧電層の他の部分を不必要に分極させたりすることなく、圧電層の複数の部分を一度に分極させる。
【解決手段】振動板４０の上面には圧電層４１、４２が積層されており、振動板４０、圧電層４１、４２の上面には、それぞれ、電極４３〜４５が配置されている。電極４３は圧力室１０と対向するように配置されており、圧力室１０の略中央部と対向する部分に抜きパターン４３ａが形成されている。電極４４は、抜きパターン４３ａと対向する対向部４４ａを有しており、対向部４４ａは電極４３とは対向していない。電極４５は、その略中央部において対向部４４ａと対向しているとともに、それよりも外側の部分において電極４３と対向している。また、活性部Ｒ１がその厚み方向の上向きに分極されており、活性部Ｒ２がその厚み方向の下向きに分極されている。 （もっと読む）

【課題】供給口の内壁面に形成された保護層の剥離を抑え、かつ、インクが基板にまで容易に浸透するのを防ぐ。
【解決手段】インクを吐出する吐出口１１と、吐出口１１に連通するインク流路１９と、吐出口１１からインクを吐出させるエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子１３及び吐出エネルギ発生素子１３を駆動するための複数の機能層が積層されてなる駆動回路を有するシリコン基板１０と、シリコン基板１０及び複数の機能層を貫通して設けられインク流路１９にインクを供給するための供給口３と、供給口３の内壁面を覆って形成された保護層２ａと、を備える。複数の機能層の間、又は機能層とシリコン基板１０との間に、保護層２ａの一部が挟まれ、かつ、一部に穴が形成され、この穴の内側で、保護層２ａを間に挟む複数の機能層同士、又は機能層とシリコン基板１０とが接触される。 （もっと読む）

【課題】 共通電極と流路ユニットとが確実に電気的に接続されるようにする。
【解決手段】 圧電シート４１〜４３が積層されたアクチュエータユニット２１が導電接着剤からなる接着層６を介して流路ユニット４に接着されている。圧電シート４１と圧電シート４２との間に共通電極３４が配置されている。アクチュエータユニット２１の流路ユニット４との接着面には、圧電シート４３を貫通する孔４９ａの開口が形成されており、孔４９ａ内に共通電極３４と電気的に接続された導通配線４９ｂが埋め込まれている。導通配線４９ｂの端部には端子４６が形成されており、端子４６が接着層６と接している。 （もっと読む）

【課題】焼成時の圧電層の反り及び焼成後の圧電層の残留応力が小さく、かつ発熱量が小さい圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータ１２は、第１圧電層及び第２圧電層が積層され、第２圧電層の第１圧電層と反対側の面に、複数の個別電極２１がＸ方向に配列されている。第１圧電層と第２圧電層ｂとの間には、各個別電極２１に対応させて配列された複数の第１定電位電極部３１と、複数の第１定電位電極部３１の全てと電気的に接続する第１電極配線３２とを有する第１共通電極が設けられている。振動板１５と第１圧電層との間には、各個別電極２１に対応させて配列された複数の第２定電位電極部３３と、複数の第２定電位電極部３３の全てと電気的に接続する第２電極配線３４とを有する第２共通電極２３が設けられている。そして第１及び第２電極配線３２，３４は、Ｘ方向に伸延しかつ平面視で互いに重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】供給口の壁面に形成された保護層が剥離しにくく、かつ、インクが容易に基板まで浸透しない構造を備えたインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、エネルギー発生素子１３を一方の面に有する基板１０と、エネルギー発生素子１３に対応して設けられたインクの吐出口１１と、吐出口１１に連通するインクの流路１９とを有する。インクジェット記録ヘッドは、基板１０の一方の面から一方の面の裏面である他方の面までを貫通し、流路１９と連通する供給口３と、供給口３の内壁を覆う被覆膜２とをさらに有する。被覆膜２は基板１０の一方の面の上にまで設けられ、かつ被覆膜２は基板１０の一方の面の上に設けられた層間絶縁層３２に覆われている。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜素子の消費電流の大幅な低減、および信頼性・耐久性の向上を実現する。また、圧電薄膜素子における耐電圧特性の向上を実現する。
【解決手段】圧電薄膜素子は、基板１上に、下部電極層２、圧電体薄膜層４および上部電極層３を有し、圧電体薄膜層４が、（Ｎａ_ｘＫ_ｙＬｉ_ｚ）ＮｂＯ_３（０＜ｘ＜１，０＜ｙ＜１，０≦ｚ≦０．１，ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）を主相とするペロブスカイト構造の結晶からなるものであり、下部電極層２と上部電極層３との間に常温で２０ｋＶ／ｃｍ以下の電界を印加したときの、電極間の電極面積１ｃｍ^２当たりに換算した電気抵抗値を２．５×１０^５Ω以上とするような電流ブロック層５を、下部電極層２と上部電極層３との間に備えている。 （もっと読む）

