【課題】ドット抜け検出を容易に行なうことを可能とするノズル基板、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置、並びに、ノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るノズル基板１は、液滴を吐出する複数のノズル孔１０を有するノズル基板１であって、導電性を有するシリコン基板１’で構成され、シリコン基板１’の吐出面１ａ以外の面（たとえば、キャビティ接着面１ｂ）に、ノズル孔１０から吐出される前の液滴をシリコン基板１’の表面を介して帯電させるための電圧印加に用いる電極（吐出検出用導通電極１２）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドにおけるドット抜けを容易かつリアルタイムに検出することを可能とする液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び、ノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１００は、導電性を有する液滴を吐出する複数のノズル孔１０、及び、各ノズル孔１０の縁に形成された一対の吐出検出用導通電極１２を有するノズル基板１と、底壁が振動板２３を構成し、ノズル孔１０に連通して液滴を収容する複数のキャビティ１０を有するキャビティ基板２と、個別電極３１を有する電極基板３と、一対の吐出検出用導通電極１２に接続し、これに電圧を印加する吐出検出回路４２と、を有し、ノズル孔１０から吐出される液滴の吐出検出用導通電極１２への接触によって液滴吐出状況の良否を検知可能にしている。 （もっと読む）

【課題】金属溶融接合に必要な熱量を低減して微細な接合領域を低抵抗に接合することができ、また電圧印加径路の断面積を制御して抵抗値を自由に設定可能な圧電アクチェエータを提供する。
【解決手段】ベース部材１３上には複数の圧電素子柱が形成された圧電素子部材１２が接合され、ベース部材１３の圧電素子部材１２との接合領域以外の領域には、ベース部材１３よりも熱伝導率の低い低熱伝導層５１と導電層５２とが積層され、導電層５２の一部が溶融して圧電素子部材１２の共通電極２４及び共通電極部と接合されている。 （もっと読む）

【課題】変位特性を低下させることなくコストを低減することができるアクチュエーター装置を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを具備し、圧電素子が、第一電極６０と、第一電極上に形成された圧電体層７０と、圧電体層の第一電極とは反対側に形成された第二電極８０とを具備し、第一電極が、圧電体層側から、導電性酸化物層６２とクロムを主成分とするクロム層６１とがこの順で積層されてなる。 （もっと読む）

【課題】適正な振動特性を有し、断線による故障の少ないアクチュエーター、液滴の噴射
特性の良好な液体噴射ヘッドおよび画質の低下の少ない液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】共通内部電極１７、個別内部電極１６、圧電材料層１５、個別外部電極２２
および共通外部電極２１で形成される回路の抵抗のうち、共通外部電極２１に設けられた
外部接続部２６と最も近い共通内部電極１７との間の接続領域２１１に、低抵抗部２１ａ
を備えている。接続領域２１１の抵抗は、回路の直列抵抗部分に相当し、その抵抗値の大
きさの回路全体の抵抗値への寄与が大きい。したがって、回路中に抵抗値の大きい部分を
少なくでき、回路全体の抵抗値を下げることができ、電極部分の発熱による断線の少ない
、適正な振動特性を有するアクチュエーター１０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】優れた結晶性を有する圧電素子によって長期間に亘って印刷品質を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０の一方面側に第１電極６０を形成する工程と、前記流路形成基板１０の前記第１電極６０上に圧電体前駆体膜を形成する前駆体膜形成工程及び該圧電体前駆体膜を加熱して結晶化して圧電体膜を形成する焼成工程を有する圧電体膜形成工程を２回以上行って積層された複数の前記圧電体膜を形成する工程と、積層された複数の前記圧電体膜を再加熱して圧電体層７０を形成する再加熱工程と、前記圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側の面に第２電極８０を形成する工程と、を具備し、１回目の前記焼成工程及び前記再加熱工程は、２回目以降の焼成工程よりも高い温度で加熱する。 （もっと読む）

【課題】酸化ジルコニウム層の剥離等の破壊や圧力発生素子の破壊を低減することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、アクチュエーター装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１０上方に形成された酸化シリコンを主成分とする第１の層５０と、第１の層５０上に気相成膜法により形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第２の層５６と、第２の層５６上に塗布液を塗布し、焼成することにより形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第３の層５７と、第３の層５６の上方に形成された圧力発生素子３００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】抗電界を超えた電界を印加することによっても圧電素子の十分な変位量が得られ且つ繰り返し駆動しても圧電素子の変位量の低下を抑えることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーターを提供する。
【解決手段】圧電素子３００が、流路形成基板１０の上部に形成される第１の電極６０と、第１の電極６０の上部に形成される圧電体層７０と、圧電体層７０の上部に形成される第２の電極８０とで構成され、圧電体層７０は、２成分系のチタン酸ジルコン酸鉛からなる第１の圧電体膜７１と、この第１の圧電体膜７１の第１の電極６０側に設けられてジルコニウム及びチタン以外の添加金属元素を含む多成分系のチタン酸ジルコン酸鉛からなる第２の圧電体膜７２と、で構成されているようにする。 （もっと読む）

【課題】 隣接する発熱部の熱干渉を低減することで、インクの吐出安定性を向上させる。
【解決手段】 本発明の記録基板は、基板１と、基板の上に設けられた絶縁層５と、絶縁層５の上に配されており、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数の発熱部１２と、複数の発熱部が配列された方向に関して隣接する発熱部１２の間に設けられており、絶縁層５の、基板１の側の主面と発熱部１２の側の主面との間に配されており、絶縁層より熱伝導率が高い部材１１と、を有し、部材１１は、絶縁層５より熱伝導率が高い他の部材４と接していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 耐久性が高く、変位量の劣化を抑制することが可能な圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、該圧電アクチュエータを備える液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 成膜法（スパッタ法）により配向を有するように形成された圧電体を適用する。これにより、繰り返し駆動しても分極方向が容易に変化しないようにすることができる。また、振動板の変位量が安定し、耐久性が高い圧電アクチュエータ及び該圧電アクチュエータを備える液体吐出ヘッドを実現することできる。更に、スパッタ法により配向を有するように形成された圧電体は、耐電圧が高いので、圧電アクチュエータ１３４印加する電圧を高くして（一例で３ｋＶ／ｍｍ以上、２５ｋＶ／ｍｍ以下）、振動板１３０の変位量を大きくすることできる。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの圧電層を保護して損傷を防止するとともに、圧電層に液体が付着することによる電極間ショートや電極材料のマイグレーションを防止することも可能な、液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、ノズル２０が開口する液滴噴射面１３ａ、及び、ノズル２０に連通する圧力室１４を含むインク流路を有する流路ユニット４と、流路ユニット４に設けられるとともに、圧力室１４と対向するように配置された圧電層３１とこの圧電層３１に設けられた個別電極３２とを有する圧電アクチュエータ５を備えている。そして、流路ユニット４の液滴噴射面１３ａには、撥液性を有する撥液膜２２が設けられる一方で、圧電アクチュエータ５の圧電層３１の表面は、撥液膜２２と同じ膜材料で形成された保護膜３８によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電素子の外部環境の変化に起因する動作不良を解消して安定した滴吐出特性が得られ、信頼性の高い高画質記録が可能な圧電型アクチュエータを提供する。
【解決手段】基板１１上に積層された振動板２０を有して、振動板２０の撓み方向に圧力を発生する圧電型アクチュエータにおいて、振動板２０を、複数のチャネルに分離された圧電体膜２４と、圧電体膜２４の両面側に積層され圧電体膜２４に電圧を印加して撓み振動をさせるための一対の電極膜と、一対の電極膜のうちの基板側１１の一方及び基板１１の間に設けた圧電体膜２４のチャネルに対応する、減圧に密封形成した空隙部１４及び各空隙部１４をはさむ隔壁１５からなる層とから構成した。 （もっと読む）

【課題】寸法精度が高い溝を容易に形成する。
【解決手段】振動板４０の圧力室２４と対向することとなる領域の搬送方向に関する両端部の外側に、走査方向に沿って延在した貫通孔４０ａを形成する（貫通孔形成工程）。振動板４０のいずれか一方の面に貫通孔４０ａを閉塞するように閉塞層７０を接合する（閉塞層形成工程）。振動板４０の上面、振動板４０の貫通孔４０ａの内壁、及び、振動板４０の貫通孔４０ａから露出した閉塞層７０の上面に跨って、薄膜６２を形成する（成膜工程）。薄膜６２の表面に、圧電材料を用いて、圧電材料の粒子を堆積させることにより圧電層４１を形成する（圧電層形成工程）。閉塞層７０を加熱して除去する（除去工程）。 （もっと読む）