【課題】電気的検査の実施と製造コスト低減とを共に実現可能とする。
【解決手段】圧電アクチュエータを製造するにあたって、先ず、２の圧電セラミック層間に内部共通電極が挟まれ、一方の圧電セラミック層における内部共通電極とは反対側の表面上に個別電極と表面共通電極とが形成され、さらに、当該一方の圧電セラミック層を貫通して内部共通電極に達する貫通孔が形成された、積層体を作製する（Ｓ１１〜Ｓ１５）。その後、検査具を貫通孔に挿入し内部電極に接触させることで、積層体の電気的特性を検査する（Ｓ１６）。検査の結果電気的特性に不具合がないと判断された場合（Ｓ１６：ＹＥＳ）、個別電極上、表面共通電極上、及び貫通孔内においてＣＯＦから最も離隔した位置のそれぞれに、個別ランド、共通ランド、及び導電体となる導電性ペーストを同一径となるように印刷する（Ｓ１８）。 （もっと読む）

【課題】 外部から浸入してきた液体によって圧電ユニットが有する個別駆動電極間、及び配線ユニットが有する個別給電端子間がショートするのを適切に防止することができる液滴吐出ヘッドの提供。
【解決手段】 インクジェットヘッド６が備える配線ユニット１２は、複数の個別給電端子５０ａから成る個別給電端子群５０ｃと、共通給電端子５０ｂとを有し、更に配線ユニット１２は、基材１２ａにおける圧電ユニット１１との対向面に積層された絶縁性の被覆層７０を有しており、この被覆層７０には、個別給電端子群５０ｃと共通給電端子５０ｂとの間を通り且つ個別給電端子群５０ｃを外方から取り囲むようにしてトラップ溝８０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 封止剤の塗布作業を容易かつ確実に行うことができ、且つ圧電ユニットと配線ユニットとの対向する面間の隙間を適切に封止してインク漏れによる電気的ショートを防ぐことができる液滴吐出ヘッドの提供。
【解決手段】 インクジェットヘッド６が備える配線ユニット１２は、基材１２ａにおける圧電ユニット１１との対向面に積層されて開孔７０ａ，７０ｂを通じて給電端子５０を圧電ユニット１１側へ露出させつつ他の部分を覆う絶縁性の被覆層７０を有し、該被覆層７０には、圧電ユニット１１の外周縁に対応する部分が切り欠かれることによって、基材１２ａと圧電ユニット１１との間に、圧電ユニット１１の外周縁に沿って外方へ開口した封止剤導入溝７３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子とＦＰＣとをＦＰＣレーザー接合或いはヒータ接合するときに接合時における汚れが付着して、レーザー透過率が低下し、接合不良が発生する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル４が連通する液室６の少なくとも一部の壁面を形成する振動板２と、振動板２を変形させる圧電素子１２の圧電素子柱１２Ａと、圧電素子柱１２Ａの振動板２に略垂直な側面に形成された外部電極２３ａに直接接続された接続電極３１を有するＦＰＣ１５とを備え、ＦＰＣ１５の接続電極３１は、ＦＰＣと圧電素子１２が対向する領域の振動板接合側の先端部側から距離Ｌ後退した位置から設けられて同先端部側に存在していない。 （もっと読む）

【課題】配線部材の電極ランドとアクチュエータの表面電極とのハンダ付け時にショートが生じないようにする。
【解決手段】配線部材１１は、基材５５と、基材５５の一方面に設けられた導線材６４と、導線材６４を覆う被覆材５９とを有し、導線材６４は、表面電極５０に接続される電極ランド６１と、電極ランド６１に連続する導線６０とを有し、被覆材５９は、電極ランド６１を露出させる第１開口部５６ａを有する第１被覆層５６と、第１被覆層５６を覆い第１開口部５６ａに連通する第２開口部５７ａを有する第２被覆層５７とからなり、第２開口部５７ａは第１開口部５６ａよりも大きく、表面電極５０の面積は電極ランド６１の露出する面積よりも大きく、表面電極５０は電極ランド６１の外部へ部分的に突出し、表面電極５０と電極ランド６１とは、第１及び第２開口部５６ａ，５７ａを通じてハンダ５８が介在した状態で接続されている。 （もっと読む）

【課題】 配線ユニットと熱伝導性プレート材との間の熱伝導性を十分に確保すべく液状接着剤を介して両者を接合する構成としつつ、液状接着剤の余剰分が両者の隙間から外部へ漏洩するのを防止することができる液滴吐出ヘッドの提供。
【解決手段】 液滴吐出ヘッド６が有する熱伝導性プレート材１３は、圧電ユニットとほぼ同面積を有し、圧電ユニットとに積層接合された配線ユニット１２の上面に液状接着剤７０を介して接着され、配線ユニット１２における熱伝導性プレート材１３との対向する面には、液状接着剤７０を捕捉するためのトラップ溝１６が、熱伝導性プレート材１３側へ向かって開口するようにして、平面視で圧電ユニットの外周縁に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】配線の駆動回路からの配線長ばらつきに起因する液滴吐出性能への悪影響を低減する。
【解決手段】インクジェットプリンタ１は、流路ユニットの上面に圧電アクチュエータが配置され、その上面にフレキシブル配線材４０の一端が配置され、他端が外側に引き出されていて、その引き出された側にドライバＩＣ１０２が配置されている。圧電アクチュエータは、流路ユニットに形成された複数のノズルに対応する複数の活性部を有し、最上面に複数の活性部に電圧を印加する個別表面電極を有し、フレキシブル配線材４０の複数の配線パターン７９ａは、ドライバＩＣ１０２から各個別表面電極と対応する端子電極まで引き回され、ドライバＩＣ１０２とは反対側の端部まで延在しており、ドライバＩＣ１０２からの配線長がほぼ同じとなっている。 （もっと読む）