【課題】メニスカスが安定して良好な吐出性能が得られ、また、ノズル径精度の高いノズル基板を製造することが可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】吐出方向の先端側から後端側に向けて開口断面が段階的に大きくなる２段のノズル孔１１を有するノズル基板１の製造方法であって、ノズル孔１１の各段毎に基板を分けた２層基板構造とし、各層基板１ａ，１ｂのそれぞれに独立して第１ノズル部１１ａ又は第２ノズル部１１ｂを形成すると共に、撥液膜１０５又は親液膜１２３を必要箇所に形成した後、両基板１ａ，１ｂを接合する。 （もっと読む）

【課題】高潤滑硬質膜の成膜工程において基板間の接合ズレを効果的に防止することが可能な静電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターの製造方法は、シリコン基板３’を、シリコン基板３’の外径よりも大きな外径を有し、振動板８に対応する位置に貫通穴５３が形成されているシリコンマスク５０、及び、シリコン基板３’の外径よりも大きな外径を有するサポート基板６０で挟み込み、貫通穴５３を介して高潤滑硬質膜を成膜する工程と、を有している。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータサイズを小さくして更なる高密度化、低駆動電圧化、素子の小型化に対応できる薄膜エクチュエータを提供することを目的とする。液滴吐出装置として述べれば、更なる高密度化に際して必要とされる発生力の飛躍的な増大或いは高粘度の液滴吐出（例えば、ＵＶインクなどの高粘度インク、高顔料濃度インク、各種薄膜形成用原料インク、液状レジスト、ＤＮＡ試料などの生物由来液体等）のために要求される発生力を飛躍的に増大させることを目的とする。
【解決手段】振動板５５を変形させて力を発生させる薄膜アクチュエータ１において、振動板５５上に下電極１１と、第一圧電層１２と、中間電極１３と、第二圧電層１４と、上電極１５と、を順次積層したことを特徴とする薄膜アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】配向制御層や保護膜等の圧電素子として本来必要でない膜を必須とせず、複雑なプロセスを要することなく、圧電性能と耐電圧とがいずれも良好な圧電体膜を提供する。
【解決手段】圧電素子１は、基板１０上に、下部電極２０と圧電体膜３０と上部電極４０とが順次積層された素子であり、圧電体膜３０は、膜表面における最大高さ（ピーク値Ｐ）と最小高さ（バレー値Ｖ）との差で規定される表面粗さＰ−Ｖ値が１７０．０ｎｍ以下であり、圧電定数ｄ_３１＞１５０ｐｃ／Ｎであり、かつ、電流値が１μＡ以上となる印加電圧により定義される絶縁破壊電圧が８０Ｖ以上である。 （もっと読む）

【課題】より簡便な方法で、吐出性能の高いノズルとなる穴を形成することができるノズル基板等を得る。
【解決手段】液体を吐出するためのノズル３１を備えるノズル基板３０において、ノズル３１は、ノズル基板３０に形成され、液体を吐出させる方向に向かって孔の口径を小さくした多段状のノズル孔（第１ノズル５８、第２ノズル５９）と、ノズル３１をテーパー形状にするため、ノズル孔（第１ノズル５８、第２ノズル５９）の段差部分に、液体に対する耐性を有する材料により形成した斜面部６０Ａとを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエーターの変位量を制御することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室１１と、その上方に形成され、圧力室１１とオーバーラップした第１領域３３を有する振動板と、第１領域３３において、第１の方向２００に延び、第１の方向２００における一方の端部４１を第１領域３３内に有するように形成された第１の導電層４０と、第１の導電層４０を覆うように形成された圧電体層５０と、第１領域３３において、端部４１を含む第１の導電層４０とオーバーラップし、圧電体層５０の一部を覆い、第１の方向２００における一方の端部６１を第１領域３３内に有するように形成された第２の導電層６０と、第２の導電層６０の上に形成された第１金属層７１と、を有し、圧電アクチュエータの変位量のばらつきを抑制した。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位量を増やすことができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を噴射するためのノズル孔に連通した複数の圧力室１１を有する圧力室板と、圧力室板の上方に形成された振動板３０であって、圧力室板と対向した第１の面と、第１の面と反対の第２の面３２を有し、第２の面３２において、複数の圧力室１１とそれぞれオーバーラップした第１領域３３を有する振動板３０と、複数の第１領域３３において、第１の方向に延びるように、それぞれ形成された第１の導電層４０と、圧電体層５０と、第２の導電層６０と、を有し、第１領域３３内において、圧電体層５０と第２の導電層６０とオーバーラップした領域を第２領域３４とし、第１領域３３内において、第１の方向と直交する第２の方向２１０に沿って第２領域３４と連続した領域を第３領域３５とし、第３領域３５の少なくとも一部において振動板３０が露出した露出領域３７を含む。 （もっと読む）